【課題】閉塞や瓶の損傷の危険を最小にしながら、無菌瓶の多列流れを単一列に変換することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置は、回転面（１８）と、直立の物品（１６）を移送装置に向かって搬送するための第１コンベアと、を含み、前記移送装置は物品を第１コンベア（１２）から前記回転面（１８）に移送するためのものであり、移送装置は、ほぼ一定速度で回転面に向かって移動し且つ第１コンベア（１２）及び回転面（１８）の上に斜めに延びる案内面（２４）を含み、回転面（１８）に移送された物品を、引き続いて第２コンベアに移送するために、回転面の外周に向かって案内するための湾曲案内面（３８）を更に含む。
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真空ポンプ排出システムが、真空ポンプ排出装置を有し、真空ポンプ排出装置は、駆動シャフトと、上記駆動シャフトを駆動するモータと、ターボ分子ポンプ排出手段を含む分子ポンプ排出機構と、バッキングポンプ排出機構とから成る。駆動シャフトは、上記分子ポンプ排出機構及び上記バッキングポンプ排出機構を駆動する。真空ポンプ排出システムは、少なくとも上記ターボ分子ポンプ排出手段を排気する排気手段、例えばロードロックポンプを更に有している。
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真空ポンプ排出装置は、駆動シャフトと、上記駆動シャフトを駆動するモータと、分子ポンプ排出機構と、再生ポンプ排出機構とから成る。駆動シャフトは、分子ポンプ排出機構と再生ポンプ排出機構を同時に駆動するよう配置されている。駆動シャフトは、分子ポンプ排出機構と関連した無潤滑油式によって軸受によって支持される。
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チャンバ内の圧力を制御する真空ポンプ排出装置（１０）であって、分子ポンプ排出機構（１２）及びバッキングポンプ排出機構（１４）を有する真空ポンプ排出装置。バッキングポンプ排出機構（１４）は、モータ（３４）により回転可能であり、モータは、分子ポンプ排出機構（１２）をバッキングポンプ排出機構（１４）と同時に回転させるようになっている。バッキングポンプ排出機構及び分子ポンプ排出機構の回転速度を制御する手段が設けられる。
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真空ポンプ排出装置は、直列に連結されたターボ分子ポンプ排出機構と分子ドラグポンプ排出機構を有する。分子ドラグポンプ排出機構のロータは、ターボ分子ポンプ排出機構のロータ羽根によって支持されている。
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スクリュー真空ポンプのロータは、ねじ山付本体を有し該本体に中央キャビティが形成される。冷却材が本体に取り付けられたシャフトに設けられた供給ラインからキャビティに供給される。シャフトと別体であってもよいし或いはシャフトと少なくとも部分的に一体であってもよい冷却材流れガイドがキャビティ内に配置される。流れガイドは本体に隣接した、好ましくは本体と接触している外面を有し、熱をロータからガイドに伝達させることができる。ガイドはまた、ボアを構成する内面を有し且つ少なくとも一部が、ボアから半径方向に間隔を隔てられそしてボアと流体連通している複数の軸線方向に延びたスロットを構成する。使用中、冷却材はガイドのボアを通してキャビティに流入し、軸線方向の延びたスロットを通してキャビティから流出する。排出された冷却材はスロットから、シャフト内に配置された排出ラインへ運ばれる。
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【課題】本発明は、半導体製造処理ツールからの排出流体流を処理する装置を開示する。
【解決手段】本発明の装置は、燃焼室と、燃焼室を加熱する手段と、及びを排出流を燃焼室に噴射するノズルとを備えている。装置は、特定の排出流に対して燃焼条件を最適化することを要求されたときに燃料及び酸化剤を排出流に選択的に噴射することができるように構成されている。一実施形態では、ノズルの中に突出しているランスは、酸化剤を排出流に選択的に噴射し、かつノズルを取り囲んでいるスリーブは、燃料を排出流に選択的に噴射する。 （もっと読む）

乾式ポンプ装置は、ポンプ機構と、ポンプ機構の作動を制御するコントローラと、ポンプ機構の作動温度を検出するためのセンサーと、を有し、コントローラは、ａ）ポンプ機構の作動を停止させる工程と、ｂ）温度センサーによってポンプ機構の温度をモニターする工程と、ｃ）予め定めた温度に達するまで又は予め定めた時限が経過するまで、存在する汚染粒状物の部分を除去するように、少なくとも１つの予め選択された温度差で、一定時間ポンプ機構の作動を開始する工程と、を含む自動停止シーケンスを実行するように構成されている。これらの工程を実行することによって、停止中に収縮する装置の構成部品間における粉体の締め固めの発生、結果として起こる再始動故障及び停止を著しく低減させることができる。
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ピラニ圧力計は、プラチナ及びインジウムを含む合金から形成されるコイル状の加熱された例えば９０／１０Ｐｔ／Ｉｒである感知要素を備えている。これは、圧力計が腐食性の環境に配置されることを可能にし、また、長期間を通して１０^-4mbarの低さの圧力を確実に測定できるようにする。
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プロセスツールからの排気流体流を処理するための低コストの装置を開示する。一実施形態では、装置は、緩和装置(12)と、緩和装置(12)を少なくとも部分的に排気する液体リングポンプ(14)とを有している。使用中、緩和装置(12)は、排気流体流の１つ以上の成分、例えばＦ₄又はＰＦＣを、環境に対する有害性の低い１つ以上の液体溶解性成分、例えばＨＦに変換する。液体リングポンプ(14)は、排気流体流及び液体を受入れ、液体と排気ガス流の液体溶解性成分とからなる溶液を排出する。かくして、液体リングポンプ(14)は、ウェットスクラバ及び大気圧真空圧送段の両方の作用を行う。
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