【課題】製品の品質データや過去のデータを用いず、複数モジュールのうちいくつかのモジュールに異常が発生したとき、その不良原因と関係のある装置パラメータを迅速に探索する。また装置の異常を検知する。
【解決手段】各モジュール間での相関係数行列を装置パラメータごとに算出する。その相関係数行列と予め設定しておいた正常相関関係からの乖離を装置評価指標として数値化する。その装置評価指標を予め設定しておいたしきい値と比較することにより異常検知を行う。 （もっと読む）

【課題】発光回数や強度に関わりなくホワイトバランスの維持を図る。
【解決手段】入力された複数の原色映像信号（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応して発光回数または強度を制御してカラー表示を行う表示装置であって、前記発光回数または強度を検出する手段３と、該検出された発光回数または強度に従って前記複数の原色映像信号の振幅を調整してホワイトバランスを補正する手段２；１１，１２，１３と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ガラスパネル組立体の端面研磨処理の時間短縮と、砥石の磨耗の低減を図る。
【解決手段】２枚のガラス基板を対向配置して組立てられたガラスパネル組立体の少なくとも１つの端面を含む領域を２方向から撮影した画像データを取得する基板情報取得部と、前記画像データを用いて、ガラスパネル組立体の外形寸法を算出して各基板端面の存在する可能性のある検査領域を特定し、特定された検査領域の中において、エッジを有する基板端面の有無を判断し、エッジを有する基板端面を選択する研磨条件演算部と、前記選択されたエッジを有する基板端面を、砥石を用いて研磨するエッジ研磨部とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ターゲット交換に伴う非稼動時間を短縮する。
【解決手段】スパッタリングターゲットと成膜のための基板とが配置される成膜室を有したスパッタリング装置において、退避位置から作用位置へ移動することにより成膜室を互いの間が気密な２つの空間に区画し、かつ作用位置から退避位置へ移動することにより成膜室の区画を解除する可動の仕切りを設け、作用位置を成膜室における基板の配置される領域とスパッタリングターゲットの配置される領域との間の位置とし、区画された２つの空間のうちの基板が配置される領域を含む一方の空間を真空に保った状態でのターゲット交換が可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】ピーク輝度を高くしても表示欠点などの画質低下が発生しないプラズマディスプレイ装置の実現。
【解決手段】サブフィールド法を用いて階調表示を行うプラズマディスプレイ装置であって、同じ方向に伸び、隣接して交互に配置された複数の走査電極及び維持電極と、複数の走査電極及び維持電極に直交する方向に伸びる複数のアドレス電極とを備えるプラズマディスプレイパネル11と、サブフィールドごとの表示負荷率を検出し、検出した表示負荷率に応じてサブフィールド毎のサスティンパルス周期を変更するサスティンパルス周期変更手段25,26と、サスティンパルス周期を変更することにより生じた変動時間を１表示フィールド内で合計した全変動時間合計値を算出し、全変動時間合計値に応じて各サブフィールドのサスティンパルス数を増減する適応的サスティンパルス数変更手段27,28とを備える。 （もっと読む）

【課題】印刷マスクに付着した異物を除去する簡単な清掃装置を提供する。
【解決手段】印刷マスク５２を取り出し可能に収納する収納部５３と、収納された印刷マスク５２に対して矢印Ａ,Ｂ方向に移動可能に収納部５３に付設され印刷マスク５２にエアーを吹きつける上下一対のエアーナイフ５４ａ、５４ｂとを備え、エアーナイフ５４ａ、５４ｂは、印刷マスク５２の表面からエアーを吹きつける第１エアーナイフと、印刷マスクの裏面からエアーを吹きつける第２のエアーナイフを備える。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰにおける表示不良（放電ガス導入時における不純ガス混入を起因とする、表示領域の局所的な汚染による悪影響）を防止または改善できる技術を提供する。
【解決手段】本ＰＤＰ１０において、表示領域４０に対応して、第１の隔壁と、第１の隔壁間に形成される第１の蛍光体と、を有し、表示領域４０の外側の非表示領域４１で、当該パネルの外周付近の一部に、放電空間に対する排気及びガス充填のための通気孔６０などを有する。そして、非表示領域４１の一部に、特に、ダミーリブ領域４２の一部に、表示領域４０と通気孔６０との間の位置に、不純ガスを吸着する性質を持つ第２の蛍光体５０が形成された領域を有する。 （もっと読む）

【課題】蒸着箇所の異なる複数種類の被蒸着基板に兼用できるマスキングトレイを提供すること。
【解決手段】被蒸着基板を収容する枠体と、枠体に移動可能に設けられ前記被蒸着基板への蒸着を局部的に防止する防着板を備えたマスキング用トレイ。 （もっと読む）

【課題】従来のＰＤＰは、使い方によっては表示パネルに電荷が偏って蓄積し、異常放電が発生することがあった。
【解決手段】第１の電極Ｘおよび第２の電極Ｙを交互に隣接させて複数配置し、該第１および第２の電極に交わるように第３の電極Ａを形成したプラズマディスプレイパネルの駆動方法であって、前記第１の電極と前記第２の電極との間でリセット放電を実行し、前記第２の電極と前記第３の電極との間でアドレス放電を実行し、前記第１および第２の電極に交互に維持パルスを印加して維持放電を行った後であって、次のフィールドにおける前記リセット放電を行う前に、直前に実施していた維持放電以上の規模の補助放電を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルの内部に侵入した異物を効率よく除去すること。
【解決手段】プラズマディスプレイパネルの欠陥セルの修復方法であって、当該パネル基板の外面から欠陥セル対応部に局所的に超音波振動を印加し、当該欠陥セル対応部の基板内面に付着した異物を除去して欠陥セルを修復するプラズマディスプレイパネルの修復方法。 （もっと読む）