【課題】 プローブの振動に基づく電流である振動成分を感度良く検出する振動成分検出方法、及び、該振動成分検出方法を用いることで、測定感度が高い原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】２つの振動腕部６ａ，６ｂを有する電歪素子により構成された試料３の表面を走査するプローブ６を備え、振動腕部６ａ，６ｂ夫々に設けられた電極７ａ，７ｂからの２つの検知信号の差分を求めることで、該２つの検知信号間で同相に出現する擾乱成分を除去し、逆相で発生するプローブ６の振動に基づく振動成分を検出して処理信号を生成する差動増幅回路９と、該差動増幅回路９で生成した処理信号に基づき試料３の情報を検出する周波数検出回路１１を備える。 （もっと読む）

【課題】セル表面の結露を有効に防止できるクライオスタットを提供する。
【解決手段】入射口及び出射口が形成されたケーシング１と、ケーシング内に設けられたセル収容室と、セルの温度を調節する温度調節手段と、ケーシングの入射口から入射した光をセル収容室へ導く第１の光路管１１と、セル収容室を通過した光をケーシングの出射口へ導く第２の光路管１２と、第１の光路管及び第２の光路管において、外部に露出する開口にそれぞれ配置された第１及び第２光学窓１５，１８と、第１の光学窓及び第２の光学窓の周縁に配置され、第１の光路管及び第２の光路管をそれぞれ封止する水蒸気透過率が３００００cc・cm²・mm・sec・cm Hg×10¹⁰以下のシール材１９と、を備えている、クライオスタット。 （もっと読む）

【課題】プローブの位置決めを、比較的広いレンジにおいて、精度良く行うことができる装置を提供する。
【解決手段】プローブ１及び２は、試料２０の近傍に配置される。電子銃３は、試料２０の近傍のＸ−Ｙ平面において、電子ビームを走査させる。プローブ用吸収電流測定部４及び５は、電子ビームの走査に伴ってプローブ１及び２に生じる吸収電流を測定する。プローブにおける吸収電流を測定した時点での電子ビームの照射位置の情報を用いて、プローブの位置を特定することができる。電子ビームの走査によりＳＥＭ画像を取得していれば、ＳＥＭ画像中におけるプローブを特定することも可能である。 （もっと読む）

【課題】精度良く且つ効率的にマルチプローブを描画対象物の表面に平行に配置することができるナノライティング装置における傾き補正装置を提供すること。
【解決手段】固定部（６１）、弾性部（６２）、可動部（６３）、駆動部（６４）及び支点部（６５）を有する変位生成部（６）と、レーザ光をマルチプローブの両端に位置するカンチレバーの背面に入射させ、反射されるレーザ光を検出するレーザ照射部とを備え、固定部（６１）がナノライティング装置のＺ軸方向粗動部に固定され、レーザ照射部が可動部（６３）に固定され、マルチプローブがレーザ照射部に固定され、弾性部（６２）の各々が、独立して変位量に応じた復元力を固定部（６１）と可動部（６３）とに加え、駆動部（６４）が、可動部（６３）に力を加え、支点部（６５）の回りに可動部（６３）を所定角度回転させて、マルチプローブの傾きを変化させる。 （もっと読む）

【課題】 電界集中によりプラズマから受けるダメージを減少させて探針基体の先端部にカーボンナノチューブをプラズマＣＶＤ法によって成長させることができるプローブ顕微鏡用探針の作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 先端部１０ａを露出させてタングステン探針１０を保持するホルダー２６を容器２１内に配し、該容器２１内に導入した炭素系ガスをプラズマ化し、該プラズマ化した炭素系ガスに先端部１０ａを曝すことにより、当該先端部１０ａにカーボンナノチューブ３１を成長させる。タングステン探針１０の先端部１０ａには触媒金属が蒸着されている。 （もっと読む）

【解決課題】 軽装備な検出機構とすることにより、高精度に３次元的な形状を計測することができるようにする。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡１０は、ＸＹ試料ステージ１４と、一端が走査機構２２に片持ち支持され、開放された他端には探針２４が固設されているカンチレバー１６と、カンチレバー１６をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各々へ移動させる圧電素子１８Ｘ、圧電素子１８Ｙ、圧電素子１８Ｚを備えた走査機構２２と、走査制御回路２０とを備えている。また、カンチレバー１６の片持ち支持されている側には、発振器２６からの高周波信号により駆動されてカンチレバー１６を加振する加振用圧電素子２８が固設され、また、カンチレバー１６には、自己検知型のセンサである歪み抵抗素子３０が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】 超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の超高真空走査型プローブ顕微鏡は、超高真空状態の真空槽内に、板状試料（２）の一端又は両端を支持する試料ホルダー（３）と、垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料（２）に対し応力を印加する応力印加機構（６）、（７）、（８）と、応力が印加された板状試料表面の状態を原子レベルの分解能でその場計測するプローブ（１）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 真空下にて試料を分析および／または処理する際に必要とされる複数の機能を備えた器具を提供する。
【解決手段】 端子１および突起部６を有する基板１００、ならびに端子１と接触する電極３および突起部６を挿入するための凹部１０を有するホルダー２００を備える回路形成用カセットであって、突起部６が凹部１０へ挿入されることによって基板１００とホルダー２００とが固定される構成を有する回路形成用カセットを用いる。 （もっと読む）