【課題】４０ｎｍ以下のパターンピッチのナノインプリント金型を簡便に製造できる方法を提供する。
【解決手段】
本発明によるナノインプリント金型の製造では、ＳｉＯ_２層を設けたＳｉ基板に、集束イオンビームを用いて所望の位置に金属を堆積し、この基板を加熱して、堆積した金属を凝集させて、ナノインプリント金型のパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】より小径かつ小ピッチのナノパターンを形成することができるナノ金型の製造方法の提供。
【解決手段】ナノインプリント法に用いられるナノ金型の製造方法であって、Ａｌ_２Ｏ_３基板２０上に非晶質炭素材料のＤＬＣから成る被エッチング層２１を形成する第１の工程と、集束イオンビーム援用化学気相成長により、被エッチング層２１上に薄膜パターン２２を形成する第２の工程と、薄膜パターン２２をマスクとして、酸素ガスを用いたドライエッチングにより被エッチング層２１をエッチングし、複数のナノ凸パターン２００が形成された成型転写面を形成する第３の工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高記録密度を簡易かつ低コストで実現する
【解決手段】基板１１０上面に設けられた非磁性下地層４２と軟磁性金属ガラス層４４は、熱式インプリントの際に加熱されかつ徐冷されても、結晶化することなくアモルファスと同様の構造を維持することができるので、これらに対して熱的な影響を与えることなく軟磁性金属ガラス層４４に熱インプリントでパターンを形成することができる。また、当該形成されたパターンに応じて硬磁性層４６が分割形成されることから、エッチングやアッシングなどの処理を行うことなく（すなわち、これらの処理を行うための設備を用意することなく）パターン形成することができる。 （もっと読む）

【課題】高密度記録が可能な磁気ディスクを簡易かつ低コストで製造する。
【解決手段】基板１１０上面に設けられた軟磁性金属ガラス層４４は、熱式インプリントの際に加熱されかつ徐冷されても、結晶化することなくアモルファスと同様の構造を維持するので、熱的な影響を与えることなく軟磁性金属ガラス層４４に熱インプリントでパターンを形成することができる。したがって、熱インプリントで形成されたパターンに応じた記録が可能なディスクリート・トラックメディア（ＤＴＭ）やパターンドメディア（ＰＭ）が、エッチングやアッシングなどの処理を行うことなく（すなわち、これらの処理を行うための設備を用意することなく）製造できるので、高密度記録が可能な磁気ディスクを簡易かつ低コストで製造することができる。 （もっと読む）

【課題】金属ガラス合金の加工位置およびその周辺部において結晶を生じさせることなく金属ガラス合金の機械加工を行うとともに、工具の摩耗の進展を遅くして工具の寿命を長くする金属ガラス合金の機械加工方法を提供する。
【解決手段】金属ガラス合金１２の加工位置の温度を温度測定装置で測定し、最適温度になるように、金属ガラス合金１２と工具２２とが接触する加工位置Ａに冷却媒Ｌを供給しつつ、金属ガラス合金１２を結晶化温度以下の温度で機械加工する。 （もっと読む）

【課題】金属ガラス球体部の表面精度を高めて真球体である金属ガラス球体にすることのできる金属ガラス球体の製造方法を提供する。
【解決手段】ランナー２７で数珠繋ぎ状態となった金属ガラス球体部１０ａを有する鋳造物１１をランナー２７部分で切断して側部にランナー切断突起２７ａが残った金属ガラス球体部１０ａを形成し、研磨用保持板３４に独立して設けられた複数の保持孔３８に、金属ガラス球体部１０ａを研磨用保持板３４に対して回転可能に、かつ金属ガラス球体部１０ａの一部が研磨用保持板３４から露出するように収容し、この状態で研磨盤４０、４６を金属ガラス球体部１０ａの露出部に接触させつつ研磨用保持板３４に対して研磨盤４０、４６を偏心させて相対回転させ、金属ガラス球体部１０ａの表面を研磨することにより、上記課題を解決した金属ガラス球体の製造方法を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】均質な非結晶質組織を有する金属ガラスを製造することのできる金属ガラス球体成形用鋳型を提供する
【解決手段】湯道２２にてその側面同士を連通した球状の空間を有する複数のキャビティ２０と、湯道２２からは最も遠く、また、金属ガラス溶湯１２の流れ方向に直交するキャビティ２０の最大径部２０ａに近づくにつれて近接するようにキャビティ２０に沿って形成され、かつ、金属ガラス溶湯１２の流れとは逆方向に通水される通水孔２６とがその内部に形成することにより、上記課題を解決することのできる金属ガラス球体成形用鋳型１４を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】微細な金属ガラスの成形品を高い精度で製造することができる金属ガラスの成形装置および金属ガラスの成形方法を提供する。
【解決手段】金属ガラス成形用材料を溶融し、前記溶融された金属ガラス成形用材料を鋳型を用いて成形する金属ガラスの成形方法であって、前記金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱し、前記金属ガラス成形用材料を溶融させ、前記溶融した金属ガラス成形用材料および前記鋳型を加熱しつつ、金属ガラス成形用材料に圧力を加えて前記鋳型に含浸させ、前記金属ガラス成形用材料が含浸された前記鋳型を冷却して、前記溶融した金属ガラス成形用材料を凝固させることを特徴とする金属ガラスの成形方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】記録密度の向上を図ることができる磁気記録媒体の提供。
【解決手段】基板１１に金属ガラス層１３を形成し、その金属ガラス層１３を過冷却液体領域温度に保ちつつ金型２を押圧し、金属ガラス層１３に金型２の成形転写面に形成された凸凹形状を金属ガラス層１３に転写する。形成された凹部１３０内に磁性体を埋め込んだり、凸部１３２上に磁性体を蒸着することにより、磁気的に孤立化された磁性ドットが形成された磁気記録媒体が得られる。金属ガラス層１３に凹凸形状をナノインプリンティングすることで、非常に微細な凹凸形状を形成することができ、磁気記録媒体の記録密度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】より微細なピットパターンを有する情報記録ディスクの製造に対応できる情報記録ディスク用スタンパーの製造方法の提供。
【解決手段】情報記録ディスク、例えばＣＤ−ＲＯＭ、のピットパターンに対応する凹凸面を、電子ビーム・フォトリソグラフィ法を用いてシリコン基板１に形成する。そして、過冷却液体温度域を有するアモルファス合金４を過冷却液体温度域に保ちつつシリコン基板１の凹凸面に押圧し、アモルファス合金４に成型転写面Ｓ１を形成する。過冷却液体温度域に保たれたアモルファス合金４は粘性が低いため、アモルファス合金４が微細な凹凸部分に充填され、転写精度の高い成型転写面Ｓ１が得られる。 （もっと読む）