【課題】 処理液の流れ方向を常に変化させることにより、被処理基板の処理効率を上げて基板表面の均一化を可能にした基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】 複数枚の被処理基板Ｗを収容できる処理槽２と、処理槽の底部に配設された複数本の処理液供給管３１〜３５と、この処理液供給管に処理液を供給する制御装置５とを備えた基板処理装置１において、処理液供給管３１〜３５のうち、第１処理液供給管３１は処理槽の底壁面２２の中央部に、第２処理液供給管３２、３３は第１処理液供給管の両側に、噴射ノズルを前記処理槽内に収容される被処理基板Ｗの中央部に向けて配設し、第３処理液供給管３４、３５は前記処理槽の側壁に噴射ノズルを被処理基板Ｗの頂部に向けて配設し、制御装置５は被処理基板Ｗの洗浄時に処理液を前記第１処理液供給管３１からは常時、前記第２、第３処理液供給管からは秒単位の間隔で交互に切換えて供給する。 （もっと読む）

【課題】処理槽内での処理液の淀みをなくし、均一な基板処理を可能とし、更にパーティクルの除去を容易にした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 四方を側壁２ｂ〜２ｅで囲まれ上部が開口した有底の容器からなる処理槽１と、この処理槽１に処理液を供給する第１、第２供給ノズル管１０ａ〜１０ｄとを備えた基板処理装置において、前記第１、第２供給ノズル管１０ａ〜１０ｄは、それぞれ中空筒状体の長手方向の側面に所定間隔で１列に配列された複数個の噴射口１１を有する供給ノズル管からなり、このうち第１供給ノズル管（１０ｂ、１０ｄ）は、その噴射口を水平方向に対して所定角度で斜め下方に傾斜させ、第２供給ノズル管（１０ａ、１０ｃ）は、その噴射口を水平方向に対して所定角度で斜め上方に傾斜させて、前記処理槽１の一側壁面２ｂに所定間隔をあけてほぼ水平に設けた。 （もっと読む）

【課題】 各種の薬液処理、水洗及び乾燥処理を同一の処理槽で処理できるようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 上方に開口部を有する箱型の処理槽１１と、この処理槽の開口部を開閉自在に覆う蓋体２１とを備えた基板処理装置において、前記蓋体２１は、その内部に被処理基板Ｗを収容して乾燥する乾燥室２３が形成され、前記処理槽１１は、前記箱型を構成する対向各側壁面に、それぞれ少なくとも３本の処理液供給ノズル管１４ａ〜１４ｃ、１４ａ'〜１４ｃ'が所定間隔をあけて水平に配設され、これらの供給ノズル管１４ａ〜１４ｃ、１４ａ'〜１４ｃ'は切換機構に接続されて対向する側壁側から交互に切り換えて処理液が供給される基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】 組立て時の吹出ノズルの調節を不要にして組立作業を簡単にした基板支持体を備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 基板支持体２に被処理基板Ｗを載置し、この基板支持体２を回転させながら前記基板表面に処理液を滴下してその表面処理を行う基板処理装置１において、前記基板支持体２は、円形深皿状をなした基台３と、全体が円盤状をなし、その長手方向の断面が逆台形状で前記基台の上部開口に嵌め込まれた天板１０と、前記基台３又は前記天板１０の回転中心に設けられた中空の回転軸１５と、を備え、この嵌め込みにより互いに接触する前記天板１０の接触面１３及び前記基台３の上部開口の接触面５ａから選択される少なくとも一面には中空の回転軸１５から外方に向かって放射状に伸びた複数本のスリット状溝からなるガス吹出ノズル１４が形成されている基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】少ない乾燥用気体でウォータマークの発生をなくし且つ安全性が高い基板処理法及び基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 処理液を貯留し被処理基板を浸漬して表面処理する処理槽１０と、処理槽に洗浄液を供給する洗浄液供給部４３と、処理槽から洗浄液を排出する排出部４４と、処理槽へ乾燥用気体を供給する乾燥用気体供給部と、を備えた基板処理装置１において、排出部４４は流量調節可能な可変バルブＶ_３を有し、乾燥用気体供給部は乾燥用有機化合物を常温で自然蒸発させる蒸気発生部３５を有し、被処理基板の洗浄処理終了後に蒸気発生部３５からの蒸気を含む乾燥用気体の供給を開始し、更に可変バルブを開いて低速度で洗浄液を排液させ、被処理基板の下端が洗浄液から脱した時点で可変バルブを開いて急速排液させ、この排液終了後も、乾燥用気体の供給を所定時間継続させ乾燥処理を行う基板処理装置及びこれを用いた基板処理法。 （もっと読む）

【課題】 各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、汎用性に富むとともに、スループットにも優れる基板洗浄技術を提供する。
【解決手段】 基板洗浄部Ｂは、複数種類の薬液で洗浄処理可能な多機能洗浄槽３（３ａ、３ｂ）と、専用の薬液で洗浄処理可能な単機能洗浄槽４（４ａ、４ｂ）とを組み合わせてなる洗浄槽列１（１ａ、１ｂ）が２組設けられてなり、各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、スループットにも優れる。 （もっと読む）