【課題】混合ガス内の原料濃度を正確に調整し、高精度な流量制御の下でプロセスチャンバへ安定供給できる原料濃度検出機構を備えた原料気化供給装置を提供する。
【解決手段】マスフローコントローラ３を通してキャリアガスＧ_Ｋをソースタンク５内へ供給し、恒温部により一定温度に保持して発生させた原料４の飽和蒸気Ｇをプロセスチャンバへ供給する原料気化供給装置において、前記ソースタンクからの混合ガスＧ_Ｓの流出通路に自動圧力調整装置８を設け、その下流側にマスフローメータ９を設け、前記自動圧力調整装置のコントロールバルブ８ａを開閉制御することによりソースタンク５の内部圧力Ｐｏを所定値に制御する。マスフローコントローラ３によるキャリアガスＧ_Ｋの流量Ｑ_１と前記ソースタンク内圧Ｐｏとマスフローメータ９の混合ガスＧｓの流量Ｑ_Sの各検出値を原料濃度演算部へ入力して原料４の流量Ｑ_２を演算し、更に原料濃度Ｋを演算し、表示する。 （もっと読む）

【課題】 サーモスタットの設置を容易とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 温度計測が必要な流体制御機器6と支持部材9との間にスペースSが形成されている。サーモスタットユニット10が、スペースS内に配されて、サーモスタット11が温度計測が必要な流体制御機器6に当接させられている。サーモスタット11は、支持部材9に取り付けられた取付け治具12に支持されている。取付け治具12は、支持部材9に固定される第１治具13と、第１治具13に固定された第２治具14と、第２治具14に移動可能に取り付けられてサーモスタット11が固定される第３治具15とからなる。第１治具13と第３治具15との間に付勢部材が介在されている。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ内に反応生成物に起因する不純物が入り込むことを防止することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 対称状に配置された同一形状の２つの開閉弁2,3を有している。各開閉弁2,3の出口に、互いに平行となるように同じ長さの流体排出通路6,7,11,12が設けられている。２つの流体排出通路6,7,11,12の出口に、各流体排出通路6,7,11,12に通じる同じ長さの流体通路25,26を有しチャンバに取付け可能な接続部材10が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 固体原料或いは液体原料を加熱して生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置を用いて流量制御しつつプロセスチャンバへ安定して供給できるようにすることにより、原料の気化供給装置の小型化と、半導体製品の品質向上を図ると共に、原料の残量管理を容易に出来るようにする。
【課題解決手段】 原料を貯留したソースタンクと，ソースタンクの内部空間部から原料蒸気をプロセスチャンバへ供給する原料蒸気供給路と，当該原料蒸気供給路に介設されプロセスチャンバへ供給する原料蒸気流量を制御する圧力式流量制御装置と，前記ソースタンクと供給路と圧力式流量制御装置とを設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、ソースタンクの内部空間部に生成した原料蒸気を圧力式流量制御装置により流量制御しつつプロセスチャンバへ供給する。 （もっと読む）

【課題】キャリアガスを用いることなしに液体原料ガスの蒸気である原料ガスのみを高精度で流量制御しつつプロセスチャンバへ安定供給可能な構造の簡素化及び小型化を図った原料ガス供給装置を提供する。
【解決手段】液体原料ガスを貯留するソースタンク５の温度を設定値に保持すると共に、ソースタンクの内部上方空間部から導出した液体原料ガスの蒸気である原料ガスＧ１のプロセスチャンバ１１への供給圧力を自動圧力調整装置６によって制御し、自動圧力調整装置の二次側ガス流通路内の原料ガス圧を所望の設定圧に保持しつつ原料ガスＧ１を絞り部を介してプロセスチャンバへ供給する構成とする。 （もっと読む）

【課題】超小型電気化学素子に高粘度の電解液を微量かつ性格に迅速に定量供給し、陰極、陽極合剤に浸透拡散を可能にする新電解液供給方式を採用する電気化学素子を提供する。
【解決手段】電解液を供給する装置として電解液２１を有する容器の噴霧出口側１５にノズル１２を有し、パルス発生回路１４に接続された圧電振動子１３を有するものを使用することによって、電解液は間欠的に素子の電極合剤面又はセパレータ上に電気化学素子に供給される。 （もっと読む）

【課題】 耐熱性を向上するとともに、高温使用に伴う「シール部材への栓体の張り付き」という課題を解消することで、高温条件下においても使用することができる逆止弁を提供する。
【解決手段】 第１ボディ2に設けられた流体通路2aの開口を付勢部材7により付勢された栓体5がシール部材4に当接することで遮断状態が得られている。シール部材4が二次加硫されたパーフロロエラストマー製パッキンとされている。栓体5に、シール部材4に線接触する環状のシール部6が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ライン支持部材の位置決めを容易にすることで、組立て時間の短縮化を可能とするとともに、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 ベース部材30は、上横枠部材31および下横枠部材32とこれらに直交する左右縦枠部材33,34とによって方形の枠状に形成されている。各横枠部材31,32に、各ライン支持部材40を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材40の上下端部は、各横枠部材31,32の位置決め部によって位置決めされた状態で、各横枠部材31,32とベース部材30に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材37,38との間に挟持されている。 （もっと読む）

【課題】混合ガス内の原料濃度を正確に調整し、プロセスチャンバへ安定して供給し、原料の残量管理を容易にする原料の気化供給装置を提供する。
【解決手段】原料４を貯留したソースタンク５と、キャリアガス供給源１からのキャリアガスＧ_１をソースタンク５の内部上方空間５ａへ供給する流路Ｌ_１と、コントロール弁ＣＶ_１の開度調整により内部上方空間５ａの圧力を制御する自動圧力調整装置１５と、原料４より生成した原料蒸気と前記キャリアガスとの混合体である混合ガスＧ_０をプロセスチャンバ１１へ供給する流路Ｌ_２と、コントロール弁ＣＶ_２の開度調整によりプロセスチャンバ１１へ供給する混合ガスＧ_０の流量を自動調整する流量制御装置１９と、流路Ｌ_１及び流路Ｌ_２を設定温度に加熱する恒温加熱部とから成り、内部上方空間５ａを所望の圧力に制御しつつプロセスチャンバ１１へ混合ガスＧ_０を供給する構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で流体制御器におけるダイアフラム交換時期を正確に管理することが可能であって、既存の流体制御器に対しても容易に適用することができる技術の提供。
【解決手段】入口流路と出口流路とを有するバルブボディと、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラムと、前記ダイアフラムを操作するための操作機構と、前記バルブボディとの間で前記ダイアフラムを挟持するボンネットとを備え、前記ボンネットには、前記ダイアフラムの前記ボンネット側面からのはみ出し量が一定値以上になったことを目視で検知可能とする指標部材が取り付けられている、ことを特徴とする流体制御器。 （もっと読む）