【課題】 より低い加速電圧により高いエミッション電流を出力することによって、蒸着材料の蒸発に必要な電力量を得ることができる蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 電流が流れて加熱することにより熱電子を放出するフィラメント１０として、素材がタングステンであり、巻き数が10〜30ターン、線径が0.55〜0.8mmおよび巻き外径が３〜５mmであるものを用いる。フィラメント１０より放出された熱電子を集束して電子線束を生成する、電子線束の射出側の開口がテーパ状に形成され内部にフィラメント１０が配設される孔部２１を有するウェーネルト２０を用いる。ウェーネルト２０により生成された電子線束を加速する、グランド電位に保たれるアノード１２０を用いる。 （もっと読む）

【課題】摩擦攪拌接合における回転ツールの寿命を向上可能な鉄系材料の接合方法を提供する。
【解決手段】鉄系母材１００，１０１を摩擦攪拌接合により接合する鉄系材料の接合方法において、鉄系母材１００，１０１の接合部位を単独で摩擦攪拌接合が可能な温度以上となるように高周波誘導加熱源２０ａにより予熱後に、接合部位を回転ツール１０を用いて摩擦攪拌接合により接合する。鉄系母材１００，１０１の接合部位を軟化点を超える摩擦攪拌接合時の温度となるように予熱しても、接合部位が柔らかくなり、摩擦攪拌接合時に発生する鉄系合金との摩擦熱が大幅に減少するため、全体として接合部位に与える熱量は変化しない。接合後の接合部位の金属組織も摩擦攪拌接合を予熱無しで行なった場合と変化しない。接合部位が予熱によって柔らかくなり、回転ツール１０への負荷が減少し、回転ツール１０の寿命を向上できる。 （もっと読む）

【課題】 使用電力を節減することができるとともに、省スペースが可能な誘導炉を実現する。
【解決手段】 内部にるつぼ１３０を配置する、ホットゾーンを形成するための円筒状の筒体１２０を配設する。筒体１２０の外周壁に近接して、これを巻回するようにして、高周波電流が流れる誘導コイル１１０を配設する。下端が基台１５０に固着された支柱１６により支えられた、誘導コイル１１０から発生する漏洩磁束を低減するための複数のコア部１０を、誘導コイル１１０の外周側に近接して配設する。 （もっと読む）

