【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプの下流側から上流側へ気体を一部戻すことで、真空ポンプの排気性能を調整する技術を前提に、可能な限り生成物の悪影響を低減させることができる真空ポンプを提供すること。
【解決手段】逆流経路５０の逆流経路入口５２を圧縮段２０４に設けてあり、逆流経路出口５４を排気段２０２に設けてある。少なくとも１段の固定翼４０又は回転翼３２が、逆流経路入口５２より排気口９０側に存在している。また、逆流経路５０の逆流経路出口５４の位置が、少なくとも１段の回転翼３２又は固定翼４０が吸気口１０側に存在してる位置としている。換言すると、逆流経路出口５４は、少なくとも１段の回転翼３２又は固定翼４０より、下流（排気口９０側）に設置してある。 （もっと読む）

【課題】処理水等をスムーズにドレインタンクへ流れ込むようにすることで、ドレインタンク流入口での水流の停滞による異常水位検出センサの誤動作を防止するのに好適な除害装置を提供する
【解決手段】除害装置Ｍ１は、外部から隔離された除害処理室１と、除害処理室に処理水を散布する処理水散布手段２と、除害処理室の下方に設けたドレインタンク３と、除害処理室の底部からその室内に排ガスや微粒子ダストを導入する配管４と、配管から下向きに分岐してドレインタンク内の上部空間に連通するドレイン管５と、ドレイン管の内側に挿入された連通管６とからなり、連通管６の下端部には、ドレインタンクの上部空間に開口した下端側開口部６０を設け、連通管６の上端部には、ドレイン管と配管との境界線Ｌより高い位置に開口した上端側開口部６１を設ける。 （もっと読む）

【課題】安価で安定した衝撃吸収特性を発揮する緩衝機構を備えた分子ポンプを提供すること。
【解決手段】分子ポンプの吸気口に設けたフランジ６１に、ボルト穴１４に隣接して空洞部７２を設ける。空洞部７２は、フランジ６１を貫通する貫通孔である。これにより、ボルト穴１４と空洞部７２の間に薄肉部７１が形成される。分子ポンプに、ロータ部の破壊などによって、ロータ部の回転方向の衝撃が発生した場合、フランジ６１が分子ポンプと共にロータ部の回転方向に滑る。すると、フランジ６１と真空装置のフランジとを固定しているボルトが薄肉部７１に当たり、矢線Ｂ方向に塑性変形する。このように、薄肉部７１が塑性変形する事により、分子ポンプを回転させるエネルギーが薄肉部７１を塑性変形させるエネルギーに費やされ、分子ポンプで発生した衝撃を緩衝する。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】排気性能を低下させることなく製造コストを抑制すること。
【解決手段】第１円筒部９は、外周面が円筒形状をした部材からなる。支板１１は、外周側へフランジ状に張り出した円環板状をした部材であり、第２円筒部１０の固定機構として機能する。ロータ本体部７、ロータ翼８、第１円筒部９、および支板１１は、同一の素材を削り出すことによって一体に形成されている。第２円筒部１０は、支板１１の外周端部にその端部が圧入固定された外周面が円筒形状をした部材からなる。第２円筒部１０は、第１円筒部９の外側に、第１円筒部９と同心円上に配置されている。第２円筒部１０は、第１円筒部９を構成する部材よりも比強度又は比剛性の高い繊維強化複合材料によって構成されている。第２円筒部１０を別部材で構成することにより、ロータ部の加工を容易に行うことができるため製造コストを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプ配管の洗浄メンテナンスの際に生じうるシロキサンの爆発的な反応を防止し、誰でも安全に真空ポンプ配管の洗浄を行えるようにし、また、洗浄メンテナンスの段取り作業を簡単かつスムーズに行えるようにした真空ポンプ配管構造と、その真空ポンプ配管の洗浄方法を提供する。
【解決手段】真空ポンプ配管４に給水ポート６１を設ける。真空ポンプ配管４を真空ポンプＰから取り外して洗浄する前に、給水ポート６１から真空ポンプ配管４へ直接水を供給し、この供給水と真空ポンプ配管４内部のシロキサンとの反応によりシロキサンの爆破性を除去した後、真空ポンプ配管４を取り外し洗浄する。 （もっと読む）

【課題】動体を筐体の内部に収納可能な機構を有するゲートバルブを提供すること。
【解決手段】ゲートバルブは、スライドプレートと、スライドプレートの径方向及び軸方向の位置を変化させる移動機構を備えている。シャフトは、軸方向駆動機構により軸方向の移動量が制御され、径方向駆動機構により回転角が制御される回転軸であり、磁気軸受、及び円錐コイルばねからなる軸支持ばねにより筐体内に回動可能に支持されている。電磁石におけるバランスウェイトの吸引力を制御することにより、シャフトを径方向に移動させることができる。また、電磁石における電磁石ターゲットの吸引力を制御することにより、シャフトを軸方向に移動させることができる。気体の流路を閉じる場合には、スライドプレートを、流出孔を完全に覆う位置に移動させた後、軸方向駆動機構を作動させてスライドプレートをＯリングと密着させる。 （もっと読む）