説明

フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオにより出願された特許

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本発明は、排気することができ、かつ基板を受容するために設けられる少なくとも1つの受容器と、少なくとも1つのガス前駆体を受容器内に導入することができる少なくとも1つのガス供給デバイスと、その端部が支持要素上の固定点に固定される少なくとも1つの加熱可能な活性化要素を含む少なくとも1つの活性化デバイスとを含むコーティング装置に関する。ガス前駆体の影響から少なくとも部分的に少なくとも固定点を保護することができる遮蔽要素が設けられる。前記遮蔽要素は第1の側および第2の側を有する長手方向の延長部を有し、前記第1の側は支持要素上に配置され、閉止要素は遮蔽要素の第2の側に配置され、前記閉止要素は少なくとも1つの出口を有する。本発明は、少なくとも1つの分離壁が遮蔽要素の内部に配置されることを特徴とし、前記壁は遮蔽要素の内部容積を第1の部分容積と第2の部分容積とに分離する。
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本発明は、真空化が可能で基板を受けるように提供された少なくとも1つの受容器と、受容器の中に少なくとも1つの気体前駆体を導入できる少なくとも1つの気体供給装置と、少なくとも1つの加熱可能な活性化要素を含み、その活性化要素の端部が保持要素上の固定点に固定されている少なくとも1つの活性化装置と、を備える成膜設備に関する。活性化要素は、少なくとも1つの第一の加熱装置と少なくとも1つの第二の加熱装置によって加熱可能であり、第一の加熱装置は、活性化要素の長さ方向の範囲全体にわたって均一にエネルギーが入力されるようにすることができ、第二の加熱装置は活性化要素の長さ方向の範囲全体にわたって変化可能にエネルギーが入力されるようにして、活性化要素の温度が、第二の加熱要素の効果によって、少なくとも1つの長さ方向の区分において1300℃を超えるようにすることができる。本発明はまた、これに対応する成膜方法にも関する。
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本発明は、真空化が可能で、基板を収容するようになされた少なくとも1つの受容器と、少なくとも1つの気体前駆体を受容器の中に導入するために使用される少なくとも1つの気体供給装置と、画定可能な長さ方向の範囲を有し、受容器に関して事実上移動不能となるように少なくとも1つの関連する機械的固定装置によって固定される少なくとも1つの加熱可能な活性化要素と、を備える成膜設備に関する。少なくとも2つの接触要素を介して電流を活性化要素に供給することができ、接触要素の少なくとも1つは、交互の接触地点で活性化要素と接触するように設計される。本発明はさらに、これに対応する成膜方法にも関する。
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本発明は、真空排気が可能でありかつ基板(30)を受け入れるように構成される少なくとも1つの受け入れ容器と、その受け入れ容器の中に少なくとも1種の気体状前駆物質を導入するのに用いられる少なくとも1つのガス供給装置と、所定の長さ方向の範囲を有すると共に少なくとも1つの関連する機械的固定装置によって固定される少なくとも1つの加熱可能な活性化要素とを含むコーティング装置に関する。活性化要素には、少なくとも2つの接点要素を介して電流を供給することが可能であり、その接点要素は、受け入れ容器に対して事実上不動であるように固定される。活性化要素は、受け入れ容器に対して可動に配置される。本発明は、さらに、対応するコーティング方法にも関する。
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【課題】磁気センサー及び解析電子回路をコンパクトな位置センサー内に集積し、かつ線形位置及び向きを互いに独立して求めることが可能な、磁気によって位置を求めるための方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は永久磁石1を用いて位置を磁気によって求めるための方法及び装置に関し、永久磁石1の磁束密度のベクトル及び局所勾配が位置センサー2を用いて測定され、位置センサー2に対する永久磁石1の磁気双極子の位置及び向きが測定値から計算される。その方法及び装置では、均質な磁化を有する球形永久磁石1が用いられ、以前に存在した位置を求めることと向きを求めることとの間の交差感度を防ぎ、予め較正することなく測定できるようになる。 (もっと読む)


ダウンミックス信号表現およびオブジェクト関連のパラメトリック情報に基づいたアップミックス信号表現の供給のための一つ以上の調整されたパラメータを供給するための装置は、パラメータ調整器を含む。パラメータ調整器は、一つ以上の入力パラメータを受け、それに基づいて、一つ以上の調整されたパラメータを供給するように構成される。パラメータ調整器は、非最適パラメータの使用により生じたアップミックス信号表現の歪みが、少なくとも、所定の偏差以上に最適パラメータから外れている入力パラメータのために低減されるように、一つ以上の入力パラメータおよびオブジェクト関連のパラメトリック情報に依存して、一つ以上の調整されたパラメータを供給するように構成される。 (もっと読む)


条件データが満たされているかどうかに関するチェックに応じて、リンクオブジェクトの自動処理が実行されうるように、ナビゲーション・オーバーヘッドおよび/または管理/更新オーバーヘッドは、リンクオブジェクトに、リンクオブジェクトのリンク項目と関連していうる条件データを供給することによって、減少される。例えば、自動処理は、条件が満たされているそれと関連した条件データを有するリンクオブジェクトのリンク項目により参照されるオブジェクトIDを、新しく選択されたオブジェクトIDとして、自動指定することを含む。 (もっと読む)


伝送がトランスポート層領域でよりむしろアプリケーション層側で情報オブジェクトの断片化および非断片化を実行することにより、テキストベースの情報伝送はより多くのトランスポート層システムに応じて実行される。この方法によって、テキストベースの情報サービスは、情報オブジェクトの最大サイズに適応したトランスポート層システムに制限されない。むしろ、情報オブジェクトがアプリケーション層の中でトランスポート層によって提供される最大トランスポートパケットコンテンツ部のサイズに断片化されるフラグルメントの断片化サイズを調整することは可能である。フラグメントサイズは、例えば、時間的に変化する伝送チャネル特性に応じて、トランスポート層上にもたらされるトランスポート層からの命令に応答して時間的に変化する方法で変化させることができる。 (もっと読む)


1つ以上のダウンミックスオーディオチャンネルを記述するダウンミックスオーディオ信号を、アップミックスオーディオチャンネルを記述するアップミックスオーディオ信号にアップミックスする装置は、アップミックス部とパラメータ決定部を備える。アップミックス部は、アップミックスされたオーディオ信号を取得するために、時間的に可変の平滑化された位相値を含む時間的に可変のアップミックスパラメータを、ダウンミックスオーディオ信号をアップミックスするために適用するように構成される。パラメータ決定部は、アップミックス部による使用のために、量子化されたアップミックスパラメータ入力情報に基づいて1つ以上の時間的に平滑化されたアップミックスパラメータを取得するように構成される。パラメータ決定部は、前の平滑化された位相値のスケーリングされたバージョンを、位相変化限定アルゴリズムを用いて、入力位相情報のスケーリングされたバージョンと結合し、前の平滑化された位相値と位相入力情報に基づいて現在の平滑化された位相値を決定するように構成される。 (もっと読む)


放射プロファイルを生成するための光源配置のための本発明の一実施形態によるビーム整形器(100)は、多数の隣接して配置された光学ビーム整形素子(110)を含み、各々は、異なる光学特性に関して、複数の異なる種類のうちの一つの種類に属する。同時に照射されるとき、ビーム整形素子(100)は、ビーム整形器(100)の放射プロファイルを生じさせ、各々は、強度変調素子(120)および屈折素子(130)を含む。 (もっと読む)


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