【課題】ＡＬＤ法又はＣＶＤ法において、金属銅の成長速度を大きくすることができる銅前駆体並びにその製造及び使用方法を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表されるケイ素化合物の銅錯体を前駆体として使用し、基材上に銅膜及び銅合金を堆積させることができる。


（式中、Ｘは酸素及びＮＲ5を、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3及びＲ5は水素又はアルキル基等を、Ｒ4はＯＣＨＭｅＣＨ2基等を、Ｌはビニルジメチルシリル基等を表す） （もっと読む）

【課題】化学蒸着又は原子層蒸着の前駆体として使用される三座β-ケトイミネートの金属錯体の提供。
【解決手段】三座βケトイミネートの金属含有錯体、例えばビス(2,2-ジメチル-5-(1-ジエチルアミノ-2-プロピルイミノ)-3-ヘキサノナト-N,O,N’)ストロンチウム、ビス(2,2-ジメチル-5-(1-メチルエチルアミノ-2-プロピルイミノ)-3-ヘキサノナト-N,O,N’)ニッケル、Ti(O-iPr)3(2,2-ジメチル-5-(1-ジメチルアミノ-2-プロピルイミノ)-3-ヘキサノナト、ビス(4-(1-ジメチルアミノ-2-プロピルイミノ)-2-ペンタノナト)コバルト、トリス(4-(1-ジメチルアミノ-2-プロピルイミノ)-2-ペンタノナト)ランタン、トリス(2,2-ジメチル-5-(1-ジメチルアミノ-2-プロピルイミノ)-3-ヘキサノナト)イットリウムなどの化合物が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】より高い結晶化温度を有する改良型誘電体層の構造及び該構造の製造方法には、誘電体層の等価酸化膜厚を減らすこと並びに界面特性の改良によってデバイス性能を改良する必要が今も残っている。
【解決手段】例えば金属ケイ酸塩又は金属酸窒化ケイ素の膜のような金属含有膜の化学気相成長又は原子層成長による堆積法が本書に開示されている。一実施形態における金属含有膜の堆積法は、金属アミド前駆体、ケイ素含有前駆体、及び酸素源を燃焼室に導入する工程（ただし、パージガスを導入した後に各前駆体を導入する）を含む。 （もっと読む）

【課題】実質的な漏れがなく、且つ回転子を回すのに必要なトルクを最小限とすることで、回転子を回すモーター及び歯車駆動機構の寿命を延ばすことのできるロータリーバルブを提供する。
【解決手段】回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０を有し、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０とを接触させるため少なくとも１つの圧縮バネ３５０を利用し、このバネ３５０（単数又は複数）は、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０を分離させるようにする押しつける力に対抗して、回転子３２０，３３０と固定子３１０，３４０の間からの漏れを防止しながらバルブ３００内の回転子３２０，３３０を回すのに必要なトルク量を低減させるようにされている。このバネ３５０（単数又は複数）は、バネ位置設定表面構造によりバルブ３００内部に配置することができる。 （もっと読む）

【課題】原子層堆積及び化学気相成長からなる群より選択されるプロセスを用いてゲルマニウム−アンチモン−テルル合金膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】シリルテルル前駆体がゲルマニウム−アンチモン−テルル合金膜のためのテルル源として用いられ、堆積プロセスの際にアルコールと反応する、原子層堆積及び化学気相成長からなる群より選択されるプロセスを用いてゲルマニウム−アンチモン−テルル合金膜を製造する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】高効率、低コストで、ＣＯ_２を合成ガスから分離する方法および装置。
【解決手段】供給ガス混合物から反応性ガスを分離する方法が開示される。この方法は、発熱反応で、反応性ガスと反応性固体の床とを反応させて、第２の固体および反応性ガスのない生成ガスを作り出すことを含む。生成ガスは除去され、そして反応からの熱は、吸熱反応で、第２の固体から反応性ガスを開放するために使用され、反応性固体を生成する。反応性ガスは、除去され、そして隔離される。吸熱反応を持続させる熱を保持するために、蓄熱物質が床内に含まれる。床を保持する断熱されたチャンバー、および複数の床で形成されたプロセス装置を有するこの方法を行うためのデバイスがまた、開示される。プロセス装置は、この方法がサイクル的に運転されることを可能にし、供給ガス、反応性ガスおよび生成ガスの連続的な流れを提供する。 （もっと読む）

