希ガスフッ化物、たとえば、二フッ化キセノン（ＸｅＦ_２）を含むエッチャントによって犠牲層をエッチングするステップを含む、電気機械デバイスを作製する方法。エッチングプロセスの効率は、種々の方法で増加する可能性があり、また、エッチングプロセスのコストは減少する可能性がある。未使用エッチャントが、エッチングプロセス中に、単離され、再循環されてもよい。エッチング副生成物は、エッチングプロセス中にエッチングシステムから収集され除去されてもよい。エッチャントの成分は、単離され、一般的な付加的エッチャントに対して使用されてもよい。エッチャントまたはエッチングされる層のいずれかまたは両方が、特定のエッチングプロセスについて最適化されてもよい。
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ＭＥＭＳ装置（８００）は、基板（８０２）と、基板（８０２）上の作動電極（８０４）と、作動電極（８０４）上の反射層（８１０）と、作動電極（８０４）と反射層（８１０）との間の支持層（８０８）とを含む。反射層（８１０）は、その反射層（８１０）を貫通する少なくとも一つの開口（８１４）を含む。支持層（８０８）は、作動電極（８０４）と少なくとも一つの開口（８１４）との間に凹部（８１２）を含む。制御信号を装置（８００）に印加する際に、反射層（８１０）の少なくとも第一の部分（８１６）は凹部（８１２）内に移動するように構成されていて、反射層（８１０）の少なくとも第二の部分（８１８）は静止したままであるように構成されている。ＭＥＭＳ装置（８００）の反射性は、第一の部分（８１６）から反射される光と第二の部分（８１８）から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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映像ディスプレイにピクセルを形成するのに適した光デバイス８００。光デバイス８００は、第１の屈折率を有する第１の層８０２と、第１の屈折率よりも低い第２の屈折率を有する、第１の層８０２の上の第２の層８０４と、第２の屈折率よりも高い第３の屈折率を有する、第２の層８０４の上の第３の層８０６と、少なくとも部分的に光吸収性である第４の層８１０とを含み、光スタック８０８および第４の層８１０は、デバイスが第１の状態のときは互いから第１の距離にあり、デバイスが第２の状態のときは互いから第２の距離にあり、第１の距離は第２の距離とは異なる。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置は、基板（２０）とアレイ領域（“アレイ”）と周辺領域（“配線”）とを備える。アレイ領域（“アレイ”）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と、可動上部電極（１４）と、該下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と上部電極（１４）との間のキャビティ（１９）を含む。周辺領域（“配線”）は、アレイ領域（“アレイ”）では上部電極（１４）を形成している層の一部と、電気配線（５８）とを含む。電気配線（５８）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）及び上部電極（１４）のうち少なくとも一つと電気的に接続された導電体（５０）を含む。電気配線（５８）は、アレイ領域（“アレイ”）内では上部電極（１４）を形成している層の下の別途の層として形成される。導電体（５０）は、ニッケル、クロム、銅及び銀から成る群から選択される。
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干渉変調器によって反射された色は、画角に応じて変化しうる。このように、色の範囲は観測者に対して前記干渉変調器を回転させることにより見える。観測者と干渉変調器との間にテクスチャード加工層を位置することにより、色の範囲を含むパターンが前記観測者によって見られ、及びこのようにして前記色の範囲は単一の画角から見えうる。
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ＭＥＭＳ装置が、ＬＣＤ又はＯＬＥＤ製造に使用される材料を含み、この同じ製造システムでの製造を容易にする。可能ならば、同じ及び同様な材料が、ＭＥＭＳ装置内の多層用に使用され、部分的に透明な電極への透明な導体の使用を避けることができ、必要な材料の数を最小化し、製造コストを最小化する。ある層が、所望の特性を得るように選択された合金を含む。製造プロセスの間に、堆積層の中間処理が行われ、所望の特性を有する層が提供される。
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本発明は、干渉変調器の可動反射層の弛緩情報に基づいて、駆動電圧を調整するためのシステムおよび方法を含む。1つの例では、可動反射層を有するMEMSデバイスを駆動するためのデバイスが、1つまたは複数の時間、環境暴露、および少なくとも1つのMEMSデバイスの可動反射層のフレームレートに関する情報を生成するように構成されている感知ユニットと、電圧(該電圧は、該情報に少なくとも部分的に基づいている)を印加して、該少なくとも1つのMEMSデバイスを駆動するように構成されているドライバ回路とを備える。
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微小電気機械（ＭＥＭＳ）装置（１３００）が、基板（２０）、該基板（２０）上の可動素子（１３４０）、及び該可動素子（１３４０）上の作動電極（１４２）を備える。可動素子（１３４０）が、可変層（１３０２）及び反射素子（１３１４）を備える。可変層（１３０２）が、反射素子（１３１４）から分離される。
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本発明の実施形態は、干渉変調器及び太陽電池を備えた干渉ディスプレイ装置及びその製造方法に関する。一部の実施形態では、太陽電池は、干渉変調器にエネルギーを提供するように構成されている。太陽電池及び干渉変調器は同一基板上に形成され得る。太陽電池の一層は、干渉変調器の一層と共有され得る。
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微小電気機械（ＭＥＭＳ）デバイス（８００）が、頂部表面（８８）を有する基板（２０）と、基板（２０）の上方の可動エレメント（８１０）と、駆動電極（８２）とを備えている。可動エレメント（８１０）は、変形可能層（３４）および変形可能層（３４）に機械的に結合された反射エレメント（８１４）を備えている。反射エレメント（８１４）は反射表面（９２）を備えている。駆動電極（８２）は、反射表面（９２）から横方向に配置されている。可動エレメント（８１０）は、基板（２０）の頂部表面（８８）に概ね直角の方向に移動することによって、駆動電極（８２）と可動エレメント（８１０）の間に印加される電圧差に応答する。
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