【課題】高速で波長を変化させることができる波長可変型のファイバレーザ光源を提供すること。
【解決手段】光ファイバループに発振波長にゲインを有するゲイン媒体と光サーキュレータ１３，１４を設け、光サーキュレータ１３，１４で取り出された光をコリメートレンズ２２，２４で拡大する。その光軸上にポリゴンミラー２５を設け、ポリゴンミラー２５を回転させる。ポリゴンミラー２５で反射された光の受光位置に回折格子２７を設ける。回折格子２７は入射光と同一方向に光を反射するリトロー構成とする。回折格子２７への入射角度によって選択波長が変化し、２回の入射により選択度が増す。従って高速でポリゴンミラー２５を回転させて選択波長を変化させても、挟帯域のままで発振波長を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】当該波長可変フィルタから出射した光の減衰を防止することができ、また、様々な波長の光に対して波長分離が可能な波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１の凹部２１１を有する固定基板２と、開口部３１１を有する可動部３１を備え固定基板２に接合された可動基板３と、開口部３１１を覆うように、可動部３１に接合された光透過基板４と、固定基板２に設けられた固定反射膜２００と、光透過基板４に設けられ、干渉用ギャップ２１を介して固定反射膜２００と対向配置された可動反射膜２１０と、可動部３１を固定基板２に対して変位させることにより、干渉用ギャップ２１の間隔を変更する駆動部とを備え、固定反射膜２００と可動反射膜２１０との間で反射を繰り返し、干渉用ギャップ２１の間隔に応じた波長の干渉光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】当該波長可変フィルタから出射した光の減衰を防止することができ、また、様々な波長の光に対して波長分離が可能な波長可変フィルタおよび波長可変フィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】貫通孔２４を有するベース基板２と、開口部３１１を有する可動部３１を備える可動基板３と、開口部３１１を覆うように可動部３１に接合され、可動反射膜２１０が設けられた光透過基板４と、干渉用ギャップ９を介して可動反射膜２１０と対向する部位に固定反射膜２００が設けられた固定基板５と、クーロン力により可動部３１を固定基板５に対して変位させることにより、干渉用ギャップ９の間隔を変更する駆動部とを備え、固定反射膜２００と可動反射膜２１０との間で反射を繰り返し、干渉用ギャップ９の間隔に応じた波長の干渉光を外部に出射し得るよう構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速で波長を変化させることができる波長可変型のファイバレーザ光源を提供すること。
【解決手段】光ファイバループに光ファイバで発振波長にゲインを有するゲイン媒体を設けてループを形成する。この光ファイバループに光サーキュレータ１３を設け、光サーキュレータ１３で取り出された光をコリメートレンズ２２で拡大し、その光軸上にミラー２３を設け、ガルバノメータ２４によってミラー２３を回動させる。ミラーで反射された光に対して回折格子２５を設ける。回折格子２５は入射光と同一方向に光を反射するリトロー構成とする。回折格子２５への入射角度によって選択波長が変化する。従ってミラー２３を回転させて選択波長を変化させることにより、発振波長を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】平行平板型のＭＥＭＳ素子において、ヒステリシスやプルイン現象を伴うことのないＭＥＭＳ素子とそれを用いたデバイスを実現すること。
【解決手段】ミラー部２１の下方に支持基板１１によってストッパ３４を形成する。ミラー部２１の両側にアクチュエータ２２，２３を形成するストッパ３４は、支持基板１１の他の部分と電気的に分離して上部層１３と接続する。こうすることによって、プルイン現象やヒステリシスをなくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＶＣ方式のＭＥＭＳ素子において、簡単なプロセスで信頼性が高く面内への貼り付けの少ないＭＥＭＳ素子を実現すること。
【解決手段】支持基板１１と絶縁層１２、上部層１３の基本構造のＭＥＭＳ素子とする。上部層１３にはミラー部２１、ヒンジ部２２，２３、一対のアンカー部２４，２５と櫛歯部２６，２７，２８，２９を形成する。アンカー部２４，２５、櫛歯部２６，２７と対向する櫛歯部２８，２９は絶縁層１２を介して支持基板１１に形成する。ミラー部に接続されるスティクションパッド３０，３１は絶縁層１２を介することなく直接支持基板１１に接着する。こうすればスティクションパッド３０，３１の変位をミラー部２１の変位に変換することができる。 （もっと読む）

【課題】高速で波長を変化させることができる波長可変型のファイバレーザ光源を提供すること。
【解決手段】光ファイバループに光ファイバで発振波長にゲインを有するゲイン媒体を設けてループを形成する。この光ファイバループに光サーキュレータ１３を設け、光サーキュレータ１３で取り出された光をコリメートレンズ２２で拡大し、その光軸上にポリゴンミラー２４を設ける。ポリゴンミラー２４で反射した光軸をレンズ２５で平行光とし、その光軸に垂直にミラー２７を設ける。又ミラーとレンズ２５との間に走査方向に選択波長が連続して変化するバンドパスフィルタ２６を設ける。こうすればポリゴンミラー２４の回転によって、選択波長を高速で変化させることができる。 （もっと読む）