【課題】分割電気化学セルにおいて実質的に酸素のない金属Ｍ₁水素化物ガスを連続的に発生する装置及び方法を提供する。
【解決手段】不透過性分割材２０または不透過性分割材２０及び多孔質隔膜２１の組合せは分割電気化学セルを区分するために使用されることができる。分割電気化学セルは、陽極室２６及び陰極室２５と（ただし、陰極室２５は金属Ｍ₁を含む陰極を有し、陽極室２６は酸素を発生することができる陽極３１を有する。）、分割電気化学セルを部分的に充填し、金属水酸化物Ｍ₂ＯＨを含む電解質水溶液とを有する。陰極室２５において発生される水素化物ガスと陽極室２６において発生される酸素は独立出口を通して取り除かれる。 （もっと読む）

【課題】不飽和炭化水素前駆体の安定化された組成物の提供。
【解決手段】安定化された組成物は基本的に、不飽和炭化水素系物質並びにヒドロキシベンゾフェノン及びニトロキシルラジカル系安定剤の群から選択される安定剤からなる。安定化された組成物は基本的に、不飽和炭化水素系物質、少なくとも１つの極性溶媒並びに、ヒドロキシベンゾフェノン、ニトロキシルラジカル系安定剤及びヒドロキノン系安定剤の群から選択される安定剤からなる。重合に対する不飽和炭化水素系前駆体を安定化する方法は、ヒドロキシベンゾフェノン及びニトロキシルラジカル系安定剤からなる群から選択される安定剤を加える工程を含む。重合に対する不飽和炭化水素系前駆体と少なくとも１つの極性溶媒の混合物を安定化する方法は、ヒドロキシベンゾフェノン及びニトロキシルラジカル系安定剤からなる群から選択される安定剤を混合物に加える工程を含む。 （もっと読む）

【課題】酸化反応装置中で使用される混合伝導性金属酸化物の膜中での動的分離および動的分解の低下。
【解決手段】式Ｌｎ_ｘＡ’_ｘ’Ａ’’_ｘ’’Ｂ_ｙＢ’_ｙ’Ｏ_３−Ｚ
によって表される多成分金属酸化物化合物を含む混合伝導性イオン輸送膜
式中、（ａ）Ｌｎは、ｆブロックのランタノイドから選択された元素であり、Ａ’は２族から選択され、Ａ’’は１族、２族および３族ならびにｆブロックのランタノイドから選択され、そしてＢおよびＢ’は、チタンおよびクロムを除いた遷移金属から独立して選択され、０≦ｘ＜１、０＜ｘ’≦１、０≦ｘ’’＜１、０＜ｙ＜１．１、０≦ｙ’＜１．１、ｘ＋ｘ’＋ｘ’’＝１．０、１．１＞ｙ＋ｙ’≧１．０、そしてｚは、化合物の電荷を中性にする数であり、そして（ｂ）多成分金属酸化物の平均粒径は、約４μｍ〜約２０μｍの範囲にある。 （もっと読む）

【課題】拡散バリア層に原子層堆積によって金属を被着させる方法の提供。
【解決手段】金属と電子求引基を含む配位子とを含む有機金属前駆物質錯体。該錯体は、十分にパッシベーションされた拡散バリア層及び該拡散バリア層に被着された金属層へ発熱的に化学吸着し、且つ該拡散バリア層及び該金属層上で発熱性の還元を受けるのに適合している。金属は好ましくは銅である。該錯体を原子層堆積において利用する。 （もっと読む）