【課題】 配線の狭ピッチ化や段差を介した配線接続に好ましく適用可能なデバイス実装構造を提供する。
【解決手段】 デバイス実装構造は、デバイス２００Ａ，２００Ｂが搭載されたユニット３６０の一面に形成された突起４２と、ユニット３６０における突起４２の頂部とデバイス２００Ａ，２００Ｂの搭載位置とを結ぶ第１配線３６３と、基体１０，２０に設けられ、突起４２の少なくとも１部が組み込まれる溝７００と、基体１０，２０における溝７００の底部に設けられ、第１配線３６２と電気接続される第２配線８０と、を備えている。第１配線３６２が、金属粒子を含む樹脂層３７０と、樹脂層３７０上の金属膜３７１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動電圧で大きな歪みを得ることができるアクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 基板の一方面側に設けられた振動板を介して設けられ且つ下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を具備し、前記圧電体層の圧電定数ｄ_３１と前記圧電体層の弾性コンプライアンスＳ_１１^Ｅとの比ｄ_３１／Ｓ_１１^Ｅが５Ｃ／ｍ^２より大きく、前記振動板の弾性コンプライアンスＳ_１１^Ｅが２×１０^−８ｍ^２／Ｎより大きくする。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板と電極ガラス基板とを陽極接合した後に該シリコン基板に吐出室等のキャビティ部を形成するプロセスにおいて、吐出室の幅精度を向上することができる液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 予め個別電極３１が形成された電極ガラス基板３０１にシリコン基板２００を接合した後、そのシリコン基板を薄板化し、その後ＴＥＯＳエッチングマスク２０４をパターニングして吐出室となる凹部をエッチングにより形成する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記エッチングマスクをドライエッチングによりパターニングし、そのシリコンエッチングを、最初はドライエッチングで、最後はウェットエッチングで行う。 （もっと読む）

【課題】 歪のない結晶からなり良好な変位を有する圧電体層を具備するアクチュエータ装置、液滴を噴射するための駆動源としてアクチュエータ装置を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン（Ｓｉ）単結晶基板上に設けられた二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）からなる弾性膜５０の上側に、下電極６０と、該下電極６０上に設けられた導電性の材料からなる面方位（１００）のバッファ層６５と、該バッファ層６５上にエピタキシャル成長により形成されたチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる面方位（１００）の圧電体層７０と、該圧電体層７０上に設けられた上電極８０とからなる圧電素子３００を有し、前記圧電体層７０は前記バッファ層６５との境界部分に設けられて組成を厚さ方向に連続的に変化させた組成傾斜層７１とこの組成傾斜層７１上に積層された圧電体層本体７５とを有する。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化が可能で、ギャップ内に水分等が入り込むのを効果的に防止することのできる静電アクチュエータ等を得る。
【解決手段】固定電極である個別電極１２を有する電極基板１０と、個別電極１２と距離をおいて対向し、個別電極１２との間で発生した静電気力により動作する可動電極である振動板２２を有するキャビティ基板２０とを備え、電極基板１０又はキャビティ基板２０の一方に、個別電極１２と振動板２２との間で形成される空間を外気と遮断する封止材２５からなる封止層（ＴＥＯＳ層２５ａ、水分透過防止層２５ｂ）を複数積層し、封止部２６ａを形成するものである。 （もっと読む）

【課題】 振動板の駆動形態や当接順序を制御することができ、絶縁破壊を回避しながら静電気力を向上させることのできる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置等を提供する。
【解決手段】 静電気力によって駆動される振動板４と、該振動板４にギャップを隔てて対向する対向電極１１とを備え、振動板４の対向電極１１側の面には、異なる材料からなる複数の領域（第１の領域３１、第２の領域３２）を有し、該複数の領域が同一平面上にある絶縁膜３０が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の圧電特性を略均一にすることができると共に、最大出力で駆動することができる圧電素子の製造方法及び圧電素子並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】 酸化ジルコニウム層１０１、該酸化ジルコニウム層１０１上に酸化セリウム層１０２と、イットリウム−バリウム−銅−酸素系材料（ＹＢＣＯ）からなる導電体層１０３と、ルテニウム酸ストロンチウムからなる下電極６０とを形成した後、該下電極６０上にＰｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３でｘ＝０．６〜０．７５の組成である圧電体前駆体膜７１を塗布して、乾燥、脱脂及び焼成を行い、圧電体膜７２を形成する工程を複数回繰り返して複数の前記圧電体膜７２からなる圧電体層７０を形成する際に、１層目の前記圧電体膜７２を６５０〜７５０℃で、２層目以降の前記圧電体膜７２を６００℃以下で焼成することにより、前記圧電体層７０をエピタキシャル成長させる。 （もっと読む）

