デバイスの可動構成部品の永久付着、または吸着を軽減する電気機械システムデバイスを製作する方法が提供される。その方法は、改善されたおよび再現性のある表面粗さを持つアモルファスシリコン犠牲層を提供する。アモルファスシリコン犠牲層はさらに、電気機械システムデバイスで使用される普通の材料への優れた付着性を提示する。
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本明細書に開示される様々な実施形態は、効率の改善した光起電力デバイスを備える。光起電力デバイスは、光起電力材料(203)、反射性導体(602)、内部全反射面(606)および微細構造(601)を備える。微細構造(601)は、反射光のうちのいくらかが臨界角より大きな角度で内部全反射面(606)上へ入射するように光を反射する。いくつかの実施形態では、光起電力デバイスは、光起電力材料(203)、反射性導体(602)、および導体(602)の前方にあり、導体(602)の方へ向かう光線の方向を変えて、方向変更された光が光起電力材料(203)上へ入射するように構成された面(701)を有する。様々な実施形態は、効率が改善した光起電力デバイスを製造する方法を含む。他の実施形態も説明される。
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固定反射体と電極との間に配置された離隔層を備えた干渉型変調器デバイスが提供される。離隔層が、可動反射体と電極との間の短絡を防ぎ、フィルタリングキャビティを提供し、彩度が改善する。
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1つの実施形態は、反射型光変調器などの画像の一部分を表示するように構成されている光変調器と、その画像の一部分を表示するように構成されている発光体と、光変調器および発光体のうちの少なくとも1つに、その画像の一部分を示す信号を選択的に与えるように構成されている回路とを備えるディスプレイを含む。1つのこのような実施形態においては、アクティブマトリックスが、このようなデバイスに単純な、効率的な駆動をもたらす。他の実施形態は、このようなデバイスを形成し、駆動する方法を含む。
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電力効率の良い電源レギュレータ回路が開示される。前記回路は、電流負荷に従って、それらのオーバヘッド電流を変更するように構成される。これは、電流負荷が幅広く変化する表示装置において使用するのに特に有利である。そのような表示装置は、例えば干渉変調器表示装置、液晶表示装置、及びＤＭＤ表示装置のような双安定表示装置を含む。
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透過型微小機械デバイスが、基板と、基板の上の光学スタックと、光学スタックの上の可動膜とを含む。可動膜は、部分反射ミラーを含んでよく、第１の位置から第２の位置に動くように構成される。可動膜が第１の位置にあるとき、透過型微小機械デバイスは所定の色の光を通すように構成され、可動膜が第２の位置にあるとき、微小機械デバイスは基板上に入射する実質的にすべての光を遮断するように構成される。
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干渉型変調器が、可動反射体の反対側の、可動柔軟層の一側上に、熱膨張平衡層を備え、温度が変化した場合に、可動反射体と光学積層体との間の距離が、大きく変化せず、これにより、安定したカラーを生じる。さらに、干渉型変調デバイスが、可動柔軟層と可動反射体との間に補強層、及び少なくとも一つの空間を備え、この空間は、可動反射体と補強層とが互いに接触する表面上に存在し、可動反射体が、曲げに対してさらに堅固なものとなり、これにより、可動反射体の感温性を低減させる。
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基板上に堆積した反射防止層と、この反射防止層の上に堆積した第１の電極層と、この第１の電極層の上に堆積した半導体層と、この半導体層の上に堆積した第２の電極層とを備える、発電ブラックマスク。
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表示要素の電気的検知、測定、および特徴評価のための方法およびシステムを記載する。一実施形態は、電気的検知、測定、および特徴評価を表示駆動機構に統合することを含む。この実施形態によると、例えば、干渉変調器MEMSデバイスのDC電圧もしくは動作ヒステリシス電圧および/または応答時間の測定を表示駆動ICおよび/または表示駆動機構と完全に統合させることが可能になる。別の実施形態によると、人間のユーザが見て分かる表示アーティファクトをもたらすことなくこれらの測定を実行および使用することができる。別の実施形態によると、測定回路はいくつかの既存の回路構成要素および機能を再使用して表示駆動ICおよび/または表示駆動機構と統合することができ、したがって、測定法およびその使用の統合が比較的容易に可能になる。
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本願明細書において、記載される様々な実施形態において、光学的に光電池（１１０１）に結合される光コレクタ（１１０２）を備える装置が、記載される。その装置は、体積回折特徴物、表面回折特徴物、体積ホログラム、又は表面ホログラムを備える光転向フィルム又は光転向層を、更に備える。光コレクタ（１１０２）上に入射する光は、反射型又は透過型の体積回折特徴物、表面回折特徴物又はホログラムによって、向きが変えられ、複数の全反射によって、光コレクタによって、（１１０２）を導波される。導波される光は、光電池（１１０１）へ向け替えられる。様々な実施形態において、光コレクタ（１１０２）は、薄く（例えば、１ミリメートル未満）、例えば、薄膜を備える。光コレクタ（１１０２）は、可撓性材料で形成されることができる。
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