【課題】カムが取り付けられたモータを上下方向へ高さ調整する際に、調整ネジにアクセスしやすくしたカム式制御弁を提供する。
【解決手段】流体流路２及び弁座３を有する弁箱４と、弁座３に当離座して流体流路２を開閉する弁体５と、弁体５を押し下げて弁座３に当接させる弁棒６と、弁棒６に作用して弁棒６を押し下げるカム７と、カム７を回転駆動するモータと、モータを保持するモータホルダ９と、弁箱４に固定されてモータホルダ９を上下に移動可能に支持する支持枠１０と、支持枠１０の上辺部からモータホルダ９を離間させる方向に付勢する弾性部材１１と、モータホルダ９を支持枠１０に吊り下げ状に支持してモータホルダ９の支持枠１０に対する高さを調整するための高さ調整ネジ１２であって、支持枠１０の上辺部に摺動可能に挿入されるとともにモータホルダ９に螺入された高さ調整ネジ１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】弁の開閉精度を向上させた調整弁装置を提供する。
【解決手段】調整弁装置３００は、弁体頭部３１０ａを有する弁体３１０と、弁体に動力を伝達する動力伝達部材３２０ａと、弁体を摺動可能に内蔵する弁箱３０５と、動力伝達部材に対して弁体と反対側の位置に第１の空間Ｕｓを形成する第１のベローズ３２０ｂと、動力伝達部材に対して弁体側の位置に第２の空間Ｌｓを形成する第２のベローズ３２０ｃと、第１の空間と連通する第１の配管３２０ｄと、第２の空間と連通する第２の配管３２０ｅとを有する。第１の空間及び第２の空間に供給される作動流体の圧力比率に応じて動力伝達部材から弁体に動力を伝達することにより、弁体頭部によって弁箱に形成された搬送路を開閉する。弁体頭部は、弁体頭部が接する搬送路の弁座面のビッカース硬さより硬く、その硬度差は概ね２００〜３００Ｈｖである。 （もっと読む）

【課題】 閉鎖型植物工場では、植物体側面からの光の近接照射を行うことができないため、野菜などの栽培を行う場合、栽培する野菜が草丈の低い作物に限定され、トマトやキュウリなどの垂直方向に伸長して草丈の高くなる野菜を栽培することができないという大きな問題点を有していた。
【解決手段】 植物工場内に設置される植物栽培容器棚及び照明棚を可動式とすることにより、作業時にのみ作業員の作業スペースを確保し、植物栽培時には植物体側面への光の近接照射を可能とし、草丈の高さにかかわらず植物を栽培できる。 （もっと読む）

【課題】ボルト緩み防止効果が高く、皿ばねを容易に装着可能で落としにくく、外部から皿ばねを視認でき、製造コストを削減できる皿ばね収納ケースを提供すること。
【解決手段】重ねた皿ばね２を下方と側方から保持する保持部材３と、上方から押さえる押さえ部材４からなり、これらは互いに係脱可能な係止部を備え、保持部材３は皿ばね２を下方から支持する底板部５と、側方から支持する第１側板部６からなり、第１側板部６は底板部５の外周縁に周方向に間隔をあけて配置され且つ外周縁から外方に延設された複数の第１突片６からなり、第１突片６は底板部５に対し直角上方向に折曲され先端近傍に係止部７が形成され、押さえ部材４は皿ばね２を上方から押さえる上板部２０と、側方から支持する第２側板部２１からなる。 （もっと読む）

【課題】 白金触媒層を有する反応炉内に水素ガスと酸素ガスとを供給し、触媒反応させることにより、燃焼させることなく、水素ガスと酸素ガスとの着火点より低い触媒反応温度で高純度の水分を発生させる水分発生用反応炉において、母材と白金触媒層との間に設けたバリア層に対し、白金触媒層高い付着力を長期間維持することができる水分発生用反応炉を提供する。
【解決手段】 ガス入口及び水分出口が設けられた反応炉本体と、前記反応炉本体の内壁面の少なくとも一部に成膜されたＹ_２Ｏ_３バリア層と、該Ｙ_２Ｏ_３バリア層上の少なくとも一部に成膜された白金触媒層と、を有することとした。前記Ｙ_２Ｏ_３バリア層の膜厚は、好ましくは、５０ｎｍ〜５μｍである。 （もっと読む）

