【課題】圧電体と電気配線の製造プロセスの融合、圧力室部材との接合容易性、電気配線と圧電体の液体に対するシール性の確保を図り、高密度化及び高速化を達成する。
【解決手段】シリコン基板の少なくとも一部を除去し、前記シリコン基板の除去された部分に、前記圧電体を駆動するための駆動信号を供給する電気配線を形成する電気配線形成工程と、前記電気配線形成工程で少なくとも除去されない前記シリコン基板の部分の上に前記圧電体を形成する圧電体形成工程と、前記圧電体に関し、前記シリコン基板とは反対側に前記振動板を形成する振動板形成工程とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 小型で生産性が高く且つ信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の一部を構成する弾性膜（振動板）５０と、該弾性膜５０の前記圧力発生室１２とは反対側の面に配置され、前記圧力発生室１２内に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、該圧電素子３００を駆動する駆動ＩＣ（駆動素子）１２０とを備えており、前記駆動ＩＣ１２０が、前記圧電素子３００に設けられた端子にフリップチップ接合されている。 （もっと読む）

【課題】 単体では取り扱いが困難な薄膜振動板を振動素子とともに良好な形状に良好な生産性で形成できるインクジェット装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板からなる支持基板２００にシリコン酸化膜２０２と振動素子の各種層膜２０４〜２０８と薄膜振動板２１０とが順番に成膜された振動体基体２１２を作成し、構造基板１００に圧力室１１０などが形成された構造体基体１０８を作成し、構造体基体１０８と振動体基体２１２を接合してから、シリコン酸化膜２０２をエッチングストッパとしたドライエッチングにより支持基板２００を除去する。このため、単体では取り扱いが困難な薄膜振動板２１０を振動素子２０４〜２０８とともに構造体基体１０８の圧力室１１０の位置に形成できるので、微細な構造のインクジェット装置２１６を良好な精度および生産性で製造できる。 （もっと読む）

【課題】犠牲層エッチングにより形成されるギャップの封止性を改良する。
【解決手段】シリコン基板１１０上に、固定電極側絶縁膜（耐エッチング層）１１３で覆う固定電極１１２と、エッチングにより犠牲層１１９を除去することにより形成したギャップ１０２を介して、その上に振動板電極１１４ａの表裏を振動板側絶縁膜（耐エッチング層）１１５、１１８で覆う振動板１１４とを備える。振動板を支持する隔壁部分に、上記絶縁膜を貫通する犠牲層ホール１１６と、そこから導入したエッチング液によりギャップとともに、そのギャップに連通しかつシリコン基板の一部を露出するエッチング孔１０２ａとを設ける。一方、そのエッチング孔に露出するシリコン基板の一部に、エッチング孔を封止してギャップを閉塞するシリコン熱酸化膜１２０を成長形成する。そして、固定電極と振動板の振動板電極１１ａとの間に電圧を印加することにより振動板を変位する。 （もっと読む）

シリコン基板をエッチングする方法が記載される。本方法は、第１シリコン基板（２００）を犠牲シリコン基板（２４０、２４１）へ接合するステップを含む。第１シリコン基板（２００）がエッチングされる。第１シリコン基板（２００）が犠牲シリコン基板（２４０、２４１）から分離することを引き起こすために、第１シリコン基板（２００）と犠牲シリコン基板（２４０、２４１）との界面に圧力が加えられる。金属刃（６２０）を有する装置を使用すると、これらの基板を分離することができる。
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【課題】 基板の所定位置に設けたインク流路の少なくとも一部となる領域を占める溶解除去可能な固体層を、流路壁の少なくとも一部と吐出口を設けるための吐出口形成材料からなる層で被覆した状態で固体層を溶解してインク流路の少なくとも一部を形成する工程を有する方法によりインクジェット記録ヘッドを製造する際に、吐出口のインク流路への開口部におけるスカムの発生を抑制すること。
【解決手段】 吐出口形成材料として、紫外線吸収剤を含む紫外線硬化型の樹脂組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】 吐出室を高密度化しても流路抵抗が高くなるのを抑えて、液滴の吐出性能を確
保することができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出する複数のノズル孔１６が形成されたノズル基板５と、底面に
振動板１１を形成し、液滴を溜めておく吐出室１２となる凹部１２ａが形成されたキャビ
ティ基板３と、振動板１１に対向し、振動板１１を駆動する個別電極７が形成された電極
基板２と、吐出室１２に液滴を供給する共通液滴室１３となる凹部１３ａと、共通液滴室
１３から吐出室１２へ液滴を移送するための貫通孔１４と、吐出室１２からノズル孔１６
へ液滴を移送するノズル連通孔１５とを有するリザーバ基板４とを備え、リザーバ基板４
には、一方の面にノズル基板５が接合され、他方の面にキャビティ基板３が接合されてい
るものである。 （もっと読む）

