【課題】原料のプロセスチャンバへの供給量を高精度で制御することができるＭＯＤＶＣ法による半導体製造に使用する原料気化供給装置を提供する。
【解決手段】原料を貯留したソースタンクと、キャリアガス供給源から一定流量のキャリアガスを流量調整しつつ前記ソースタンクの原料中へ供給する流量制御装置と、ソースタンクの上部空間に溜まった原料の蒸気Ｇ₄とキャリアガスＧ₁との混合ガスＧｏを導出する１次配管路と、前記１次配管路の混合ガスＧｏの圧力及び温度の検出値に基づいて１次配管路の末端に介設したコントロールバルブの開度を調整し、混合ガスＧｏの流通する通路断面積を調整することによりソースタンク内の混合ガスＧｏの圧力を一定値に保持する自動圧力調整装置と、前記ソースタンク及び自動圧力調整装置の演算制御部を除く部分を設定温度に加熱する恒温加熱部とから成る原料の気化供給装置とした。 （もっと読む）

【課題】流量比可変型ガス分流供給装置を小型化低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。
【解決手段】流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑで分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するように、前記第１分流管路１に第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ〜２ｎを並列状に直結した管路としてオリフィス４ａ〜４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ〜Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ〜Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ２ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積との比に等しい流量比でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。 （もっと読む）

【課題】薄いパネルに対しても確実に固定することができるとともに、固定時にパネルのガタツキが生じることがなく容易且つ正確な固定が可能であり、しかもスペーサ等の部品を追加することなく形状変更のみでパネル厚みの変化に対応することができるバルブ並びにバルブとパネルの固定構造を提供すること。
【解決手段】入口流路及び出口流路を備えた弁箱と、前記流路を開閉するための弁棒と、前記弁箱に対して固定され且つ前記弁棒を操作する操作軸が挿通されたボディと、前記操作軸を上下動させるアクチュエータとを備えてなるバルブであって、前記弁箱とアクチュエータとの間において、前記ボディの外周面には、上部に雄ねじが形成され、下部に該雄ねじよりも大径のフランジが形成されており、前記雄ねじの下端部と前記フランジの上端部との間には、断面横向きＶ字状の切欠部が全周に亘り形成されているバルブとする。 （もっと読む）

【課題】容易に作製でき、他の流出口に切り替え前の流体が混じるおそれのない切替弁を提供する。
【解決手段】 収容部１１の周面１１ａに弾性変形しつつ接する無端状の突起部７１が形成されたゴム弾性部材７０が、回動可能な弁体２０の曲面部に設けられ、流通溝６０が、ゴム弾性部材７０の無端状突起部７１で囲われた領域に形成されている。流入口、第１流出口および第２流出口がハウジング１０の周面に開口している。ゴム弾性部材７０は弁体２０に対して着脱可能に取り付けられてもよい。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、省エネルギーでガスの溶解を効率良く行うことができるガス溶液製造装置及びガス溶液製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、溶液が貯留されたタンク内にガスを入れ、該溶液にガスを溶解させてガス溶液を製造するガス溶液製造装置１において、溶液及びガスが入れられる密閉タンク１１と、密閉タンク１１内の溶液を吸い込む吸込み口１２２ａ及び吸い込んだ溶液を吐出する吐出口１２４ａを有するポンプ１２と、溶解させるガスを注入するガス注入部１４と、吐出口１２４ａとガス注入部１４とが接続され且つガス注入部１４から注入されるガスと吐出口１２４ａから吐出される溶液とを混合する混合室１５と、混合室１５において混合された気液混合物を、密閉タンク１１内の液面上のガス充満空間に導いて噴射する噴射部１６と、を備えたことを特徴とするガス溶液製造装置１。
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【課題】小型の検査装置でもって簡単且つ迅速に配管路内容積及び漏洩量を検出することができ、また検査結果の良否を正確に判断できるようにする。
【解決手段】密閉状態とした被検査配管路の一端側開口から、流量を及び圧力を検出しつつ一定流量の検査用ガスを供給すると共に、配管路内へ供給する検査用ガスの温度を検出し、前記圧力検出値、流量検出値及び温度検出値を演算処理装置へ入力して、配管路内の圧力上昇値ΔＰ₂が設定値になるまでの加圧時間Δｔとその間の検査用ガスの供給流量Ｑとから、配管路の内容積Ｖ_LをＶ_L＝供給流量Ｑ×加圧時間Δｔ／圧力上昇値ΔＰ₂として演算し、次に、配管路内を所定の設定圧に加圧してから所定の圧力降下時間Δｔ′を経過後の圧力降下値ΔＰ₂′と前記演算した配管路内容積Ｖ_Lとから、配管路からの漏洩量Ｑ_LをＱ_L＝圧力降下値ΔＰ₂′×配管路内容積Ｖ_L／圧力降下時間Δｔ′として演算するようにする。 （もっと読む）