【課題】 密着向上層に微粒子を添加し、密着向上層表面に凹凸を形成することで、露光時の反射光の抑制、インク流路壁との密着性向上を図ることができるインクジェット記録ヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】 インク吐出圧力発生素子と、密着向上層と液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるインク流路壁形成材料を被覆し、インク流路壁形成部材に吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりインク流路を形成する手段を包含するインクジェット記録ヘッドにおいて、密着向上層に微粒子が含まれていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 振動板を構成する酸化膜と下電極との密着性が向上すると共に、圧電素子を構成する層の結晶性を向上したアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 基板上に設けられた振動板と、振動板を構成する酸化膜５５上に設けられる下電極６０、下電極６０上に設けられる圧電体層７０及び圧電体層７０上に設けられた上電極８０からなる圧電素子３００とを具備し、且つ下電極６０と酸化膜５５との境界に、結晶化したチタン酸化膜からなり厚さが１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下の結晶化した密着層６５を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 液体供給口の縁部と液体吐出圧発生素子の一側端との間の寸法精度を一定に保ち、液体のリフィル性能を安定させる。
【解決手段】 表面にヒータ１６が設けられたシリコン基板１１と、シリコン基板１１上に接合されインクを吐出する吐出口１８とこの吐出口１８にインクを供給するインク流路１９とを有するノズル形成層１２と、シリコン基板１１の表面上に設けられこの表面上にノズル形成層１２を密着させるためのノズル密着向上層１３と、シリコン基板１１に設けられインク流路１９にインクを供給するインク供給口１７とを備える。そして、ノズル密着向上層１３は、インク供給口１７よりも開口面積が小さい開口１３ａを有し、この開口１３ａの縁部がインク供給口１７の内側に位置されている。 （もっと読む）

