【課題】貫通電極に外部電極を接合可能な補強板を備えた液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０１の表面から基板１０１の裏面まで貫通する、発熱抵抗体１１０に電力を供給する第１の貫通電極１０５を有する。さらに、基板１０１の裏面側に接合された補強板１０６と、補強板１０６の表面から補強板１０６の裏面まで貫通する第２の貫通電極１０５とを有する。第２の貫通電極１０５と第１の貫通電極１０６とは電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出特性を均一化してコストを低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に振動板５０、５５を介して設けられた下電極６０、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路形成基板１０の一方面側に前記振動板５０、５５を形成すると共に、当該振動板を構成する振動膜５５を、前記圧電素子の変位量に基づいて厚さを変更して形成する工程と、前記振動板上に前記圧電素子を形成する工程と、前記流路形成基板に前記圧力発生室を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液体吐出ヘッドに用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化してもインク等の液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れた、さらに好ましくはより薄い保護層を提供することにある。
【解決手段】液体吐出ヘッド基体に用いる保護層として、緻密で化学的および物理的に安定し、薄膜化しても液体に対して絶縁性および耐性があり、段差部のカバレッジ性に優れ、より薄化できる保護層を提供するため、本発明の液体吐出ヘッド基体は、基体と、基体に形成された発熱抵抗層と、液体の流路と、発熱抵抗層に積層され、その端部が発熱抵抗層上で段差部を形成する配線層と、発熱抵抗層と段差部を含む配線層とを覆い、発熱抵抗層と流路との間に配された保護層と、を有する液体吐出ヘッド基体において、保護層は、Ｃａｔ−ＣＶＤ法により形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低電圧で駆動する圧電体素子を提供する。
【解決手段】この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして圧電体層（４１）における（００１）方位の柱状結晶粒における結晶軸方向が下部電極（３２）面の法線方向と所定角（５度から２０度）をなすように設定されている。このような構造の圧電体素子は、低電圧において従来品並みの圧電特性を示しそれ以上の電圧で従来品より高い圧電特性を示す。低電圧駆動をさせる圧電体素子として最適である。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー変換効率向上のため流路内に発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で位置した液体吐出ヘッドにおいて、発熱体の耐久性を向上させた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 少なくとも２つの面に気泡を発生させる発熱体を流路の内壁面より浮かせた状態で支持し、前記少なくとも２つの面におけるイナータンスのうちの最大値を最小値の１．５倍以内とする。 （もっと読む）

【課題】 長尺のヘッドであってもノズル剥離が生じることを抑えた信頼性の高いサイドシュータ型インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 発熱体を有する基板面に対して垂直方向に液体が吐出される液体吐出ヘッドにおいて、液体が吐出される吐出口と、吐出口にインクを導くインク流路と、この吐出口から液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部と、この吐出エネルギー発生部にインクを供給するための開口部を具えるヘッド基板が、ウエハで一括して基体を作った後に切断して個々のヘッド基板に分割されるものであって、前記ヘッド基板をベース板に接合する際に、加温した状態で接合する。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッド固有データ記録時に層間絶縁膜および保護膜に損傷を与えることなく記録することが可能であり、配置する位置の制約が不要である信頼性の高い記憶素子を備えたインクジェット記録用基板およびインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】記録素子基板７００内に、電気熱変換素子１１０と同じ材料、工程で形成した情報記憶素子１０１を用いて、その抵抗値を変化させて情報の記憶を可能にし、その情報記憶素子１０１から情報を読み出す。 （もっと読む）

【課題】 簡易な工程で撥水性の劣化、流路形成材の膨潤、流路形成材の基板面からの剥がれが生じ難い製法を提供する。
【解決手段】 吐出圧発生素子と、少なくとも流路となる部分を占有する固体層（流路型材）がポジ型レジストにより形成された基体上に、ノズル形成部材であるネガ型の活性エネルギー線硬化性材料を被覆し露光、現像により吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成するインクジェットヘッドの形成方法において、吐出口を形成する工程で吐出口と同様にしてガス抜き穴を形成する。 （もっと読む）

【課題】 供給口形成時における気泡の発生を防ぎ、ノズル材の変形を防止することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 Si基板を用い、基板上に発熱抵抗体が形成された複数のチップユニットを有し、基板上に設けられた吐出口を有するオリフィスプレートとを備え、オリフィスプレートの吐出口から基板面に対し垂直方向にインク液滴を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法において、液体吐出ヘッド製造工程中に該チップユニットの間に除去可能なリブ状突起を形成する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット構成部材の基体の接着強度、接着耐久性を確保しつつも、接着剤の流路内への流れ込みを減少させるインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【解決手段】 陽極化成処理によってＳｉ単結晶の接着表面を一定度合いに荒らすことで、接着強度、接着耐久性を向上させる。また高さ方向に段差をつける構成を用いて、接着剤の流路内への流れ込みを減少させる。その高低差は、非陽極化成処理部にマスク材を配置することで、陽極化成処理と同時に精度よく形成できる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板にサンドブラスト加工法により貫通穴を形成する製造方法において、電極部や接合面に噴射材等の異物が付着しないように電極部及び接合面を保護すること、電極部や接合面に付着する異物を効率よく洗い落とすようにすること、振動板の割れなど他の部分に損傷を与えないように加工すること。
【解決手段】電極パターン８が形成されたガラス基板２００に、流体を供給するための貫通穴２２ａをサンドブラスト加工法により加工する電極ガラス基板の製造方法において、電極パターン側に保護フィルム５０を被着する工程と、電極パターン側と反対のガラス基板の裏面から、ガラス基板だけを貫通するようにサンドブラスト加工法により貫通穴を加工する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 供給口形成時における気泡の発生を防ぎ、ノズル材の変形を防止することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 シリコン基板を用い、該基板上に発熱抵抗体が形成された複数のチップユニットを有し、該基板上に設けられた吐出口を有するノズル材とを備え、該ノズル材の吐出口から該基板面に対し垂直方向にインク液滴を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法において、インク供給口を形成するために前記基板に対して異方性エッチングを行う前であって、前記基板に保護材塗布前に、該保護材よりも粘度の低い除去可能な気泡防止材を前記基板に塗布する。 （もっと読む）

