説明

クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッドにより出願された特許

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【課題】支持構造を有するMEMSデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】MEMSデバイスの実施形態は、導電性の移動可能層を含み、該移動可能層は、ギャップによって導電性の固定層から隔てられ、導電性の移動可能層内のくぼみの上にある剛性の支持構造もしくはリベットによって、または導電性の移動可能層内のくぼみの下にある柱によって支持される。特定の実施形態では、リベット構造の部分は、移動可能層を通って下の層に接触する。他の実施形態では、剛性の支持構造の形成に使用される材料を、MEMSデバイスと電気的に接続する不動態化を経ないと曝されるであろうリードを不動態化して、これらのリードを損傷またはその他の干渉から保護するためにも用いることができる。 (もっと読む)


【課題】光変調装置の2層の間のキャビティの深度を制御する方法および装置が提供される。
【解決手段】光変調装置を作る方法は、基板を形成するステップと、基板の少なくとも一部の上に犠牲層を形成するステップと、犠牲層の少なくとも一部の上に反射層を形成するステップと、基板の上に1つまたは複数の屈曲コントローラを形成するステップとを含んでおり、屈曲コントローラは、反射層を動作可能に支持し、犠牲層の除去の際に犠牲層の厚さとはある程度異なる深度のキャビティを形成するように構成されており、深度は基板に対して垂直に測定される。 (もっと読む)


【課題】MEMSディスプレイアーキテクチャ用の低範囲ビット深度拡張のための方法および装置を提供する。
【解決手段】光変調器装置は、第1の電気導管、第1の導管から電気的に絶縁された第2の電気導管、第1の表示素子、および第2の表示素子を備える。第1の表示素子は、第1の導管と第2の導管との間の電圧差の大きさが第1の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第1の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。第2の表示素子は、この電圧差の大きさが第2の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第2の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。各動作電圧が実質上等しく、各解放電圧が異なるか、または各動作電圧が異なり、各解放電圧が実質上等しいかのいずれかである。 (もっと読む)



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【課題】干渉変調器の製造を改善するための方法及びシステムを提供する。
【解決手段】干渉変調器の動作光学範囲内の光の波長に対する閾値未満の吸光係数(k)を有する物質を組み込むことによって、MEMディスプレイ装置において、広帯域白色光を得ることができる。一実施形態は、この物質(23)を透明基板(20)の少なくとも一部の上に堆積させる段階と、この物質の層の上に誘電体層(24)を堆積させる段階と、この誘電体の上に犠牲層を形成する段階と、この犠牲層の上に導電性層(14)を堆積させる段階と、犠牲層の少なくとも一部を除去することによってキャビティ(19)を形成する段階とを備えたMEMSディスプレイ装置の製造方法を提供する。適切な物質は、ゲルマニウム、多様な組成のゲルマニウム合金、ドーピングしたゲルマニウム、ドーピングしたゲルマニウム含有合金を含み得て、透明基板上に堆積されるか、透明基板または誘電体層内に組み込まれ得る。 (もっと読む)


干渉変調器(“IMOD”)ディスプレイが、周辺光を利用し、MEMS変調器に到達する周辺光の量を低減させることおよび任意の光学的歪みまたは性能の損失を生じることなく、接触感知を組み込む。接触感知のための電極が、干渉ディスプレイの裏面ガラスに位置され、第一の機能が接触を感知するためにMEMSディスプレイのピクセルを駆動することである電極とともに使用される。接触が、IMOD層を歪め、ディスプレイの後部のさまざまなディスプレイ層を介して感知される。
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本明細書には、デバイスに印加される圧力を検出する方法及びデバイスが説明されている。一実施形態において、前記デバイスは、第一の層と、前記第一の層の下部に位置する第二の層とを備える。前記第一の層及び前記第二の層はキャビティを形成する。前記デバイスは、前記キャビティ内に配置された複数のディスプレイ素子をさらに備える。前記デバイスは、前記第一の層及び前記第二の層の間の相対的な運動を測定するように構成されたセンサをさらに備える。他の一実施形態において、前記デバイスは音波を検出しうる。
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表示の更新装置及び方法が開示される。識別値は、表示データのユニットに対して決定される(1010、1015)。更新中に受け取られる表示データのユニットに対する識別値は、以前に受け取られた表示データのユニットに対する識別値と比較される(1020)。比較に基づいて(1025)、ディスプレイの対応する部分の更新が省略され得る(1030)。
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ディスプレイ素子のアレイを駆動するシステムは供給ラインと、少なくとも一つのキャパシタと、複数のドライブラインと、複数のオーバードライブラインと、複数のスイッチと、少なくとも一つの前記キャパシタを前記ドライブライン及び前記オーバードライブラインに選択的に接続できるように前記スイッチのサブセットを作動させ、また非作動にさせるように構成されたコントローラと、を含む。オーバードライブ電圧を生成する方法は、複数のスイッチを作動させまた非作動にさせ、ドライブ電圧ライン及び/またはオーバードライブ電圧ラインを少なくとも一つのキャパシタに接続する段階を含む。
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