【課題】圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、上電極８０から圧力発生室１２の周壁上に延設される第１のリード電極９０とを少なくとも有すると共に、圧電素子３００と第１のリード電極９０との間に無機絶縁材料からなる第１の絶縁膜１００が設けられ、少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０のパターン領域が第１のリード電極９０の他端部に設けられる端子部を除いて無機絶縁材料からなる第２の絶縁膜１１０によって覆われているようにする。 （もっと読む）

【課題】長尺化したインクジェットヘッドにおいて、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子１が形成された基板２上に信頼性のある液流路を形成するために、液状光カチオン硬化型エポキシ樹脂組成物は、少なくとも脂環式エポキシ樹脂とビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とシランカップリング剤と硬化剤とからなる構成とし、その主剤である脂環式エポキシ樹脂に、平均分子量９００〜６００００のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を１０〜４５ｗｔ％混合させることにより、被膜樹脂の応力を緩和させる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な工程を経ることなく、所望のギャップの距離を得るアクチュエータ、静
電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッド並びに製造方法を得る。
【解決手段】 駆動部となる電極８を有する電極基板２と、電極８による静電引力が
加わると変位する振動板４を有するキャビティ基板１と、電極基板２とキャビティ基板１
との間に、振動板４を変位させるための所望の厚さを有する空間を形成するためのスペー
サ９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ノズルピッチを小さくしても、駆動回路部（ドライバＩＣ）と駆動素子（圧電素子）とを接続する際の作業性を低下させることなく接続作業を行うことができ、優れた信頼性を有し、かつ歩留まりよく製造できる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは液滴を吐出するノズル開口１５に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の外側に配設されて該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、該圧電素子３００を挟んで前記圧力発生室１２と反対側に設けられたリザーバ形成基板２０とを備え、前記リザーバ形成基板２０上に前記圧電素子３００に電気信号を供給する駆動回路部２００Ａが設けられており、前記駆動回路部２００Ａと前記圧電素子３００の上電極膜８０とを電気的に接続するための導電部材３６が、前記リザーバ形成基板２０を厚さ方向に貫通する接続孔２０ａ内に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

クロストークの発生を防止でき且つ安定した液体吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１をリザーバ部３２の圧力発生室１２側の端部近傍まで延設し、圧力発生室１２側に連通してその圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成された液体供給路１４と、この液体供給路１４と連通部１３とを連通すると共に液体供給路１４の幅より大きい幅で形成された連通路１００とを隔壁１１（壁部１１ａ）により圧力発生室１２毎に区画して設けることにより、クロストークの発生を防止でき、安定した液体吐出特性を得ることができる。
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【課題】液滴の飛行曲がりを防止して印刷品質を著しく向上することができるノズル形成部材及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズルが開口するノズル面がシリコン単結晶基板で形成されるノズル形成部材の、少なくともノズルの開口周縁の表面粗さ（Ｒａ）が０．１μｍ以下であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 個々のパーツへの分割の際には容易に切断することができ、且つ、通常の取り扱い時には不用意に割れ難くすることが可能なブレイクパターン形成方法、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 表面３７を（１１０）面としたシリコンウェハーに、（１１０）面上であって、該（１１０）面に直交する第１の（１１１）面４２の面方向に横切断線Ｌ１を設定し、エッチングによって、第１の（１１１）面４２を長辺とし、この第１の（１１１）面４２に交差すると共に（１１０）面に直交する第２の（１１１）面４３を短辺とした貫通孔４０を横切断線Ｌ１上に開設し、貫通孔の形成過程において、シリコンウェハーの厚さ方向の貫通後、（１１０）面に対して傾斜した第３の（１１１）面４４の縁が貫通孔の鋭角部４６の頂点Ｖに至る前に、エッチングによる浸食を停止させることにより、貫通孔の鋭角部に第３の（１１１）面４４で構成される残存部４７を形成した。 （もっと読む）

