【課題】基板から有機フィルムを容易且つ良好に除去することができるフィルム除去方法を提供する。
【解決手段】基板３０上に接着剤１５０によって接着された有機フィルム１４０を基板から除去するフィルム除去方法であって、有機フィルム及び接着材を過酸化水素水２００に所定時間浸漬した後に、有機フィルムを基板から引き剥がすことで、有機フィルムを基板から除去する。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れた誘電体膜を形成することができる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに赤外線加熱装置を提供する。
【解決手段】基板１１０の一方面側に有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜７１を形成する工程と、前記基板１１０の前記誘電体前駆体膜７１に相対向する領域から当該誘電体前駆体膜７１の吸収率の大きい波長領域を除外した波長領域の赤外線を照射すると共に、前記基板１１０の他方面側から赤外線を照射して前記誘電体前駆体膜７１を加熱焼成して結晶化する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いられる圧電体素子の圧電体層側面および圧電体層内部の絶縁破壊の両方を簡便に防止し耐電圧を向上し、耐久性を向上させる。
【解決手段】下電極１０４と、圧電体層１０５、上電極１０６から構成される圧電体素子において、圧電体層１０５上層部に凹部が長手方向に形成され、かつ凹部内にのみ上電極１０６が形成されていることを特徴とする。また凹部を形成する際に少なくとも凹部内の平均表面粗さＲａを２０ｎｍ以下にする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのストレート部を加工精度よく形成するとともに、ノズルのストレート部とテーパ部との位置ずれを防止し、吐出性能を向上させること。
【解決手段】 基板２０に対して第１のエッチングを行って、基板２０にストレート形状の貫通孔５１０を形成し（工程Ｆ）、基板２０の一方の面のうちで貫通孔５１０の周辺のみを露出させる保護膜保護膜３４を形成し（工程Ｈ）、保護膜３４が形成された基板２０の前記一方の面側から第２のエッチングを行って、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで一方の面側の部分をテーパ形状に変えることによりノズル５１のテーパ部５１２を形成するとともに、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで他方の面側の残り部分をノズル５１のストレート部５１１として残す（工程Ｊ）。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を低下することなく圧電素子の絶縁破壊を防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、この圧力発生室１２に対応する領域に圧力発生室１２側から下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０の順で積層されてなる圧電素子３００とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電素子３００の外周面に設けられる保護膜１００を有し、保護膜１００は圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分である圧電体能動部３２０の対向する領域の上電極８０の露出された上面を覆って設けられており、上電極８０の上面の周縁領域の内側に、この周縁領域よりも膜厚が薄い薄膜部１００ａを有し、且つ保護膜１００は、圧力発生室１２に対向する領域で圧電素子３００の幅方向両側の振動板上まで延設され、この領域の膜厚が薄膜部１００ａの膜厚よりも厚いように構成する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に階段状の溝を安価に、精度良く形成すること。
【解決手段】ホットエンボス成形技術によりガラス基板２００に階段状又は傾斜状の凸部２０１を形成する工程と、凸部２０１の形成部分を少なくとも開口したエッチングマスクでガラス基板表面を覆い、ガラス基板表面をエッチングして凹部９を形成する工程と、凹部９の底面に個別電極１０を設ける工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を防止すると共に優れた変位特性を有するアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０上に変位可能に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０が、前記下電極６０の端部の外側まで設けられていると共に、前記下電極６０の前記端部に、前記圧電素子３００の外側に向かって厚さが段階的に漸小する側面部６１を設け、該側面部６１を前記基板の面方向と同一方向の第１の面６２と、該第１の面６２に垂直な第２の面６３とで画成された階段状に形成する。 （もっと読む）

【課題】流路内の気泡の残留を防止して、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の長手方向の一端部に連通して当該圧力発生室１２に液体を供給する液体供給路１４とが設けられた流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００とを具備し、前記液体供給路１４が、前記圧力発生室１２の短手方向の幅を絞ることで形成されていると共に、前記圧力発生室１２の短手方向の側面と前記液体供給路１４の短手方向の側面との間に段差面１６が設けられ、該段差面１６と、前記圧力発生室１２の短手方向の前記段差面１６側の側面と、前記圧力発生室１２の前記流路形成基板１０の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋めるように設けられた埋設部１７を具備する。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出口にテーパー形状を形成する方法として、露光機のフォーカスを吐出口表面から基板方向へずらして露光することで可能である。しかし、この場合、露光機のフォーカスを吐出口からずらすために、吐出口のパターニング性に影響を与える可能性がある。
【解決手段】 インク流路壁形成材料であるネガ型のエポキシ樹脂に光酸発生触媒あるいは光増感剤の添加量を変えて多層積層して露光することにより、所望のテーパー形状を有するインクジェット記録ヘッドを得られる事が判明した。 （もっと読む）

【課題】 インク流路形成時の露光でインク流路パターンが感光することにより発生する「インク流路内クラック」を抑制する事を目的としている。
【解決手段】 インク流路形成材料を二層構造にし、下層には上層よりも多くの光酸発生触媒が入っている事を特徴としており、この光酸発生触媒が吸光することで、インク流路パターンの感光を抑えられる。また、紫外線吸収剤を添加した場合と比較して、硬化に必要な光を、紫外線吸収材に奪われる事が無く、基板界面との密着性も維持される。 （もっと読む）