【課題】 電極端子間の狭ピッチ化に対応したコネクタ、段差実装構造、及びコネクタの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のコネクタ５８は、段差部の上部に設けられた端子と下部に設けられた端子とを電気的に接続するコネクタ５８であって、シリコンからなるベース部材１８と、ベース部材１８の第１面１８ｃに設けられた溝に埋め込まれた導電材料からなる第１電極３８と、ベース部材１８の第１面１８ｃと対向する第２面１８ｂに設けられた溝に埋め込まれた導電材料からなる第２電極４０と、ベース部材１８の第１面１８ｃと第２面１８ｂとに垂直な第３面１８ｅに設けられ、第１電極３８と第２電極４０とを電気的に接続する配線２８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット用ヘッド基板のノズルが多くなり、長尺化又は縮小化していくと、基板の表面に形成された感光性樹脂の影響で、引っ張り方向で基板の変形が起こり、ノズル剥がれや吐出口の変形、さらにはインクの吐出方向が定まらず印字に悪影響を与えてしまうという課題があった。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドのノズルやインク供給口を形成する過程で、裏面に異なるパターンの樹脂層を２層作製し、ウエハの反りを防止して、基板上部にあるメンブレンの割れを防止する。最終的には２層ある裏面の樹脂層のうち１層は途中工程で除去し、インジェクト記録ヘッド用基板としては裏面の樹脂層が１層になる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電体素子やインクジェット式記録ヘッドを製造する。
【解決手段】電気機械変換作用を示す圧電体素子を製造する圧電体素子の製造方法であって、圧電性材料に当該圧電性材料に含まれる鉛の量に対して７０乃至１３５ｍｏｌ％の高分子有機化合物を含有させ前駆体を生成する工程と、前駆体を所定の厚みに塗布する塗布工程と、塗布された前駆体を乾燥させ脱脂する乾燥・脱脂工程と、を所定回繰り返し、複数積層された前駆体を同時に熱処理して結晶化させて圧電体薄膜を複数積層する工程と、積層された圧電体薄膜上に上部電極膜を形成する工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性を向上した圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に最上層がイリジウム６４からなる下電極６０、チタン層６５、圧電体層及び上電極を順次積層して圧電素子を形成する際に、表面の水接触角が４０°以上の前記チタン層６５上にＭＯＤ法により前記圧電体層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 吐出室等の加工精度が高く、また歩留まりの高い液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】 所定の加工が施されたガラス基板２ａにシリコン基板１ａを陽極接合した後に、該シリコン基板１ａを薄板化する工程と、該薄板化されたシリコン基板１ａの片面に窒化シリコン膜５１を形成した後に、該窒化シリコン膜５１の一部を除去して複数の開口部を形成する工程と、薄板化されたシリコン基板１ａの窒化シリコン膜５１上及び複数の開口部にＴＥＯＳ膜５２を形成する工程と、複数の開口部のうち、一部の開口部に形成されたＴＥＯＳ膜５２を除去する工程と、ＴＥＯＳ膜５２が除去された開口部からシリコン基板１ａをエッチングする工程と、残りのＴＥＯＳ膜５２を除去し、複数の開口部からさらにエッチングを行う工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 駆動時の耐久性を向上すると共に圧電素子の配列密度を高密度にすることができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０上に振動板を介して設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記下電極６０が複数の圧電素子３００に亘って連続して設けられていると共に、少なくとも前記圧電素子３００の間の領域の前記下電極６０の端部近傍に他の領域よりも薄い薄肉部６１を設ける。 （もっと読む）

【課題】被覆樹脂層を平坦に形成し、且つ、ゴミやインクカスの発生が少なく、コスト、歩留まりを上げることなく信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】発熱抵抗体が形成された基板の基板面に対して、垂直方向にインク吐出口よりインク液滴が吐出されるインクジェット記録ヘッドの基板上に、溶解可能な樹脂層により前記吐出口に連通するインク流路を形成するための型材とともに前記型材の周辺の少なくとも一部と所定間隔を開けた前記基板上の位置に土台を形成し、前記型材と土台となるパターン上に平坦な樹脂層を形成した後に、前記型材と土台を構成した溶解可能な樹脂層を全て除去して成るインクジェット記録ヘッドとして、土台となった前記溶解可能な樹脂層を除去するための前記被覆樹脂層に設けられた開口部が、前記吐出口と異なる面に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても長時間安定した吐出が可能であるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、インク吐出圧力発生素子上方にインク吐出口をフォトリソグラフィーにて形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を溶出し、インク流路を形成する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インク流路壁となる被覆樹脂層が有機フィラーを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 膜面方向に加えられる外力に対する耐久性が高い圧電素子、圧電素子の製造方法、及び上記のような圧電素子を用いた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 基板ホルダ８４には、圧電膜が成膜される基材８２が載置される。基板ホルダ８４は、基板ホルダ駆動部８６によって駆動され、基材８２とターゲット材９６とのなす角度θが可変になっている。また、基板ホルダ８４は、基板ホルダ駆動部８６によって、ターゲット材９６に対して略垂直な回転軸ＡＸ周りに回転可能となっている。これにより、柱状の結晶体が集まった構造の圧電膜を成膜する際に、結晶体の基材８２に対する傾斜角を制御できる。 （もっと読む）

サーマルインクジェットヘッドは、抵抗体（１３０）から放散されインクを気化させずに基板（１２２）内を伝わる熱の一部分を冷却するために使用されるフィン（３５０）や突起（６５０）などの拡張面要素を備える。このヘッドは、光ビームと異方性エッチングを使用して製造される。 （もっと読む）