【課題】 液相法において、組成制御性がよく、しかも鉛などの金属成分の再利用が可能な強誘電体形成用の前駆体組成物、該前駆体組成物の製造方法、および前駆体組成物を用いた強誘電体膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】 強誘電体を形成するための前駆体を含む前駆体組成物であって、前記強誘電体は、一般式ＡＢ_１−ｘＣ_ｘＯ_３で示され、Ａ元素は少なくともＰｂからなり、Ｂ元素はＺｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなり、前記前駆体は、少なくとも前記Ｂ元素およびＣ元素を含み、かつ一部にエステル結合を有し、前記前駆体は、有機溶媒に溶解もしくは分散され、前記有機溶媒は、少なくとも、第１のアルコールと、該第１のアルコールより沸点および粘度の高い第２のアルコールとを含む。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を低減させて貫通孔を形成することができる薄膜基板の穴開け方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜基板の貫通孔が形成される貫通孔形成領域内の少なくとも外周の剛性を他の領域よりも相対的に低下させる工程と、前記薄膜基板の一方面に弾性変形可能な剥離膜を形成する工程と、前記剥離膜を前記薄膜基板から剥離することにより前記貫通孔を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高精度印字記録が可能で、且つ信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、表面にインク吐出エネルギー発生素子１が形成されたシリコンからなる素子基板２と、インク吐出エネルギー発生素子１の垂直上方に対応する部分にインク吐出口６が形成された薄く平坦な無機基板４を有する。さらに、素子基板１と無機基板４を接着するとともに、インク吐出エネルギー発生素子１を含んでインク吐出口６に連通するインク流路１４を形成する壁となる感光性材料層３とを備えている。無機基板４は感光性材料層３が形成された素子基板１に貼り合わされた後、インク吐出口６が形成される。 （もっと読む）

【課題】 ノズル等へのゴミ、異物等の進入を防止することのできるフィルターをインク供給部と同時に形成することのできる、安価で良好な歩留りを得られるインクジェット記録ヘッド、及びその製造方法の提供。
【解決手段】 インク吐出口へのゴミや異物の進入を防止するため、シリコン基板にインク供給部を異方性エッチングによって形成する際に、シリコン基板の裏面に設けた耐エッチングマスクと耐エッチングマスクを保護する保護膜で構成されるフィルターを、該エッチングと同時に形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、簡単な構成で、インク漏れや混色を防止できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
インク通路部材と天板の間の接合面に封止部材を設け、インク通路部材と天板を接合した後、インク通路部材と天板の間に荷重をかけ、封止部材がインク通路部材と天板の対向面からはみ出すようにする簡便な製造方法で、インク流路が確実に外部から遮断され、また、インク流路内に封止部材が過剰にあふれ出してインク流路をふさぐことがないインクジェットヘッドを得ることで課題が実現できる。
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【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、前記インク流路構成部材を、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で形成する。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を含む液体吐出ヘッドを高精度に形成する。
【解決手段】 シリコン基板７に半導体を作り込み、第１の配線層を形成して一部を犠牲層とする。シリコン酸化膜（層間絶縁膜）１３を形成し、発熱抵抗体１４と第２の配線層１５を形成してヒーター３を作る。犠牲層上では第２の配線層１５を除去し発熱抵抗体１４のみを残す。保護用のシリコン窒化膜１６と耐キャビテーション用のタンタル膜１７を形成してパターニングする。この半導体基板１に樹脂基板２を積層し、犠牲層を除去し供給口５を形成する。供給口５内のメンブレン膜のシリコン酸化膜１３をウェットエッチングで除去する。発熱抵抗体１４がエッチングストッパー層となり、シリコン窒化膜１６は損傷しない。メンブレン膜の残りの部分である発熱抵抗体１４とシリコン窒化膜１６をドライエッチングで除去し、樹脂基板２に流路４と吐出口６を形成する。 （もっと読む）

