プロセスツールからの排気流体流を処理するための低コストの装置を開示する。一実施形態では、装置は、緩和装置(12)と、緩和装置(12)を少なくとも部分的に排気する液体リングポンプ(14)とを有している。使用中、緩和装置(12)は、排気流体流の１つ以上の成分、例えばＦ₄又はＰＦＣを、環境に対する有害性の低い１つ以上の液体溶解性成分、例えばＨＦに変換する。液体リングポンプ(14)は、排気流体流及び液体を受入れ、液体と排気ガス流の液体溶解性成分とからなる溶液を排出する。かくして、液体リングポンプ(14)は、ウェットスクラバ及び大気圧真空圧送段の両方の作用を行う。
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ポンプは、ハウジング内に設けられたステータ及び少なくとも１つのロータを有する。ハウジングは、ロータの周りに延びる第１の流体チャネルを有し、ロータは、少なくとも１つの第２の流体チャネルを有する。ステータの温度を表す信号を出力するよう構成された第１のセンサが設けられ、ロータの温度を表す信号を出力するよう構成された第２のセンサが設けられている。チャネル内の流体の温度は、センサから出力された信号の大きさに応じて制御される。
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液浸フォトリソグラフィにおいて、液浸流体（３０）は、ウェハー（２８）と、液浸流体（３０）を介してウェハー（２８）に像を投影するレンズ（２４）との間に配置される。液浸流体からの蒸発を抑止するために、液浸流体の成分で飽和したパージ流体が液浸流体について運搬される。
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使用中、イオンが経路に沿って運ばれる第１及び第２の圧力チャンバを有する質量分光計を備えた差動排気質量分光計システム。チャンバ（62,66,68）を差動排気するポンプ組立体（10）は質量分光計に取付けられる。ポンプ組立体は、質量分光計に取付けられたハウジング（12）と、ハウジングに挿入されたカートリッジ（14）を有する。カートリッジは、それぞれの圧力チャンバ（62,66,68）から流体を各々受け入れる複数の流入口（16,18,20）と、チャンバから流体を差動排気する排気機構（30,32,34）を有する。カートリッジは、排気機構（10）がイオン経路（76）に対して傾けられるように、しかし少なくとも１つの流入口（16,18）がイオン経路を横切ることなく、少なくとも部分的にそれぞれの圧力チャンバ（62,66）内に突入する程度まで質量分光計内に突入してハウジングに挿入される。 （もっと読む）

【課題】液浸フォトリソグラフィ露光ツールから多相流体を抽出するための真空システムを提供する。
【解決手段】ツールから流体を引き出すためのポンプ装置と、ポンプ装置から上流に位置してツールから引き出された流体を気体及び液体相を分離するための抽出タンク（３２）とを含む、フォトリソグラフィツールから多相流体の流れを抽出するための真空システム。ポンプ装置は、タンクから気体を抽出するための第１のポンプ（３６）とタンク（３２）から液体を抽出するための第２のポンプ（３８）とを含む。真空システムからツール内の流体（３２）に逆に伝達されるあらゆる圧力変動を最小にするために、圧力制御システムは、タンク（３２）内の液体及び気体の量を調節することによってタンク（３２）内に実質的に一定の圧力を維持する。 （もっと読む）

【課題】処理システムのオペレーションを制御する方法、及び実行された時にその処理システムを制御するための操作を実行するプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な媒体を提供する。
【解決手段】処理システムのオペレーションを制御する方法において、ホストコンピュータ、処理ツール、及び排気システムの構成要素、例えば排除ツールは、システムバスに接続される。排除ツールは、ホストコンピュータと処理ツールの間のシステムバス上に送信された信号と、処理ツールから直接受信された信号とをモニタする。排除ツールは、モニタされた信号内に含まれた情報を使用して、排除ツールのオペレーション特性に関する処理ツールのための信号を発生させる。この信号は、直接か又はシステムバス上のいずれかで処理ツールに送信され、処理ツールは、発生した信号を使用して処理ツールのオペレーション状態を制御する。 （もっと読む）

凍結乾燥機（１０）は、長方形のスロットを有する室（１２）を備え、バイアル（８６）はこのスロットから室（１２）の中へ挿入される。室（１２）に出し入れするためのアセンブリがスロットを横切って延びる移動バー（４２）を有する。移動バー（４２）は各端が第１及び第２板ばね（４６、４８）に枢動可能に取り付けられ、各板ばねは、スロットに近接して配置されたそれぞれの回転可能に取り付けられたスプール（５０、５２）に巻かれる。移動バー（４２）の室（１２の中への又は室（１２）からの移動を行なうためにスプール（５０、５２）を同期して回転させるための及び移動バー（４２）を昇降させるためにスプール（５０、５２）を選択的に回転させるための駆動手段が設けられている。
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凍結乾燥機（１０）は、長方形のスロットを有する室（１２）を備え、バイアル（８６）はこのスロットから室（１２）の中へ挿入される。室（１２）に出し入れするためのアセンブリが、スロットを横切って延び、室（１２）の中へ挿入されるべきバイアルに係合するバー（３２）を有する。バー（３２）は、バー（３２）を室（１２）の中へそして室から外に横方向に移動させるための機構（３４）に取り付けられる。バー（３２）の引っ込み位置では、機構（３４）の少なくとも一部は、スプロケット（１０６）の周りに巻かれる。スプロケット（１０６）の回転は、機構（３４）を巻き解いてバー（３２）を室（１２）の中へ移動させる。
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不活性パージガスを排気装置（１０６）に供給するためのシステム（１００）は、各々がガスをマニホールド（１２）のそれぞれの排気口から排気装置（１０６）のそれぞれのポート（１０４）に搬送するための複数の可撓性毛管（１０２）を含む。各毛管（１０２）の内径及び長さは、それぞれのポート（１０４）へのガス流量を制御する。 （もっと読む）

【課題】複数の圧力チェンバと、前記圧力チェンバを真空引きするポンピング装置（１００）とを有する差圧的にポンピングされる真空システムを提供する。
【解決手段】本発明のポンピング装置は、第１と第２の複合ポンプ（１０２，１０４）を有し、各複合ポンプは、第１入口（１２０、１２４）と、第２入口（１２２、１２６）と、第１と第２のポンピング・セクション（１１０、１１２）とを有する。ポンピング・セクションは、第１入口からポンプ内に入る流体が、第１と第２のポンピング・セクションを通り、第２入口からポンプに入る流体は、第２ポンピング・セクションのみを通る。第１ポンプ（１０２）の第１入口（１２０）は、第１低圧チェンバ（１０）の出口に接続され、第１ポンプ（１０２）の第２入口（１２２）と第２ポンプ（１０４）の第１入口（１２４）は、第２の共通中圧チェンバ（１６）の出口に接続され、第２ポンプ（１０４）の第２入口（１２６）は、第３高圧チェンバ（１４）の出口に接続される。 （もっと読む）