【課題】単純な構造により、力とモーメントとを区別して検出する。
【解決手段】板状の支持体３００の上面の３箇所に、それぞれ５組ずつの固定電極群Ｅ１１〜Ｅ１５，Ｅ２１〜Ｅ２５，Ｅ３１〜Ｅ３５を配置する。この３箇所の固定電極群の上方にそれぞれ変位電極として機能する円盤状のダイアフラムを配置し、その周囲を支持体３００上に固定する。３枚のダイアフラムの上面中央部に、それぞれ上方に伸びる柱状体を接合し、この３本の柱状体の上端に、検出対象となる力を受ける受力体を取り付ける。受力体に力やモーメントが作用すると、３本の柱状体が変位し、各ダイアフラムに撓みが生じる。各固定電極Ｅ１１〜Ｅ３５と対向するダイアフラムとによって構成される１５組の容量素子の静電容量値の変化に基づいて、受力体に作用した各座標軸方向の力Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚと、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚのすべてが検出できる。 （もっと読む）

【課題】単純な構造により、力とモーメントとを区別して検出する。
【解決手段】検出対象となる力を受ける受力体１０の下方に支持体２０を配置し、両者間に４本の柱状力伝達体１１〜１４を接続する。各柱状力伝達体１１〜１４の上下両端には、可撓性をもった接続部材を介挿し、受力体１０が力を受けて変位したときに、柱状力伝達体１１〜１４が傾斜できるようにする。各柱状力伝達体１１〜１４と支持体２０との接続部分には、それぞれ容量素子を備えたセンサ２１〜２４を配置し、各柱状力伝達体１１〜１４から支持体２０へ伝達される力を検出する。センサ２１〜２４の検出値に基づいて、検出回路３０が、受力体１０に作用した力とモーメントとを区別して検出する。力Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚと、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚのすべてが検出できる。 （もっと読む）

【課題】 単純な構造で、他軸成分の干渉を排除し、各軸方向の力と各軸まわりのモーメントを独立して検出する。
【解決手段】 検出対象となる力を受ける受力体１０の下方に支持基板２０を配置し、両者間に４本の柱状体１１〜１４を接続する。各柱状体１１〜１４の上下両端には、可撓性をもった接続部材を介挿し、受力体１０が力を受けて変位したときに、柱状体１１〜１４が傾斜できるようにする。各柱状体１１〜１４のＸ軸もしくはＹ軸方向への傾斜度およびＺ軸方向への変位をセンサ２１〜２４で検出する。この検出結果に基づき、検出回路３０が、力Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚ、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚを求める。力Ｆｘは、各柱状体のＸ軸方向への傾斜度に基づいて算出されるが、柱状体１１，１２のＺ軸方向への変位に基づいて算出されたモーメントＭｙの値に基づいて補正され、Ｍｙ成分の干渉は排除される。 （もっと読む）

【課題】 シンプルな回路構成でジッターノイズ、高周波ノイズの低減を可能にするＣＶ変換器を提供することである。
【解決手段】 計測しようとする装置の対電極に交流定電流を与え、対電極の両端の電圧をバランス調整して加算したものに、交流定電流を電圧に変換したものをさらに加算し、それをＡＭ検波することにより、容量素子の容量の変化を電圧に変換するように構成されていることを特徴とするＣＶ変換器が提供される。好ましくは、計測しようとする装置は、静電容量型センサである。 （もっと読む）

【課題】 振動子から装置筐体への振動漏れを排除して検出精度を向上させる。
【解決手段】 主振動子２１０に可撓性の内側架橋部２２１，２４１を介して副振動子２２５，２４５を接続する。副振動子２２５，２４５は、可撓性の外側架橋部２２２，２４２を介して台座２６０に接続し、台座２６０を装置筐体２８０に固定する。内側架橋部２２１，２４１の上面に圧電素子Ｘ１１〜Ｘ１４を固定する。一部の圧電素子に交流電圧を供給して主振動子２１０を振動させ、主振動子２１０に作用したコリオリ力を別な圧電素子の発生電荷として検出し、角速度の検出値を求める。主振動子２１０から装置筐体２８０へ漏れ出る振動エネルギーは、副振動子２２５，２４５の運動により吸収される。外側架橋部２２２，２４２の上面にも圧電素子を設け、交流電圧を供給し、副振動子２２５，２４５を主振動子とは逆方向に運動させれば、振動漏れを更に低減できる。 （もっと読む）