【課題】より有効的に制御を実現するための静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１を複数有するノズル基板３０と、各ノズル３１に合わせて設けられ、振動して液体を加圧する振動板２２を備える吐出室２１となる複数の凹部を有するキャビティ基板２０と、振動板２２と対向し、静電気力を発生させて振動板２２を振動させるための個別電極１２ａを有する電極基板１０とを少なくとも備え、個別電極１２ａを複数段で構成し、初期状態において、個別電極１２ａの１つの段と振動板２２の一部とが接触している構造とする。 （もっと読む）

【課題】梁を備えたインク供給口を短時間で精度良く形成する。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板の製造方法は、シリコン基板の裏面におけるインク供給口１０を形成する部分に、シリコン面が露出した被エッチング面を形成する工程を有する。さらに、被エッチング面のうち梁１９を形成する領域を少なくとも除いた領域に、レーザー加工によって第１の凹部を形成する工程と、シリコン基板に対して、被エッチング面から第１のウエットエッチングを行う工程とを有する。さらに、第１のウエットエッチングによってエッチングされたシリコン基板の被エッチング面に、レーザー加工によって第２の凹部２０ｂを形成する工程を有する。さらに、シリコン基板に対して、被エッチング面がシリコン基板を貫通して犠牲層に達するまで第２のウエットエッチングを行い、梁１９を備えたインク供給口２０を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】無電解めっき法を採用しても、新たな保護層を必要しないインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供すること、更には、流路形成部材と基板との密着性を向上させるための密着層を用いることで、バンプ部の信頼性を向上させたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドの構成を、エネルギー発生素子と電極パッドの周囲および縁とを覆う保護層と、保護層上の流路形成部材を形成する部位に形成された、該保護層を介して流路形成部材を前記基板の表面に密着させるための密着層と、電極パッドを囲む部位の保護層上に形成された、密着層と同じ材料で形成された上部保護層と、無電解めっき法により形成された、電極パッドを覆うニッケル層と該ニッケル層を覆う金層を有するバンプと、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 普通紙を高速で印刷し、写真を高画質で印刷するために、安定した大小液滴吐出をするインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 吐出量の異なるノズルが一体に基板上に形成され、吐出量により、吐出方向に対する吐出口壁面の角度を異ならせる。 （もっと読む）

【課題】 従来のサイドシューター型のインクジェット記録ヘッドでは、基板はＳｉの単結晶基板に限定され、作製できるインクジェット記録ヘッドの大きさにも単結晶基板の大きさが制約になった。また、Ｓｉの異方性エッチングには７〜１１６時間という長大な時間が掛かるという問題点もあった。
【解決手段】 基板にインク吐出圧力発生素子が設けられ、インク吐出圧力発生素子に対向するプレート側に吐出口が配されて、インク内に気泡を発生させて該吐出口基板に垂直にインクを吐出するインクジェット記録ヘッドであって、セラミック等の耐熱基板にインク供給口のための貫通孔が開けられ、前記基板表面に放熱のための第一の金属層と、前記基板と第一の金属層の間に両者を接合するための第二の金属の積層が形成されて、電気−熱エネルギー変換素子およびインク吐出口、インク流路が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドによって解決される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動による圧電体層の破壊を防止することができるアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板上に設けられる下電極膜と、下電極膜上に設けられる圧電体層７０と、圧電体層７０上に設けられる上電極膜８０とからなる圧電素子３００を具備し、且つ圧電素子３００を構成する圧電体層７０の各結晶粒の厚さと幅との比が１以上１００以下であるようにする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドを、容易、確実かつ精度よく製造すること
ができる。
【解決手段】図４に示すインクジェット式記録ヘッドＨの主要部は、複数のイン
ク室２１０を形成するインク室基板２００の下側にノズル板１００が接合され、
上側に振動板３００が接触して設けられている。また、振動板３００のインク室
基板２００と反対側には各インク室２１０に対応する位置に圧電素子４００が下
地層７００を介して設けられている。圧電素子４００は圧電体層４３０を上部電
極４１０と下部電極４２０とで挟持して構成されている。ヘッドＨはＳｉ単結晶
基板とＳｉ単結晶層とでストッパ層を挟持してなる基板を用いて製造され、Ｓｉ
単結晶基板がインク室基板２００と、Ｓｉ単結晶層およびストッパ層が振動板３
００とされている。 （もっと読む）

【課題】 供給口の中に幅の広いハリを作ると、インクを加熱する吐出圧発生素子部と供給口との間の障害物になり、吐出口へのインクの充填速度に影響を与え、ハリ付近の吐出圧発生素子部は他の部分と均一な吐出性能が得られないという問題があった。一方、ハリ幅を狭くすると十分な強度が得られないという問題もあった。
【解決手段】 シリコン単結晶基板にインク吐出圧力発生素子が設けられ、インク吐出圧力発生素子に対向するプレート側に吐出口が配されて、インク内に気泡を発生させて該吐出口基板に垂直にインクを吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、基板にインク供給口が長手方向に複数連続して配置されたヘッドであって、連続するインク供給口の間のハリの上部を（１１１）方位を主面とする結晶面で囲まれた面で形成する。 （もっと読む）