【課題】圧電素子の破壊を抑制して、流路ユニットとアクチュエーターユニットとの位置決め精度を向上して、液体噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体の流路が設けられた流路ユニット１６と、該流路ユニット１６の一方面側に接合されるアクチュエーターユニット１８と、を具備し、前記流路ユニット１６の前記アクチュエーターユニット１８が接合される面には、絶縁性を有する絶縁膜２５と、該絶縁膜２５上に独立して複数設けられた導電性を有する島部２７と、を具備し、前記アクチュエーターユニット１８は分極処理された圧電素子１７を具備し、該圧電素子１７が前記島部２７に接合される液体噴射ヘッド１０の製造方法であって、前記圧電素子１７と前記島部２７とを近接させた際に発生する静電場によって生じる電流を測定することで、前記島部２７に対する前記圧電素子１７の位置決めを行って、前記アクチュエーターユニット１８を前記流路ユニット１６に接合する。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャネル幅が狭い場合でも、インクチャネルの位置精度が高く、高密度且つ高精度な画像形成を実現するインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板10に、チャネル11と、チャネル11の外側に所定寸法離れた位置に設けられ、底面と底面から立ち上がる２つの側壁とを有する位置合わせ溝とを、同一の切削工具を用いて形成する溝形成工程と、溝形成工程の後に、位置合わせ溝のチャネル11側の側壁を外形基準面として残し、位置合わせ溝12のチャネル11と反対側の側壁を除去するように基板の外形を切断する切断工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インク流路を構成する流路部材間に設けられた熱硬化性組成物が、加熱硬化時の昇温に伴って流動化しても、インク流路側に流入することを防止できるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】流路部材３及び１同士を互いに所定の接合位置に配置すると共に、流路部材３及び１の接合面３１ｃ及び１２ａ間にインク流路側から外気側にかけて熱硬化性組成物部Ｃを形成する熱硬化性組成物部形成工程と、その後に、熱硬化性組成物部Ｃを加熱して硬化させることによって、流路部材３及び１間を接着すると共に、流路部材３及び１間においてインク流路を密封する加熱工程とを有し、熱硬化性組成物部Ｃは、加熱工程における加熱による昇温に伴って一時的に流動化した後に不可逆的に硬化する熱硬化性組成物から形成されており、加熱工程において熱硬化性組成物が少なくとも流動化した状態にある際に、インク流路側の圧力を外気側の圧力よりも高く保持する。 （もっと読む）

【課題】型成形により形成した流路部材２のパーティングラインＰから発生する微細なバリによりノズル開口が詰まり、吐出不良となることを防止する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は流路部材２とアクチュエータ部３を備える。流路部材２は第一の部材４とこれに接合する第二の部材５から成り、第一の部材４と第二の部材５の間に流路８と流路８に連通する排出口１２が構成される。第一及び第二の部材４、５は表面に型成形によるパーティングラインを有し、このパーティングラインは、流路８を構成する内表面には位置せず、この内表面以外の第一の部材４又は第二の部材５の表面に位置するようにした。 （もっと読む）

