【課題】半導体基板のエッチングを行うことなく、簡素な工程で安価に製造する。
【解決手段】半導体基板１１と、半導体基板１１上に設けられた発熱素子１２、半導体基板１１上に設けられ発熱素子１２上の領域にノズル１４ａが配置された被覆層１４、及び発熱素子１２上の領域と外部とを連通する個別流路１４ｂを含むものであって、半導体基板１１に個別流路１４ｂと連通する貫通穴が形成されていないチップ１０と、共通流路２１ｂが形成され、共通流路２１ｂとチップ１０の個別流路１４ｂとが連通するようにチップ１０が接着されるインク供給部材２１と、チップ１０とインク供給部材２１とをまたぐように配置され、共通流路２１ｂを形成するために貫通した部分を封止する天板２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 効率良く簡単にインクジェットヘッドの内部、特に共通インク室から異物を取り除く。
【解決手段】 インクを収容する共通インク室６、その共通インク室６にそれぞれ連通してインクを収容する複数のインク室８及びそれらのインク室８にそれぞれ連通する複数のノズル２を有し、それらのノズル２から選択的にインク滴を吐出させるヘッド本体３を設け、共通インク室６の内部に、所定の周波数で共振する第１振動体１４を設けるようにした。 （もっと読む）

流体噴射装置（１００）が、チャンバ（１１０）と、チャンバとそれぞれ連通する第１の流体チャネル（１２０）及び第２の流体チャネル（１２２）と、第１の流体チャネルに沿って延在する第１の半島（１４０）及び第２の流体チャネルに沿って延在する第２の半島（１４２）と、第１の半島とチャンバとの間に延在する第１の側壁及び第２の半島とチャンバとの間に延在する第２の側壁（１５２）とを備える。第１の側壁はチャンバに対して第１の角度（１５４）を成して方向付けられ、第２の側壁はチャンバに対して第２の角度（１５６）を成して方向づけられ、第２の角度は第１の角度とは異なる。
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微細加工されたデバイス、および微細加工されたデバイスを形成するための方法が記載される。シリコン（６８０）を含む薄膜が、シリコン・オン・インシュレーター基材（６８５）をシリコン基材に接着させることによって、シリコン本体（２５）の上に形成される。シリコン・オン・インシュレーター基材の、ハンドル層（６９５）および絶縁体層（６９０）は、取り除かれ、シリコン本体に接着されたシリコンの薄膜を残し、その結果、膜と本体との間には、絶縁体物質の介在層は残らない。圧電性層は、膜に接着される。
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インクジェットプリントヘッドは、列方向に離間された噴出チャンバーの列であって、それぞれがインクオリフィスと連通状態にある噴出チャンバーの列と、この噴出チャンバーと連通する流入および排出プレナムチャンバーと、列方向に延在しかつ多孔質シートを介してプレナムチャンバーと連通する流入および排出マニホールドとを有する。流入および排出マニホールド内には列方向に実質的な正味のインク流が存在するが、流入あるいは排出プレナムチャンバー内には列方向に正味の流れは実質的に存在しない。それゆえインク圧力は噴出チャンバーの列の隅々まで一定である。
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