【課題】 液相法において、組成制御性がよく、しかも鉛などの金属成分の再利用が可能な強誘電体形成用の前駆体組成物、該前駆体組成物の製造方法、および前駆体組成物を用いた強誘電体膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】 前駆体組成物は、強誘電体を形成するための前駆体を含む前駆体組成物であって、前記強誘電体は、一般式ＡＢ_１−ｘＣ_ｘＯ_３で示され、Ａ元素は少なくともＰｂからなり、Ｂ元素はＺｒ、Ｔｉ、Ｖ、ＷおよびＨｆの少なくとも一つからなり、Ｃ元素は、ＮｂおよびＴａの少なくとも一つからなり、前記前駆体は、少なくとも前記Ｂ元素およびＣ元素を含み、かつ一部にエステル結合を有する。 （もっと読む）

【課題】 高粘度記録液を使用した場合にはサテライト滴が不可避的に発生し、低粘度記録液を使用した場合にサテライト滴が発生しない駆動波形を用いても対応することができず、着弾位置ズレやミストが発生して画質が低下する。
【解決手段】 駆動波形は、基準電位Ｖｒｅｆから電圧Ｖａまで立ち下がる波形要素Ｓ１、波形要素Ｓ１に続いて電圧Ｖａを保持する波形要素Ｓ２、波形要素Ｓ２に続いて電圧Ｖａから基準電位Ｖｒよりも高い電圧Ｖｂまで立ち上がる波形要素Ｓ３、波形要素Ｓ３に続いて、液室の固有振動周期Ｔｃに対してＴｃ・１／２〜Ｔｃ・２／３の範囲内の保持時間Ｔｗの間、電圧Ｖｂに保持する波形要素Ｓ４、波形要素Ｓ４に続いて電圧Ｖｂから基準電位Ｖｒｅｆまで立ち下がる波形要素Ｓ５とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 マスク材に供給口の形成に悪影響を与えるようなピンホールがあったとしても、精度よくインク供給口を形成可能な、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１のインク供給口８を形成するためにマスク６が設けられる面について、異方性エッチング時にマスクで覆われる部分が、サイドエッチングの量を考慮して、ＯＳＦ層１１が設けられる部分と、設けられない部分１５とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 複雑な製造工程を必要とすることもなく、高い断熱性が得られ、低エネルギでも良好に動作する発熱抵抗素子から成る電子部品を提供する。
【解決手段】 基板上に蓄熱層を形成し、この蓄熱層上に発熱抵抗体層を形成し、この発熱抵抗体層の上に個別電極及び共通電極を形成し、この発熱抵抗体層と前記個別電極及び共通電極とを保護膜層で被覆してなる発熱抵抗素子において、前記発熱抵抗体層下には、炭素原子または炭素原子を含む分子からなるナノカーボン材料により熱遮断層を形成したことを特徴とする発熱抵抗素子。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッド用基板の剛性を高くし、基板を変形しないように工夫がなされたもので、基板が小さくなったり、基板が長尺化された場合でも良好な印字ができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】
上部と下部の２枚のＳｉ基板１，３を貼り合せた液体吐出ヘッド用基板であり、上部のＳｉ基板１にインク供給口の一部を形成する第一のインク供給口８と、ヒーター２と、インク流路２３と、インク吐出口７とが形成され、下部のＳｉ基板３に前記インク供給口の残り部分を形成する第二のインク供給口６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】インク中に存在するゴミによる吐出口詰まりがなく、また、連続して吐出を行なっても、ヘッド温度の上昇に起因する不吐出が発生し難いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクが吐出される吐出口６と、吐出口６に連通する液流路２と、液流路２に連通するインク供給口３と、液流路２内のインクを吐出口６から吐出させるためのエネルギーを発生するヒーター１１と、インク供給口３から液流路２に至るインク供給経路上に形成された供給口フィルター１とを少なくとも備えた基板８Ａを有するインクジェット記録ヘッドであって、供給口フィルター１は、基板８Ａの厚み方向にインクを通過させることが可能であり、かつ、吐出口６よりも断面積の小さな複数の貫通孔５によって構成され、該供給口フィルター１が設けられた領域の基板８Ａの厚みよりも、ヒーター１１が設けられた領域の基板８Ａの厚みの方が厚い。 （もっと読む）