【課題】流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、高精度な診断結果が得られるようにする。
【解決手段】予め測定して記憶した初期圧力降下特性データと，前記初期圧力降下特性の測定と同じ条件下で測定した流量診断時の圧力降下特性データとを対比し、両特性データの差異から流量制御の異常を検出するようにした流量自己診断機能を備えた圧力制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路に於いて、ピエゾ素子への駆動用電圧の供給回路と並列に、圧力式流量制御装置の中央処理装置からの降圧指令信号によりピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を降圧指令回路を通して緩慢に放電下降させる第１放電回路と、前記中央処理装置からの高速降圧指令信号により前記ピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を高速降圧指令回路を通して急速に放電下降させる第２放電回路とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 気化器を備えたガス供給装置の省エネルギ化と装置の小型化を図ると共に、厳密な気化器側の温度制御を必要とすることなしに高精度なガス流量制御を安定に且つ簡単に行えるようにしたガス供給装置を提供すること。
【解決手段】 液体受入れタンクと，液体を気化する気化器と，気化ガスの流量を調整する高温型圧力式流量制御装置と，気化器と高温型圧力式流量制御装置とこれ等に接続した配管路の所望部分を加熱する加熱装置とから気化器を備えたガス供給装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 標準化を阻害することなく、誤組付けを防止した流体制御装置を提供する。
【解決手段】 ３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に対応する継手部材13のねじ孔に、追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されて上端部が第２接続部材5aの上方に突出させられる位置決め兼用おねじ部材18の下部がねじ込まれている。３ポート弁5の接続部5aの４隅のおねじ部材挿通孔16に、上方から流体制御機器固定用おねじ部材11が挿通されて、これらのおねじ部材11が対応する継手部材12,14のねじ孔12a,14aにねじ合わされている。３ポート弁5の接続部5aの追加のおねじ部材挿通孔17に挿通されている位置決め兼用おねじ部材18の上端部に、上方から流体制御機器固定用めねじ部材15がねじ合わされている。 （もっと読む）

【目的】 製品ごとに応答性能のバラツキを少なくし、個別の調整を不要にし得る圧電素子駆動式ダイヤフラム型制御弁を提供する。
【構成】 流路が形成された弁本体３と、流路を開状態にして弁本体３に保持されたダイヤフラム４と、ダイヤフラム４の開閉方向へ移動可能に支持され、ダイヤフラム４を閉鎖可能な弁棒５と、ダイヤフラム４の閉方向への移動を阻止されるとともにダイヤフラム４の開方向への変形による変位を許容された状態で支持された圧電素子６と、圧電素子６の変位を許容された側の端部に当接することによって支持された作動部材７と、弁棒５の軸線Ｘを中心として放射状に配置され、圧電素子６の変位に伴う作動部材７の変位を拡大して弁棒５に伝えるように揺動自在に支持された複数の梃子体８と、を有することとした。 （もっと読む）

【課題】 組立て作業効率のより一層の向上が図られた流体制御装置を提供する。
【解決手段】 固定レール11,12に設けられた案内溝11a,11bに沿って摺動可能とされた摺動部材13にめねじ部が設けられており、このめねじ部に頭無しボルト15の下部がねじ込まれて、頭無しボルト15の上部が固定レール11,12上面から突出させられている。可動レール1に設けられたボルト挿通孔1bが頭無しボルト15の突出部に嵌め合わされて、頭無しボルト15の上端部にキャップナット18がねじ合わされていることにより、可動レール1が固定レール11,12に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】安全弁装置を備える高圧ガスタンクを車両に搭載する際に、安全弁装置から放出される高圧ガスの放出方向を、容易に調整可能とする。
【解決手段】安全弁装置３００は、所定温度以上になったときに開弁する弁機構を内部に備える安全弁装置本体３１０と、弁機構が開弁したときに、安全弁装置本体３１０を介して、水素タンクから流出する水素が流れるガス流路３３２、および、ガス流路３３２を流れる水素を外部に放出するための水素放出口３３４を有する放出管３３０と、を備える。放出管３３０において、水素放出口３３４は、ガス流路３３２の軸心方向に対して傾斜した方向に水素が放出されるように形成されており、放出管３３０は、さらに、ガス流路３３２の軸心を中心として、放出管３３０を回動させる回転力が入力される溝部３３６を有する。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスを含めて、あらゆるガス種を対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行うことが出来、しかも安価で且つ高流量制御精度を備えた圧力制御式流量基準器を提供する。
【解決手段】 校正用ガス供給源からの校正ガスの圧力を調整する圧力制御器と、圧力制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた被校正流量制御器の接続口と、被校正流量制御器の下流側の接続孔に接続した基準圧力式流量制御器と、基準圧力式流量制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた真空ポンプとから圧力制御式流量器準器を校正する。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

【課題】半導体の品質低下を防止できるＭＯＣＶD法による半導体製造設備のガス供給装置を提供する。
【解決手段】反応炉ＰＣへの原料ガスを供給するメインガス供給ラインＬ_１と前記原料の排気をするべントガス供給ラインＬ_２とを備え、前記メインガス供給ラインの入口側に圧力式流量制御装置ＦＣＳ−Ｎを設け、当該圧力式流量制御装置により流量制御をしつつ所定流量のキャリアガスＣ_１〜Ｃ_５をメインガス供給ラインへ供給すると共に、前記ベントガス供給ラインの入口側に圧力制御装置ＦＣＳ−ＲＶを設け、当該圧力制御装置により圧力調整をしつつ所定圧力のキャリアガスをベントガス供給ラインへ供給し、前記圧力式流量制御装置のオリフィスＯＬ下流側で検出したメインガス供給ラインの圧力Ｐ₁₀とベントガス供給ラインの圧力Ｐ₂とを対比し、両者の差が零となるようにベントガス供給ラインのガス圧Ｐ₂を調整する。 （もっと読む）

【課題】 複数個設置する場合の設置スペースを少なくすることができるという利点を有しており、しかも、誤操作防止機能を高めた流体制御器を提供する。
【解決手段】 流体制御器1は、ケーシング3から上方に突出するレバー13を第１の傾斜状態とすることで弁本体内流体通路を閉に、第２の傾斜状態とすることで流体通路を開にすることができる。誤操作防止治具51は、ケーシング3の上端部に着脱自在に取り付けられる筒状部52と、筒状部52の上面に設けられた立上り部53と、立上り部53の上端部に設けられてレバー13を覆う頂部54とからなる。 （もっと読む）