【課題】耐熱性に優れ、かつ高強度でありながら、低熱容量で持ち運びがし易い減圧処理容器を提供する。
【構成】ステンレススティールにより円筒状に成形された薄肉の内容器体１１と、内容器体１１との間に真空の断熱空間１３を形成し、ステンレススティールにより円筒状に成形され、その外周面にリブ状の起伏部１５を多数形成してなる薄肉の外容器体１７ａと、を接合して二重構造とし、内容器体１１の肉厚以下とし、かつ、内容器体１１と外容器体１７ａとの隙間変化を吸収する、金属材料、特にはステンレス製の、例えば、断面をＵ字型とした底板１９を用いた構造として低熱容量、かつ耐熱性に優れ、高強度とした。 （もっと読む）

【課題】破損時のパーティクル問題が少なく、内部の圧力維持が容易で、広範な温度域に使用可能な断熱シートを得る。
【構成】断熱シート１は外側板２と内側板３とによって断熱層である密閉空間４を形成し、一端にガス排出管を装着することによって、密閉空間４を減圧層若しくは真空層とすることによって高い断熱性能を与えることができる。この密閉空間４は必要に応じて気体層としても良好な断熱性能を得ることができる。また密閉空間４内側には熱伝導率が空気（０．０２７Ｗ／ｍＫ）よりも低い例えば、アルゴン（０．０１８）、キセノン（０．００６）などの気体を充填してもよい。外側板２と内側板３は薄板になるほど、熱の伝わる量が減るため、断熱効果が高くなる。したがって、できるだけ薄板で構成する必要があり、板厚は０．３ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、排気浄化装置及び排気浄化用センサに係り、検査用フィルタでの断熱性能を向上させることにある。
【解決手段】検査用フィルタでの断熱性能を向上させる排気浄化装置は、内燃機関の主排気ラインに設置される主微粒子捕捉フィルタと、前記主排気ラインから分岐された副排気ラインに設置される検査用フィルタと該検査用フィルタを覆う外筒とからなるセンサと、を備える排気浄化装置であって、前記外筒の外周部が断熱構造を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、断熱性能を向上させ、座屈現象が発生しない、破損しにくい断熱ケースを提供する。また、断熱性能を向上させ、さらに熱容量が大きくなることによるＰＭ燃焼効率の低下を解消させた断熱ケース、その断熱ケースを用いた流通ガス浄化ユニット及びその断熱ケースを用いた流通ガス検査用センサを提供することを目的とする。
【解決手段】筒体が外側管と内側管とからなり、該外側管と該内側管とによって密閉空間或いは半密閉空間を形成し、該外側管の外側面に凹凸を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】断熱性の低下を抑制するとともに、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことのできる真空二重配管用バルブユニットを提供する。
【解決手段】バルブユニット７０Ａは、内管を覆う外管を有して内管と外管との間を真空にする真空二重配管に用いられ、内管を流通するガルデンを制御する。バルブユニット７０Ａは、内管に接続されて内管から流入する流体を流通させる第１流体通路と、バルブ本体７７及び弁体７８を有して第１流体通路を流通するガルデンを制御するバルブ７６Ｈ，７６Ｃと、第１流体通路及びバルブ本体７７を覆うとともに、外管に接続されるバルブケース８１とを備える。第１流体通路及びバルブ７６Ｈ，７６Ｃと、バルブケース８１との間の空間によって形成される排気通路７５は、各真空二重配管の内管と外管との間の空間を互いに連通させるとともに、各真空二重配管の間の途中部分が密閉されている。 （もっと読む）

【課題】断熱性の低下を抑制するとともに、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことのできる真空二重配管の継手、及び真空二重配管の接続構造を提供する。
【解決手段】Ｌ型継手５０は、内管を覆う外管を有して内管と外管との間を真空にする真空二重配管を互いに接続する。Ｌ型継手５０は、内管にそれぞれ接続される内管接続部５３を有して、各内管の流路を互いに連通させるとともに、内管接続部５３間の途中部分が密閉された内管継ぎ部５１と、内管継ぎ部５１を覆うとともに、外管にそれぞれ接続される外管接続部６３を有する外管継ぎ部６１とを備える。内管継ぎ部５１と外管継ぎ部６１との間の空間によって排気通路５５が形成され、排気通路５５は、内管と外管との間の各空間を互いに連通させるとともに、外管接続部６３間の途中部分が密閉されている。 （もっと読む）

【課題】強度を確保しつつ軽量化を可能とするとともに、真空二重配管を真空に排気する手間を減らすことのできる真空二重配管、及びその接続構造を提供する。
【解決手段】真空二重配管３０の内管３１が外管４１によって覆われており、内管３１と外管４１との間の空間によって排気通路３７が形成されている。排気通路３７は、内管３１の延びる方向において、両端部分が開放されるとともに途中部分が密閉されている。内管３１の内管本体３２及び外管４１の外管本体４２にはそれぞれ、その管壁を屈曲させて径方向の外側へ環状に突出させた節部３８，４８が間隔をおいて複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】高温・低温処理の変換処理の効率性を向上させることのできる金属配管及びその金属配管を用いてなる半導体製造ラインを得る。
【構成】金属配管１は、本体部２が可及的に薄肉厚とされてなるので極めて軽量で熱容量が小さく、熱し易く冷めやすい配管となる。したがって金属配管１に高温媒体を通じて高温処理を行った後に低温媒体を通じて低温処理を行う場合に、高温から低温、若しくは低温から高温への変換効率が極めて良好となり、生産効率を向上することができる。同時に、金属配管１自体が軽量になるため、金属配管１の固定・支持に必要なサポート部材の数量を低減することができ、サポート部材を固定する部分の強度も大幅に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高く、低コストな断熱二重管を得る。
【構成】断熱二重管１の内管３の流路４内側を高温流体が通過すると内管３が加熱されて熱膨張する。しかし斯かる熱膨張は熱膨張吸収ベローズ６によって吸収されて、その限りにおいて外管２と内管３との間に熱伸び差が生じることはない。また同時に内管３から外管２への熱伝達経路では断熱ベローズ９が内管３よりもはるかに薄肉にされ、かつ伝熱路を長くする蛇腹状にされて、極めて熱容量が低く、かつ伝熱の阻害性が高いことから、内管３の流路４内側を高温流体が通過して内管３が加熱されても、断熱ベローズ９において熱抵抗が上昇する結果として、外管２に熱膨張に起因する変形が生じる程度までの熱伝達は生じることはない。 （もっと読む）

【課題】配管を差込むだけで接続可能で、全体としてコンパクトに構成できる管継手機構、管継手、管継手を用いた管の接続方法及び配管構造を提供する。
【構成】ストッパ１０の突出縁部１０ｂ位置が接続構造部２２内側面に形成された抜け止め溝２３の位置に到達すると、ストッパ１０は拡径し、その突出縁部１０ｂは接続構造部２２の内外側間を貫通しない非貫通孔として形成された抜け止め溝２３に嵌合する。その際、例えば「カチッ」等の音として聞くことができる撥音及び手応えが生じ、ストッパ１０の突出縁部１０ｂが抜け止め溝２３に嵌合したことが認識される。それと同時に被接続管の先端部外側面が管継手２０の中央部２０ａ内側面に当接し、かつ第二の環状部１３の先端方向側側壁に密着するように装着されたＯリング１１及び第二の環状部１３の外側面が接続構造部２２から連続する管継手２０の気密構造部２１内側面に密接する。 （もっと読む）