本発明の真空ポンプは、流体が入る入口と、ポンピングされた流体を排出する出口と、前記入口と出口との中間点の位置と連通するポンピング手段と、前記ポンピング手段により受け入れられる流体の少なくとも一部を受け入れ、その中の汚染物の存在を検出するセンサーとを有する。
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真空ポンプ排出システムが、第１のガス、例えばキセノンを真空チャンバに供給する第１のガス供給源を有する。ポンプが、チャンバからのガス出力を受け入れる。第２のガス供給源が、第１のガスと共にポンプ排出のためのパージガス、例えば窒素又はヘリウムを供給する。ガスセパレータが、ポンプにより排出されたポンプ排出ガスを受け入れて流れから第１のガス及びパージガスを回収する。回収した第１のガスを真空チャンバ経由で再循環させ、回収した第２のガスを少なくともポンプ経由で再循環させる。
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液体又は固体キセノンを生成するための装置は、気体キセノンを受け入れるための入口（１４）と、減少された温度で気体キセノンを真空チャンバ（６０）に配置されたノズルに出力するための出口（１６）とを有するダクト（１２）を含む。ハウジング（１８）は、ダクトの周りを延び、ダクトと熱的に接触するハロカーボン冷却剤と、液体窒素の流れをハウジング（１８）を通して運んでハロカーボンの温度を制御するためにハロカーボン冷却剤と熱的に接触する第２ダクト（２４）を含む。ダクトから出力されたキセノンガスの圧力とチャンバ内の圧力との差から、そのように冷却された気体が、ノズルの近傍で液化され又は固化されることになる。
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【課題】力率補正回路を提供する。
【解決手段】力率補正回路は、交流電圧を受け取る第１及び第２の交流入力（ｌ１）、（ｌ２）を含む。整流器（１０４）は、各々がそれぞれの交流入力（ｌ１）、（ｌ２）に接続した第１及び第２の整流器入力（ｌ３）、（ｌ４）と、直流電圧を出力するための第１及び第２の整流器出力（０５）、（０６）とを有する。２つのキャパシタバンク（Ｃ１）、（Ｃ２）は、整流器出力（０５）、（０６）の間に直列に接続される。チョーク（Ｌ１）は、交流入力（ｌ１）と整流器入力（ｌ３）の間に接続される。双方向スイッチ（１０６）は、整流器入力（ｌ３）、（ｌ４）に接続され、整流器（１０４）を通じてチョーク（Ｌ１）の充電及び放電を制御するために、双方向スイッチ（１０６）の切換を制御する制御信号を受け取る。キャパシタバンク（Ｃ１）、（Ｃ２）の間の中間点は、交流電圧のマグニチュードに従って交流入力（ｌ２）に選択的に接続可能であるか又は接続されている。 （もっと読む）

アニオン及びカチオン種の両方を含む水流の処理のための方法を提供する。本方法は以下の工程を含む。イオン吸着物質の水浸透性層を含むイオン吸着ユニットを組み込んでいる本質的に閉じたループ中に水を連続的に循環させ、本質的に閉じたループにアニオン及びカチオン種を含む水溶液を供給し、イオン及びカチオン種を含む水溶液を含む循環水をイオン吸着ユニットにおけるイオン吸着物質中に連続的に通過させながら、電位をイオン吸着物質の層の厚みにわたって適用し、イオン吸着ユニットから分離イオン種のさらに濃縮された水溶液を除去し、イオン吸着ユニットからの各水溶液を連続的に排出し、他のイオン種のさらに濃縮された溶液をイオン種が反応して水不溶性固体物質を形成する反応ユニット中に連続的に通過させ、反応ユニットからの溶出液をイオン吸着ユニットに再循環させ、及び必要に応じて、閉じたループに反応ユニットから除去される水溶液の量に対応する量の水を加える。 （もっと読む）

真空ポンプが、第１及び第２のシャフトを収容したステータを有し、第１及び第２のシャフトは、ステータ内で互いに逆回転するようになっている。各シャフトは、複数個のロータ要素を支持していて、第１のシャフトのロータ要素が第２のシャフトのロータ要素と噛み合うようになっている。ポンプは、圧送されるべき流体を受け入れるポンプ入口及び圧送流体を吐出するポンプ出口を更に有している。ポンプ出口の近くに位置する相互噛み合いロータ要素の各々は、回転中心から延びる複数個の突起を有し、これら突起は、ロータ要素の回転中心周りに回転的に非対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】一般的なポンプ用途に広く使用できるような改良されたポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、スクロール圧縮機のためのスクロール壁の構造に関する。スクロール壁構造は、固定スクロール壁を有する固定スクロールと、旋回スクロール壁を有する旋回スクロールとから構成される。スクロール壁構造は、その半径方向外側部分に入口を備え、半径方向中央部分に出口を備える。旋回スクロール壁と固定スクロール壁とによって、入口から出口へと延びる第１の流路が形成され、入口から第１の圧力にて流入したガスは、第１の圧力に比べて高い圧力である、第２の圧力にて出口から排出される。スクロール壁構造は、第２の入口を備え、これを通ったガスは第３の圧力にて流入し、第２の流路を流れて、第２の圧力にて出口から排出される。従って、２つの流路によって、それぞれの入口が提供される。入口を通ってガスが流入する第３の圧力は、第１の圧力とは異なる圧力であり、第２の圧力に比べれば低い圧力である。従って、入口は、異なる圧力のガスをポンプ送出できる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造産業で使用されるような低酸素濃度の処理環境における有機汚染物質の検出のためのセンサ、このようなセンサの使用、及びそのような処理環境における有機汚染物質の検出のための新規な方法を提供する。
【解決手段】低酸素濃度の監視下環境で使用するための有機汚染物質分子センサ。センサは、電気化学セルを含み、これは、有機汚染物質分子の解離吸着に触媒作用を及ぼす能力を有する触媒で被覆され（又は、その触媒から形成され）、監視下環境に露出されるように位置決めされた測定電極、酸素アニオンへの酸素の解離に触媒作用を及ぼす能力に関して選択された触媒で被覆され（又は、その触媒で形成され）、参照環境内に位置決めされた参照電極、及び測定電極と参照電極の間に配置されてそれらを架橋する固体酸素アニオン導体から形成され、酸素アニオン伝導は、臨界温度Ｔ_C又はそれよりも高い温度で発生する。参照環境を監視下環境から分離するために密封手段が設けられる。セルの温度を制御してモニタし、参照電極と測定電極の間を流れる電流（Ｉ_P）を制御するための手段も設けられる。Ｔ_C未満の温度（Ｔ_ads）では、有機汚染物質分子が測定電極の表面上に吸着されてそこで解離し、その表面で炭素質堆積物の蓄積がもたらされる。Ｔ_Cを超える温度（Ｔ_tit）では、参照電極と測定電極の間に電流（Ｉ_P）が通され、それによって参照電極から測定電極まで通ってその表面に形成した炭素質堆積物を酸化する酸素アニオンの数と二酸化炭素の生成とが制御される。 （もっと読む）

本発明のターボモルキュラーポンプ用回転翼は、ハブとハブに取り付けられる複数のブレードとを有する。前記ブレードは、繊維あるいは粒子により強化されたポリマー材料のストリップから形成される。
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