【課題】生体試料の成分濃度の分析を行う自動分析装置に投入する検体の前処理を実施する装置において、マニュアル作業の低減を図り、処理能力の向上と低コスト化を達成することができる生体試料の分析装置を提供する。
【解決手段】生体試料の分析装置において、採血管１０１を鉛直に固定する孔３１１と、採血管１０１に光を照射する照射手段３１２と、照射手段３１２を採血管１０１の側面に沿って相対的に移動させる移動手段３１６と、採血管１０１の鉛直方向の上側に固定され、移動手段３１６による移動と同期して採血管１０１の内部を所定の時間間隔で撮像する撮像手段３２４と、撮像手段３２４で撮像された撮像画像を取得するデータ取得手段３２７と、撮像画像に基づいて、層の境界位置を特定するデータ解析手段３２８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ユーザの意図を反映可能な分類条件設定機能を有する二分木構造を用いて欠陥を分類する装置の提供。
【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】直立カラムを用いて得られるトップダウン像と同程度の高分解能の傾斜像を得ることのできる傾斜カラム付の走査電子顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】直立カラム１００と傾斜カラム２００を有し、傾斜カラム２００の対物レンズ２４の先端磁極２５を磁極本体から分離して電気的に絶縁し、試料１３に近づけて配置し、対物レンズ２４の先端磁極２５と試料１３とを同電位に保つことにより、直立カラム１００でリターディングをして高分解能トップダウン観察、傾斜カラム２００で短焦点動作による高分解能傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】
試料全面を短時間で走査し，試料に熱ダメージを与えることなく微小な欠陥を検出することができるようにする。
【解決手段】
光源から発射されたパルスレーザをパルス分割し、パルス分割したパルスレーザを回転しながら一方向に移動している試料の表面に照射し、パルス分割されたパルスレーザが照射された試料からの反射光を検出し、反射光を検出した信号を処理して試料上の欠陥を検出し、検出した欠陥に関する情報を表示画面に出力する欠陥検査方法において、パルス分割したパルスレーザの光強度の重心位置をモニタし、モニタしたパルス分割されたパルスレーザの光強度の重心位置を調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの回路パターンの測長輪郭線の位置を高精度に求める。
【解決手段】パターン計測装置は、転写された回路パターンの画像輪郭線を取得する（ステップＳ３０１）。そして、パターン計測装置は、デザインデータを基本形状に分解し（ステップＳ３０２）、基本形状ごとに法線ベクトルを算出する（ステップＳ３０３）。次に、画像輪郭線に基本形状をマッピングし（ステップＳ３０４）、画像輪郭線にマッピングされた基本形状に対応する法線ベクトルを用いて測長輪郭線の位置を求める（ステップＳ３０５）。なお、デザインデータは、ＯＰＣ（光近接効果補正）の処理が行われていてもいなくても、いずれの場合にも適用できる。 （もっと読む）

【課題】各半導体発光素子と各拡大レンズとの光軸調整を容易に精度良く行う。
【解決手段】レーザー光源６７とピンホール６３ａが設けられた遮光板６３とを有する光軸調整装置６０を用いて、光軸調整装置６０のレーザー光源６７から発生したレーザー光を、各拡大レンズ４３を通して光軸調整装置６０の遮光板６３へ照射し、レーザー光が遮光板６３のピンホール６３ａを通過する様に、各拡大レンズ４３を遮光板６３に対して位置決めした後、各半導体発光素子４２から発生した光を、各拡大レンズ４３を通して光軸調整装置６０の遮光板６３へ照射し、遮光板６３のピンホール６３ａを通過した光の強度が最大となる様に、各半導体発光素子４２を各拡大レンズ４３に対して位置決めする。そして、各半導体発光素子４２と各拡大レンズ４３とを、互いに位置決めした状態で一緒に設置する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ処理装置において、処理室減圧時のウエハの移動を抑制する。
【解決手段】真空処理室１０１に処理ガスを供給するガス供給装置１０９，１１０，１１１と、前記真空処理室内で試料を載置して保持する試料台１０４と、前記真空処理室内を排気する排気装置１０６と、前記真空処理室に高周波エネルギを供給してプラズマを生成するプラズマ生成装置１０７，１０８とを備え、前記試料台上に配置した試料にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記試料台は載置した試料を上方に押し上げるプッシャーピンを備え、プラズマ処理の終了後、前記プッシャーピンを操作して試料を試料台から押し上げた状態で真空排気する。 （もっと読む）

【課題】シート状の磁性体である被検査体中に混入している金属異物を高速かつ高精度で検出することを課題とする。
【解決手段】本発明は、シート状の磁性体である被検査材１１１に金属異物が混入しているか否かを検査する検査システム１ａであって、金属異物を含む可能性のある被検査材１１１を磁化し、その後、被検査材１１１の磁化をキャンセルする強度の磁場を、被検査材１１１に印加し、複数の磁気センサ１３０で検出した磁気信号を差分処理し、その差分処理の結果に基づいて、被検査材１１１に金属異物が混入しているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】配線で可動範囲が制限されたりすることなく試料又はマスクの位置をより柔軟に調整することができる荷電粒子線装置、試料移動装置、マスク位置調整機構、試料位置調整方法及びマスク位置調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料ステージ００８に対する試料の位置を調整する試料移動装置０４０であって、ＳＥＭ制御ユニット０１５からの指令に応じて出力指示信号を生成する赤外線ランプ制御ユニット０１４と、赤外線ランプ制御ユニット０１４からの出力指示信号に応じて赤外線信号を照射する赤外線ランプ０１０と、試料ステージ００８上に固定された試料台ホルダー００７と、試料台ホルダー００７に対し変位可能に取り付けた試料台１０２と、赤外線ランプ０１０からの赤外線信号を受光する赤外線センサー１０８と、赤外線センサー１０８で受光した赤外線信号に応じて試料台１０２を駆動するモーター１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】流路内に気体と液体が混在することにより生じる現象がシリンジからノズルへの圧力伝達に及ぼす影響を抑制することができる自動分析装置を提供する。
【解決手段】液体や気体を吸引・吐出するノズル１７と、ノズル１７に吸引・吐出させるための圧力を発生させるシリンジ３２と、対象物を排出するためのドレイン３９と、ノズル１７と分岐部２３とを連絡する第１流路２０、ドレイン３９と分岐部２３とを連絡する第２流路２１、及び、シリンジ３２と分岐部２３を連絡する第３流路２２を有する流路と、第１流路を開閉する第１開閉弁３０と、第２流路を開閉する第２開閉弁３１と、第２流路２１における第２開閉弁３１のドレイン３９側の流路に設けられ、ドレイン３９に送られる気体と液体の混合物を通して気体を分離除去するための気液分離機構３３とを備える。 （もっと読む）