再生ポンプ機構は、一方の側に環状列に位置決めされた一連のブレードを有するロータと、ブレードが回転する環状チャンネルを有するステータと、を含む。ロータとステータの間の軸方向クリアランスを制御するために、アキシャル磁気軸受がロータとステータの間の相対的な軸方向移動を積極的に制御する。これは、ポンプ機構に、ラジアルシールとは全く異なって、ロータとステータの間の制御可能なアキシャルシールを提供することができる。
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湿式スクラバー又は他の装置との入口パイプ（１４）のためのアタチメント（１０）は、入口パイプのフランジ付端（１２）に着脱自在に連結されるようになった開口端（１８）を有するスリーブ（１６）を含む。シャフト（３０）がスリーブ（１６）内で移動でき、スクレーパ（３４）がシャフト（３０）の一端に取り付けられる。シャフト（３０）は、該シャフト（３０）の他端に取り付けられた空気シリンダ（４０）の一部を成す。使用中、シャフト（３０）を往復移動させてスクレーパ（３４）がパイプ（１４）内に付着した粒状物を取り除く。窒素又は乾燥空気のような加熱ガスをスリーブ（１６）に注入して洗浄液体がスリーブ（１６）内で凝縮するのを防止し、かくして、スリーブ内での粒状物の付着を抑制する。
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スクリューポンプは、各々雄スクリューねじ（９６、９８）を備えた一対のロータ（９２、９４）を有し、一対のロータは、ステータ（７２）に回転自在に取り付けられ、且つ作動中、ロータが反対方向に回転するとロータのスクリューねじが噛み合うように構成される。ポンプの使用中ステータ内でロータの軸線方向位置を能動的に制御するための手段（１００、１０２）が設けられている。
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差圧ポンプ型質量分光計システムは、複数の圧力チャンバを有する質量分光計と、質量分光計に取付けられかつ少なくとも３つのポンプ入口を有する真空ポンプと、第一ポンピングセクションと、第一ポンピングセクションから下流側の第二ポンピングセクションと、第二ポンピングセクションから下流側の第三ポンピングセクションとを備え、比較的低圧の第一チャンバからの出口が第一ポンプ入口に連結されており、第一ポンプ入口を通って流体が第一チャンバからポンプに流入しかつ第一ポンピングセクション、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションだけを通ってポンプ出口へと流れることができる。分光計の第二中間圧力チャンバが第二ポンプ入口に連結され、第二ポンプ入口を通って流体がポンプに流入できる。分光計の第三の最高圧力チャンバの出口が第三ポンプ入口に連結され、第三ポンプ入口を通って流体がポンプに流入することができ、第二ポンピングセクションおよび第三ポンピングセクションを通過する。第三ポンピングセクションの少なくとも一部だけがポンプ出口に向っている。バッキングポンプは、使用時に、分光計からポンピングされる流体質量の少なくとも９９％が、真空ポンプおよびバッキングポンプの両方を通って流れるようにポンプ出口に連結されている。
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製造又はサービス据え付けは、作業を行うための幾つかのハードウェアデバイスを有する。少なくとも１つのこのようなデバイスは、デバイス又は据え付けの状態を示す状態データを作成し中央コンピュータ（１０）に報告するためのコンピュータ又は他の手段（１４）を有する。デバイスに関連するメモリは、デバイスの図形表示を作成するためのスタイルシートを有し、これによって中央コンピュータは、デバイスからスタイルシート並びに状態データにアクセスして、図形表示を作成し該図形表示に状態データを読み込むことができる。 （もっと読む）

低酸素濃度監視下環境で使用するための有機汚染物質分子センサが説明される。このセンサは、臨界温度Ｔ_c以上の温度で酸素アニオン伝導が発生する固体酸素アニオン伝導体（１４）と、監視下環境に露出するために伝導体の第１の表面（１２）上に形成され、有機汚染物質分子の二酸化炭素及び水への酸化に触媒作用を及ぼすための材料を有する活性測定電極（１０）と、監視下環境に露出するために活性測定電極の近くにそれから独立して伝導体の第１の表面（１２）上に形成され、有機汚染物質分子の酸化に対して触媒的に不活性な材料を含む不活性測定電極（１８）と、基準環境に露出するために伝導体の第２の表面（２２）上に形成され、酸素の解離吸着に触媒作用を及ぼすための材料を有する基準電極（２０）とを備えた電気化学電池を有する。電池の温度を制御してモニタするための手段（３０，３２）が設けられる。また、基準電極と活性測定電極の間に流れる電流Ｉ_a、及び基準電極と不活性測定電極の間に流れる電流Ｉ_iを制御し、それによって、基準電極と活性測定電極及び不活性測定電極との間にそれぞれ流れる酸素アニオンの流束を制御するための手段（３４）も設けられる。活性測定電極と不活性測定電極の間の電位差がモニタ（３６）され、それによって、有機汚染物質分子がないときには、活性測定電極と不活性測定電極の間の電位差Ｖ_senseが基本値Ｖ_bをとり、有機汚染物質分子があるときには、活性測定電極と不活性測定電極の間の電位差Ｖ_senseが測定値Ｖ_mをとり、値Ｖ_m−Ｖ_bは、監視下環境中に存在する有機汚染物質分子の濃度を示す。 （もっと読む）

真空ポンプは、分子ドラッグ排気機構と、再生排気機構と、を含む。分子ドラッグ排気機構のロータ要素は、再生排気機構のロータ要素を取り囲む。
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真空ポンプは、第１排気部分（１０６）と、第１排気部分から下流の第２排気部分（１０８）と、を含む。ポンプは、流体がポンプに入り、ポンプ出口に向かって排気部分の各々を通過することができるようにする第１ポンプ入口（１２０）と、流体がポンプに入り、ポンプ出口に向かって第２排気部分だけを通過することができるようにする第２ポンプ入口（１２２）と、を含む。第２排気部分（１０８）は、雄ねじロータ（１０９）を含む。
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真空ポンプ（１００）は、第１組のターボ分子段（１０６）と、分子ドラッグ段（１１２）と、流体が、ポンプ出口（１１６）に向かって第１組の段（１０６）及び分子ドラッグ段（１１２）を通過することができるようにする第１ポンプ入口（１２０）と、第１組の段（１０６）と分子ドラッグ段（１１２）の間に置かれた第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）と、第２入口（１２２）と、を含み、第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）は、第２入口（１２２）からポンプに入る流体が、第２及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）のそれぞれの中を流れる２つの流れに分けられるように構成され、第１組のターボ分子段（１０６）及び第２組及び第３組のターボ分子段（１０８、１１０）の各々を通過する流体をポンプ出口（１１６）に向かって搬送するための導管手段（１２６）をさらに含む。
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真空ポンプ排出システムが、第１のガス、例えばキセノンを真空チャンバに供給する第１のガス供給源を有する。ポンプが、チャンバからのガス出力を受け入れる。第２のガス供給源が、第１のガスと共にポンプ排出のためのパージガス、例えば窒素又はヘリウムを供給する。ガスセパレータが、ポンプにより排出されたポンプ排出ガスを受け入れて流れから第１のガス及びパージガスを回収する。回収した第１のガスを真空チャンバ経由で再循環させ、回収した第２のガスを少なくともポンプ経由で再循環させる。
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