【課題】 圧電部材の所定領域だけに、無電解メッキによって電極を形成する。
【解決手段】 インクジェットヘッドの製造方法は、圧電部材のうち、インクを吐出させる駆動部以外の領域に対して、前記圧電部材よりも緻密な絶縁層を形成し、前記駆動部および前記絶縁層に対して無電解メッキを行うことにより、前記駆動部に駆動電圧を印加するための電極を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、記録素子基板の電気接続部を保護するための封止材が、記録素子基板の電気接続部が形成されない領域に流れ出すことを抑制する。
【解決手段】 エネルギー発生素子と電気的に接続される接続端子とを備える素子基板と、接続端子と電気的に接続されるリード配線を備える電気配線部材と、素子基板を収容する凹部と該凹部の内側面から凹部の内方に向かって突出する凸部とを備え、凹部内で接着剤を介して素子基板を支持するための支持部材と、接続端子とリード配線とが接続された接続部を封止するための封止材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、支持部材の、凹部の底面に接着剤を設ける工程と、凹部内に素子基板を設け、底面に設けられた接着剤を押圧して凸部と素子基板との間に接着剤の一部を導入する工程と、接続部を封止材で封止するに当たり、接着剤の一部によって封止材の流れを抑制する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】管状基材上に圧電素子を短時間で、低温かつ任意の厚さで接着工程もなく直接形成してなるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、円管状基材１５の外面に下電極１６、圧電素子１７、上電極１８をこの順に積層してなる。駆動素子として用いられる圧電素子１７は、下電極１６が形成された円管状基材１５に圧電材料からなる微粒子をガスとともに吹き付けることにより直接形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位ばらつきを低減し、歩留りを向上させること。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室が形成される基板に、圧電体および電極を有する圧電素子を形成し（ステップＳ２）、形成された前記圧電素子の静電容量と前記圧電素子のサイズとを実測し（ステップＳ４）、実測結果から前記圧電素子の変位量を予測し（ステップＳ６）、予測された前記圧電素子の変位量に基づいて、前記圧電素子の変位量を変更する加工処理の補正値を決め（ステップＳ８）、前記補正値を用いて前記加工処理を行うことで前記圧電素子間の変位量のばらつきを補正する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドを誤って高所から落下させても、記録素子基板のクラックが発生しづらいインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 支持部材の記録素子基板が接合される面の上に少なくとも一つの空洞部を形成する工程と、空洞部を形成した後に、空洞部内に記録素子基板や支持部材を構成する部材とは異なる部材を注入する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制することが可能な金属板のプレス装置、金属板製造方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板３１にパンチ３６を打ち込んで塑性加工するプレス装置３０であって、パンチの外周面のうち先端側の領域に他の領域よりも表面粗さが粗い粗面部４７を備え、当該粗面部よりも基端側の領域に該粗面部よりも滑らかな平滑面部４８を備え、金属板にパンチの挿入を開始する側と反対側の面を粗部が越えるまでパンチを挿入することで、パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制した。 （もっと読む）

【課題】 電気伝導性のインクを用いても高い印字品質と耐久性を両立するインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクを吐出させる複数のノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルに各々連通する複数の圧力室と、インクを吐出させる圧力発生手段に駆動パルスを供給する電極と、電極の圧力室側の面に成膜され、無機絶縁材料からなる第１の保護膜と、第１の保護膜の圧力室側の面に成膜され、有機絶縁材料からなる第２の保護膜とを有するインクジェットヘッドの製造方法において、第１の保護膜を成膜した後に、ノズル形成前のノズルプレートを圧力室の一面に接着し、第２の保護膜を成膜した後に、レーザー加工によりノズルプレートにノズルを形成するレーザー加工工程を含み、レーザー加工工程においてノズルが開口した後にレーザー光が照射される部位における第１の保護膜の膜厚が１μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】一部分が湾曲した圧電層を有する圧電アクチュエータ及び液体移送装置を容易に製造する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するためには、圧力室１０が形成される前のキャビティプレート２１の上面に、ハーフエッチングにより、中央部に向かうほど深くなる湾曲面５１ａを有する凹部５１を形成し、凹部５１を形成したキャビティプレート２１の上面に、ＡＤ法により保護層４１を成膜する。次に、保護層４１の上面に共通電極４３を形成し、さらに、共通電極４３を形成した保護層４１の上面に、ＡＤ法により圧電層４２を成膜する。次に、エッチングにより、キャビティプレート２１の凹部５１が形成された部分を除去して、キャビティプレート２１を貫通する圧力室１０を形成する。次に、圧電層４２の上面に個別電極４４を形成し、その後、加熱処理を行って、圧電層４２のアニールと共通電極４３及び個別電極４４の焼成とを行う。 （もっと読む）