【課題】 ランニング・コストを低廉化することができるとともに、冷却速度を高めることが可能な金属熱処理炉を実現する。
【解決手段】 ピッチが調整自在のコイルに高周波電流を流すことにより発熱するカーボンを用いた発熱体を備える加熱部２０を、加熱室１０内に配設する。加熱室１０の下方に、発熱体により加熱された被加熱金属を冷却するための冷却室８０を、連結部６０を介して加熱室１０と連通するようにして配設する。被加熱金属を支持して加熱室１０内に進入可能な水冷昇降軸９０を、冷却室８０の底部を貫通して配設する。水冷昇降軸９０により支持されて加熱室１０内から冷却室８０内に移動した、加熱された被加熱金属を冷却するガスを冷却室８０内に導入するガス導入管８１を、冷却室８０に配設する。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの照射を受けた蒸着材料から生成される蒸着粒子が、電子銃に配設されている電子ビーム偏向用のポールピースに付着することがない蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 非磁性体からなり箱体状に形成された本体ケース２０内に、永久磁石１４、熱電子を放出するフィラメント１６、蒸着材料上で電子ビームをＸ軸およびＹ軸方向においてスキャンするためのスキャンコイルユニット１７などを配設するとともに、電子ビームを偏向する磁界を形成するための対向する１対のポールピース１１ａ，１１ｂおよび電子ビームの軌道を調整する磁界を形成するための対向する１対のポールピース１２ａ，１２ｂを、本体ケース２０内にそれぞれ横設する。電子ビームを射出するための方形状の開口２２を有する、非磁性体からなる上部カバー２１を、本体ケース２０の上部に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 単一の電子銃の本体部を用いつつ特定の構成要素のみを交換することにより異なるニーズにそれぞれ対応することが可能な蒸着用電子銃を実現する。
【解決手段】 単一の電子銃の本体部１０を用い、磁性体からなる立設のポールピース１１ａ，１１ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材１５ａ，１５ｂおよび非磁性体からなる上部カバー１３と、磁性体からなる横設のポールピース２１ａ，２１ｂおよび本体部１０内より射出された電子ビームの軌道を微調整する磁性体からなるビーム軌道調整部材２３ａ，２３ｂが固定された、磁気回路を形成する磁性体からなる回路形成部材２２ａ，２２ｂおよび非磁性体からなる上部カバー２４とのいずれも本体部１０の上部に装着可能とする。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子源から放出されて加速された電子ビームを物質に照射した状態でスキャンして加熱し、対向して配置した基板上に当該物質を蒸着させる電子源装置におけるスキャン方法および電子源装置に関し、画面上で電子ビームのスキャン波形の１点を指定すると当該１点をもとにスキャン波形を作成したり、作成したスキャン波形が所望でないときは当該スキャン波形の１点を指定すると当該１点をもとにスキャン波形に部分修正を施し、顧客が簡易に試料（材料）の溶けあとが可及的に平坦で有効利用されるように調整可能にすることを目的とする。
【構成】 画面上でスキャンしようとするスキャン波形の１点が指定されると、当該１点をもとにスキャン波形を生成するステップと、生成したスキャン波形を波形発生器に送信してスキャン波形で電子ビームを物質に照射した状態でスキャンして加熱させるステップとを有する電子源装置におけるスキャン方法である。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子源から放出されて加速された電子ビームを１８０度以上回転させて物質に照射して加熱し、対向して配置した基板上に当該物質を蒸着させる電子源装置におけるスキャン方法および電子源装置に関し、電子源から放出された電子ビームを１８０度、あるいは更に回転させてルツボ内の試料に照射する際に、照射する面積が変わった場合に電子ビームによる照射密度を均一に自動調整することを目的とする。
【構成】 電子ビームを前記物質に照射するときに当該照射する電子ビームのＸ方向およびＹ方向に走査する面積に対応して当該Ｘ方向およびＹ方向の一方あるいは両方の走査周波数を調整し、当該面積内をほぼ均一に前記電子ビームで照射する電子源装置におけるスキャン方法である。 （もっと読む）

【目的】 本発明は、材料に窒化物を混合して空孔を製造する空孔製造方法に関し、金属材料であるＺｒ合金等（Ｔｉ合金、貴金属合金を含む）に窒化物を０以上〜３０ｖｏｌ％以下添加し溶解し当該窒化物が分解したときのガスで微小かつ均一な気泡を簡易に形成することを目的としている。
【構成】 Ｚｒ合金、Ｔｉ合金、あるいは貴金属合金に窒化物を０以上〜３０ｖｏｌ％以下添加し溶解して冷却し、球状の気泡を持つ合金を製造する金属材料中気泡製造方法である。 （もっと読む）

【目的】本発明は、高周波加熱して溶融した試料をスリットあるいは穴から回転ロールに向けて噴射し薄板、薄片を連続加工する急冷凝固装置のノズルに関し、試料を溶融して薄板あるいは薄片を加工毎に底板のみの交換で他の中間ノズル、細管を再利用してランニングコストを低減すると共に、溶融する試料や加工する薄板、薄片に最適なスリット形状、多数の丸穴形状を持ち、更に、スリットあるいは多数の丸穴の近傍の温度を最適に調整する形状を持つ底板に使用毎に交換可能にすることを目的としている。
【構成】 ノズルは、高周波加熱される部分あるいは高周波電力が供給される部分を試料の溶融量に見合った大きさとした中間ノズルと、細いスリットあるいは多数の穴を設け、中間ノズルの下側に取り付ける底板と、中間ノズルを保持すると共にガス圧を供給するように取り付ける中間ノズルよりも小さい細管とを備える。 （もっと読む）