【課題】弁体の構造や形状を適正化し、弁体の開閉精度を向上させた調整弁装置を提供する。
【解決手段】弁体３１０は、弁体頭部３１０ａと弁体身部３１０ｂとが弁軸３１０ｃにより連結された構造を有する。弁箱３０５は、弁体３１０と動力伝達部材３２０ａとを摺動可能に内蔵する。第１のベローズ３２０ｂは、動力伝達部材３２０ａ及び弁箱３０５に固着されることにより、動力伝達部材３２０ａに対して弁体と反対側の位置に第１の空間Ｕｓを形成する。第２のベローズ３２０ｃは、動力伝達部材３２０ａ及び弁箱３０５に固着されることにより、動力伝達部材３２０ａに対して弁体側の位置に第２の空間Ｌｓを形成する。第１の配管３２０ｄから第１の空間Ｕｓに供給されたエアーと第２の配管３２０ｅから第２の空間Ｌｓに供給されたエアーとの比率に応じて動力伝達部材３２０ａから弁体頭部３１０ａに動力を伝達し、搬送路２００ａを開閉する。 （もっと読む）

【課題】流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】圧力式流量制御装置に於いて、圧力センサ及び温度センサを、受圧面に形成した４個の抵抗を４辺とするブリッジ回路の入力端子間に定電流電源を接続してその出力端子間の電圧変化で流体圧力を検出すると共に、入力端子間の電圧変化で流体温度を検出する構成の温度と圧力を同時に検出する一つの圧力温度センサ１０とし、流体温度Ｔに対応した補正を行ってこれを流体圧力Ｐ_１に変換すると共に、温度変換手段からの流体温度Ｔに対応して流量演算式の比例定数Ｋの温度補正を行うガス温度補正手段と，補正後の後の演算流量Ｑ_Ｃと設定流量Ｑ_Ｓとの差を制御信号としてコントロールバルブへ出力する比較回路と，から構成する。 （もっと読む）

【課題】 コストを減少するとともに、スペースの減少も可能とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置1は、流体制御部2と流体導入部3とを有している。流体導入部3は、３つに分けられており、入口側に配置されてそれぞれ２×Ｎ／２個の開閉弁23からなる第１および第２入口側遮断開放部5,6と、４×Ｍ個の開閉弁23からなり、第１および第２入口側遮断開放部5,6と流体制御部2との間に配置された流体制御部側遮断開放部7とからなる。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、金属ダイヤフラム８に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 圧電素子１３の伸長によりダイヤフラム押え１２を介して弁座７ｃへ当座又は弁座７ｃから離座する金属ダイヤフラム８を備えた圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁において、圧電素子１３と金属ダイヤフラム８との間に配設される皿バネ機構１４を、下端部にダイヤフラム押え１２が挿着されると共に上端部に上方が開放された収納空間２２ｂを形成したダイヤフラム押えホルダー２２と、ダイヤフラム押えホルダー２２の収納空間２２ｂに配設された複数枚の皿バネ２３と、最上位の皿バネ２３の上面に載置され、圧電素子１３の下方に位置して圧電素子１３の伸長を皿バネ２３へ伝達するボール受け２４と、皿バネ２３の反発力を調整すると共にボール受け２４及び皿バネ２３を抜け止めするようダイヤフラム押えホルダー２２に螺着されたバネ調整用ナット２５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 液体材料の流量調整用バルブの開閉頻度を低減し、気化器で気化させた原料ガスを高精度に流量制御可能で、該バルブの寿命を延命することができる、液体材料の気化供給システムを提供する。
【解決手段】 加圧供給される液体材料を受け入れて気化させるための気化器４と、気化器４からの流出ガスの流量を調整する流量制御装置５と、気化器４から流量制御装置５に供給されるガスの圧力を検出する圧力検出器６と、気化器４への液体材料の供給を制御する制御弁７と、気化器４内のガス圧が低下して圧力検出器６の検出値が予め設定された閾値以下となったときに制御弁７を開き、制御弁７の開操作によって気化器４内のガス圧が上昇し圧力検出器６の検出値が前記閾値を超えた後の所定の遅延時間経過後に制御弁７を閉じるように制御する制御装置と、を備える。 （もっと読む）