【課題】充填材による記録素子基板の割れが発生することなく、且つワイピング部材の削れが発生しないことで、吐出不良のない信頼性の高いインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】記録素子基板Ｈ１１００と第２のプレートＨ１４００との間の空間Ｑ部にブロックを設ける。（また、記録素子基板Ｈ１１００のエッジ部に異方性エッチングを用いてテーパ部を設ける。） （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドにおいて、流路形成部材として、線膨張係数が小さく、高精度のパターニングが可能な材料を用いることによって、長期にわたって高品位の画像記録が可能な信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの流路形成部材として、カチオン重合可能な樹脂と、光カチオン重合開始剤と、加水分解性有機シラン化合物の加水分解物と、平均粒経が５０ｎｍ以下の無機微粒子と、を含む樹脂組成物の硬化物を用いる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は，基板２と、基板２の上方に形成された下部電極４と、下部電極４の上方に形成され、チタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層６と、圧電体層６の上方に形成された上部電極７と、を含み、Ｘ線ロッキングカーブ法により測定したチタン酸ジルコン酸鉛の（１００）面のピークの半値幅は，１０度以上２５度以下である。 （もっと読む）

【課題】残留電荷を除去するために極性の異なるパルス電圧を印加するとき、駆動周波数が下がったり、あるいは、適用できない。
【解決手段】駆動波形には、パルスパターンＰＰ１〜ＰＰ３が含まれ、パルスパターンＰＰ１〜ＰＰ３を構成する第１〜第６パルスＰ１〜Ｐ６が１駆動周期内で生成されて出力され、各パルスパターンＰＰ１、ＰＰ２、ＰＰ３には同じ数（ＰＰ２の場合）又は一方が他方より１つ多い（ＰＰ１、ＰＰ３の場合）関係で正極性の電位を有するパルスと負極性の電位を有するパルスが含まれ、かつ、すべてのパルスパターンＰＰ１〜ＰＰ３に含まれるパルス数は正極性の電位を有するパルスの数（３個）と負極性の電位を有するパルスの数（３個）が同じ関係である。 （もっと読む）

【課題】基板の破壊を防止すると共に、ヘッド情報を容易に且つ確実に参照することができ、限定されない種々のヘッド情報を記録することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を具備する液体流路と、前記圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００とを流路形成基板１０に形成すると共に、前記流路形成基板１０の前記ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０が接合される一方面側に、前記液体流路とは不連続で独立した凹部１６を形成する工程と、前記流路形成基板１０の前記一方面側に前記ノズルプレート２０を接合する工程と、前記ノズルプレート２０の前記液体が噴射される液体噴射面側の前記凹部１６に相対向する領域の当該凹部１６の開口面積よりも狭い領域にヘッド情報が記録された記録部２２を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れた誘電体膜を得ることができると共に、誘電体膜の結晶化を均一に行うことができる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１０の一方面に誘電体膜７２ａをスパッタリング法により形成する第１誘電体膜形成工程と、該第１誘電体膜形成工程の後に当該第１誘電体膜形成工程により形成した前記誘電体膜７２ａ上に誘電体前駆体膜７１を形成すると共に該誘電体前駆体膜７１を焼成して結晶化させた誘電体膜７２ｂを形成する第２誘電体膜形成工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上させ、硬化温度を下げて、印字品質及び信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】少なくともエポキシ樹脂、カチオン重合開始剤及びビニルエーテルを含む接着剤又は封止剤；あるいは、少なくともエポキシ樹脂、カチオン重合開始剤及びオキセタンを含む接着剤又は封止剤；あるいは、少なくともカチオン重合性樹脂、熱カチオン重合開始剤及び光カチオン重合開始剤を含む光熱併用カチオン硬化性樹脂組成物から成り硬化後のショアＤ硬度が３０以上である配線保護封止剤、を用いてインクジェット記録ヘッドを作製する。 （もっと読む）

【課題】多ノズル化に伴うノズル材の剥離を防止し、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給口６上のオリフィスプレートの基板１と接する面とは反対面に、オリフィスプレートの厚みと同等のスリット３、へこみをオリフィスプレートに設け、深さを変えることによって基板１の変形をコントロールし、基板中央に引っ張る力を減らす。また前記オリフィスプレートと基板１が接する部分に第二のオリフィスプレートを設けた。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動が可能で且つ振動板の変位量を拡大することが可能な静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、これらの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板２２と、振動板２２にギャップを介して対向配置された個別電極１２とを備え、振動板２２と個別電極１２との間に電圧を印加することにより発生する静電気力によって振動板２２を変位させる静電アクチュエータであって、振動板２２は、振動板２２の振動板端部２２ｂが支持された状態で振動するものであり、その振動板端部２２ｂの振動板２２の厚みをその振動板端部２２ｂ以外の振動板中央部２２ａの厚みよりも薄く形成して振動板２２の個別電極１２とは反対側の面を段差構造にし、且つ、振動板中央部２２ａにおいて個別電極１２に対向する面側に凹部２２ｃを形成して振動板２２の個別電極１２に対向する面側も段差構造にした。 （もっと読む）

【課題】ヘッドカバーの剛性の低下に起因する不具合を防止しつつ、ノズル開口と記録媒体との距離を縮めて高画質化・高速化に適応することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】側壁部５５は、フレーム部側端部とフランジ部側端部との間に変曲部６１を設定し、変曲部からフレーム部側の壁面を、先方壁面６２とし、変曲部からフランジ部側の壁面を、フランジ部取付前の状態では変曲部側からフランジ部側に進むにしたがってヘッドケースの側面からの離間距離が次第に増大する方向に傾斜した傾斜壁面６３とし、フランジ部５６は、フランジ部取付前の状態では側壁部側の基端から先端側に進むにしたがって取付面５７からの離間距離が次第に増大する方向に傾斜させた面で構成され、ヘッドケースの側面には、傾斜壁面に対向する位置に支点突部６７を突設し、フランジ部の先端側を取付面に押圧して取り付ける際に、傾斜壁面に支点突部が当接する。 （もっと読む）