【課題】患者の心臓酸素消費量を高い精度で推定することができる上に、心臓酸素消費量を最小化することができる心臓酸素消費量自動最小化システムおよび心疾患治療システムを提供する。
【解決手段】心疾患治療システム１０は、少なくとも心拍数を含む、患者２０の血行動態指標を入力する入力部１２と、入力部１２から入力される血行動態指標に基づいて、患者２０の心臓酸素消費量の推定値を算出する心臓酸素消費量モニターユニット１４と、入力部１２から入力される心拍数と心臓酸素消費量モニターユニット１４により算出される心臓酸素消費量の推定値が最小となる臨界心拍数とを比較し、この比較結果に応じて患者２０の心拍数を制御する心臓酸素消費量節減ユニット１６と、を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 溶接電極の耐久性を向上させ、溶接の作業効率の向上、交換時間の短縮をは図り、信頼性の高い溶接を長時間可能とする溶接電極の固定構造、溶接ヘッドを提供すること。
【解決手段】 溶接電極３０１を挿入するための挿入部３０４を有する固定台３０２の挿入部３０４に、熱伝導性材料３０３を介して溶接電極３０１の固定部３０５を挿入し、溶接電極３０１の固定部３０５の周面と固定台３０２とを均一に接触させて溶接電極３０１を固定台３０４に固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 水分放出や透過リーク等の問題を生じることなく、高純度ガスや有害ガス、パージガス等を取り扱うガスラインの他のガスラインからのガスの逆流を瞬時に検知してガスの逆流を防止できるようにする。
【解決手段】 高純度ガスや有害ガス、パージガスが流れるガスラインＬに介設した流体駆動型開閉バルブ２の二次側に設置され、他のガスラインＬ′からのガスが流体駆動型開閉バルブ２の二次側へ逆流したときにこれを検知して流体駆動型開閉バルブ２を閉止するようにした逆流防止装置１であって、前記逆流防止装置１は、逆流と判断する流体駆動型開閉バルブ２の二次側の圧力を検知する圧力スイッチ３と、流体駆動型開閉バルブ２の駆動部２ｂへ作動流体Ａを供給して流体駆動型開閉バルブ２を制御する電磁バルブ４と、圧力スイッチ３からの検出信号に基づいて作動し、流体駆動型開閉バルブ２を閉止するように前記電磁バルブ４を制御するリレー５とから成る。 （もっと読む）

【課題】 より一層のコンパクト化が果たされるとともに、圧力センサ単独での交換が容易な集積化流体制御装置を可能とする圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器を提供する。
【解決手段】 圧力センサ装置21は、所定の通路22aが形成された第１通路ブロック22と、所定の通路23aが形成されかつ第１通路ブロック22に所定間隔をおいて対向する第２通路ブロック23と、第１および第２のいずれか一方の通路ブロック23の対向面に設けられてその内部通路23bの流体圧力を検知する圧力センサ24とからなり、プレッシャレギュレータ16に一体化されている。 （もっと読む）