【課題】 外乱として作用する重力の影響を排除し、高精度な測定を行う。
【解決手段】
中央の振動子１１０を、可撓性をもった４本の架橋部１２１〜１２４によって、枠状の固定部材１３０に接続する。架橋部１２１〜１２４の上面には、圧電素子を設ける。駆動用圧電素子Ｘ１２，Ｘ１３に同位相の交流駆動信号を与え、振動子１１０をＺ軸（紙面垂直）方向に振動させる。このとき、モニタ用圧電素子Ｘ１２Ｕ，Ｘ１３Ｕから得られるモニタ電圧の振幅が所定の基準振幅値に維持され、かつ、モニタ電圧の平均電圧値が０に維持されるように、交流駆動信号の振幅をフィードバック制御する。検出用圧電素子Ｘ１１，Ｘ１４から得られる電圧に基づいてＸ軸方向のコリオリ力を検出してＹ軸まわりの角速度を求め、検出用圧電素子Ｙ１１，Ｙ１４から得られる電圧に基づいてＹ軸方向のコリオリ力を検出してＸ軸まわりの角速度を求める。 （もっと読む）

【課題】 単純な構造により、力とモーメントとを区別して検出する。
【解決手段】 検出対象となる力を受ける受力体１０の下方に支持体２０を配置し、両者間に少なくとも２本の柱状力伝達体１１，１２を接続する。各柱状力伝達体１１，１２の上下両端には、可撓性をもった接続部材を介挿し、受力体１０が力を受けて変位したときに、柱状力伝達体１１，１２が傾斜できるようにする。各柱状力伝達体１１，１２と支持体２０との接続部分には、それぞれセンサ２１，２２を配置し、各柱状力伝達体１１，１２から支持体２０へ伝達される力を検出する。センサ２１，２２の検出値に基づいて、検出処理部３０が、受力体１０に作用した力とモーメントとを区別して検出する。４本の柱状力伝達体を用いると、力Ｆｘ，Ｆｙ，Ｆｚと、モーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚのすべてが検出できる。 （もっと読む）

【課題】 外乱として作用する重力の影響を排除し、高精度な測定を行う。
【解決手段】 周囲が固定された可撓性基板２００に、重錘体４００を接合する。基板２００の上面に電極Ｄ１０〜Ｄ１５を設け、固定基板１００の下面に電極Ｅ１０〜Ｅ１５を設ける。重錘体４００の下面に電極Ｄ１０Ｂ，Ｄ１５Ｂを設け、固定基板３００の上面に電極Ｅ１０Ｂ，Ｅ１５Ｂを設ける。電極Ｄ１０／Ｅ１０間に交流電圧φ１を印加し、電極Ｄ１０Ｂ／Ｅ１０Ｂ間に逆位相の交流電圧φ２を印加して、重錘体４００をＺ軸方向に振動させる。このとき、電極Ｄ１５／Ｅ１５間、電極Ｄ１５Ｂ／Ｅ１５Ｂ間の静電容量をモニタし、交流電圧φ１，φ２の振幅をフィードバック制御する。電極Ｄ１１／Ｅ１１間、電極Ｄ１２／Ｅ１２間、電極Ｄ１３／Ｅ１３間、電極Ｄ１４／Ｅ１４間の静電容量により、Ｘ軸，Ｙ軸方向のコリオリ力を検出し、角速度検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸方向のコリオリ力をＺ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

【課題】重量を大きくすることができるとともに、ビームの長さを長くして検出感度を従来の加速度センサより向上させることができ、周波数特性及び耐衝撃性が良好であり、小型化が可能である加速度センサの製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体からなるセンサ部１は、矩形の枠部１１を有し、枠部１１の中心部には円柱状の重錘体１２が設けられている。この重錘体１２は枠部１１の各辺の中央部と、ビーム１３，１３，１３，１３により接続されている。そして、四角柱状の補助重錘体１４，１４，１４，１４が、ビーム１３，１３と枠部１１の内周面とにより包囲される空間内に遊挿する状態で、重錘体１２に連設してある。 （もっと読む）