【課題】吐出口のパターン露光における基板面からの反射光による吐出口パターン形状の変形を抑制しつつ、その変形抑制によるパターニング精度の低下を防止可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の、その上方からみて吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成し、その第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する。そして、第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成して、吐出口を形成した上で、第一のインク流路パターン及び第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】コストとのバランスを考慮し、高密度化等に効率よく対応できるようなアクチュエータ等の製造方法を得る。
【解決手段】複数のアクチュエータ部となる振動板２２をそれぞれ変位させる複数の駆動手段となる個別電極部１２と、個別電極部１２への電力供給を選択的に行うためのドライバとなるスイッチング素子回路１４とを、アクチュエータ駆動基板となるガラス基板６１に形成するため、ガラス基板６１とは別の回路作製用基板７１にスイッチング素子回路群７３を形成する工程と、ガラス基板６１の所定の位置にスイッチング素子回路群７３をスイッチング素子回路１４として転写する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】組みたて精度、組み立て容易性に優れ、構成部材の接着性に優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクの入口１４１と出口１４２とを有する圧力室基板１内の圧力室壁から引き出された電極と電気的に接続するための接続電極１６が形成されていると共に、該接続電極１６に電圧を印加する配線が形成された配線基板３が、圧力室基板１のインクの入口側の端面に接着剤により接着され、該接着剤が、光硬化性と熱硬化性を併せ持つ接着剤であることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、その下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これらの各接合膜１５、２５は、それぞれ、シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】有用なインクジェットプリントヘッド、プリンタシステム、および泡形成液体の液滴を射出する方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、泡形成液体が収容される複数のチャンバと、上記複数のチャンバを画成する、厚さが５ミクロン未満である構造体と、上記構造体に組み込まれた複数台のノズルであって、各ノズルが上記チャンバと一対一に対応する、当該複数台のノズルと、各ノズルに対応し各チャンバ内に配置された少なくとも１台のヒーター素子と、を備え、各ヒーター素子が上記泡形成液体と熱接触するように設けられ、各ヒーター素子が、上記泡形成液体内に気泡を形成し、これにより、当該ヒーター素子に対応する上記ノズルを通して上記泡形成液体の液滴を射出させるため、上記泡形成液体の少なくとも一部分を加熱するように構成され、各チャンバ内の圧力は、約１気圧である。 （もっと読む）

【課題】流体の吐出量を均一にすることが可能な流体噴射ヘッドの製造方法及び流体噴射装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】流体を噴射する複数のノズル開口及び前記ノズル開口のそれぞれに連通する圧力室が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの振動板に振動を与える圧電素子及び前記圧電素子を固定する固定板を有する圧電ユニットと、前記圧電ユニットを収容する収容室を備えたヘッドケースとを備えた流体噴射ヘッドの製造方法であって、前記圧電ユニットを前記収容室に収容して前記圧電素子を前記振動板に当接させる収容工程と、前記圧電ユニットを収容方向に押圧して前記圧電ユニットの一部を前記収容室の側壁面に当接させる押圧工程と、前記圧電ユニットを前記振動板及び前記側壁面に当接させた状態で、前記圧電素子と前記振動板並びに前記固定板と前記ヘッドケースとをそれぞれ接着固定させる固定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出口面の数を確認することで、吐出口面から電気熱発生素子までの距離を正確に判定することができ、吐出口面の高精度な製造を可能にする液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズルの吐出口が形成される吐出口面５２０に凹部を形成すると共に、各凹部の奥面１０８Ａ１〜１０８Ｊ１を、最終的に形成される前記吐出口面５２０と平行になるように形成する。これにより、凹部の開口部は、吐出口面５２０の研削加工量に応じて、段階的に変換する。このため、吐出口面の研削加工を行う作業者は、吐出口面に形成されている開口部を確認することで、容易に研削加工量を判断することができ、高精度に吐出口面を形成することが可能になる。 （もっと読む）