【課題】 容器にローディングされた複数の基板を選択的にアンローディングできる基板移送装置及び方法を提供する。
【解決手段】容器内から複数の基板を引き出して移送する基板移送装置は、移送の時に複数の基板が各々載置される複數のブレードと、各々のブレード４２０ａの一端に設置され、容器から基板を引き出す時、ブレード４２０ａの上部に突出される引出部材５００ａと、各々のブレード４２０ａから各々の引出部材５００ａを選択的に突出させる駆動ユニット６００とを含む。引出部材５００ａは、中空形であり、ブレード４２０ａの一端に形成された締結孔４２４ａで上下移動するように設置される。引出部材５００ａは、上部が閉塞された形状を有する。 （もっと読む）