【課題】 接着剤が流路等へ入り込むことがない高品質、高信頼性の液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】 素子基板とチッププレートとを接着剤によって接着結合する際、連通部から供給部へ挿入された光反射部材に、オリフィスプレート側から照射される紫外線が反射し、供給部へはみ出した接着剤に確実に当てることで接着剤を硬化させ、接着剤が供給部エッジを伝わり、流路へ入り込むことを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 基板をチッププレートに接着する際、基板の角部を伝わって接着剤が流路に流れ込むのを防止する。
【解決手段】 基板を接着する前にインク供給路の少なくとも一部に接着剤流れ込み防止部材を設けたインクジェットヘッドおよびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 減圧ＣＶＤ法によってシリコン製の天板の表面に形成された従来のＳiＮ膜は、微細な凹凸に対する追随性が良好ではなく、天板の表面の欠陥部分をＳiＮ膜にて完全に被覆することが困難であり、ＳiＮ膜に沿って流れる液体が欠陥部分で乱流を生じ、円滑な液体の流動が損なわれる。
【解決手段】 液滴を吐出するための吐出エネルギー発生部１６が所定間隔で設けられた基板３７と、個々の吐出エネルギー発生部１６を仕切るように配列する仕切り壁４１を有する仕切り部材３８と、液体が供給される液体供給穴３９を基端側に有するシリコン製の天板４０とを具え、この天板４０を仕切り部材３８を挟んで基板３７に重ね合わせ、仕切り部材３８に接合することにより先端側が吐出口２２に連通すると共に基端側が液体供給穴３９に連通する液路２１が形成された本発明による液体吐出ヘッドは、天板４０の表面が二酸化ケイ素による保護膜４５によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 吐出特性の向上を可能とした段状断面を有するノズル孔を、Ｓｉ基板を薄型化
した後に形成するに際し、工程数を低減しつつ、且つ割れなどがなく安定して製造するこ
とが可能な技術を提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板１０１と支持基板１０４とを接合した後、Ｓｉ基板１０１を薄板
化する。そしてＳｉ基板１０１において支持基板１０４との接合面とは反対側の面に、ス
パッタにより酸化膜１０５を形成した後、Ｓｉ基板１０１にドライエッチングを施して段
状断面を有するノズル孔１２を形成する。ノズル孔１２の形成では、酸化膜１０５をパタ
ーニングして第２のエッチングマスクを形成し、更にその上にレジスト１２１を塗布しパ
ターニングして第１のエッチングマスクを形成し、第１及び第２のエッチングマスクを用
いたドライエッチング加工を順次行うことで第１段目の孔１２ａ及び第２段目の孔１２ｂ
を形成してノズル孔１２を得る。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面側に振動板及び圧電素子を形成すると共に、連通部となる領域の振動板を除去して露出部を形成する工程と、配線層を露出部内の流路形成基板上に形成すると共に圧電素子に対応する領域の配線層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び露出部内の配線層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、露出部内の配線層に設けられた保護膜を除去する工程と、連通部側からウェットエッチングすることにより配線層を除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】環境に対する負荷を低減しつつ、比較的簡単に、基板に付着したパーティクルや金属不純物等の異物を安定的に除去して、キャビティ基板の製造時における歩留まりの安定化を図ることができるキャビティ基板の製造方法、キャビティ基板、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明のキャビティ基板の製造方法は、基板３３を機能水により洗浄する洗浄工程と、基板３３に対して熱処理および／または成膜処理を施す処理工程と、基板３３の一方の面側から、液体を収容するための凹部３４２を形成して、凹部３４２の形成により肉薄化された部分を振動板３１とする工程とを有する。前記機能水としては、オゾンおよび水素のうちの少なくとも１種を用いるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 圧力発生室のような凹部を比較的容易に高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及びシリコン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板用ウェハの一方面に振動板を介して圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、フッ硝酸をエッチング液として流路形成基板用ウェハの他方面側をエッチングするエッチング工程を少なくとも含み流路形成基板用ウェハを所定の薄さに形成する薄板化工程と、流路形成基板用ウェハの少なくとも他方面をオゾン水とフッ酸溶液とを用いて洗浄する洗浄工程と、流路形成基板用ウェハの他方面に所定パターンで保護膜を形成すると共に保護膜を介して流路形成基板用ウェハをウェットエッチングすることにより圧力発生室を形成する圧力室形成工程と、流路形成基板用ウェハと保護基板用ウェハとの接合体を所定の大きさに分割する分割工程とを具備するようにする。 （もっと読む）

【課題】 ノズル形成部材と撥水層の密着力が十分でなく、ワイピングに対する耐久性が低く、あるいは、密着力を向上させると、加工上十分なノズル径精度が得られなくなる。
【解決手段】 金属部材からなり、ノズル先穴６１を形成した基材としてのノズル形成部材６２の液滴吐出面側に、ポリイミド樹脂／ポリアミド樹脂層６３、有機ケイ素化合物層６４、フッ素系撥水層６５を順次積層形成し、液室側からレーザ光でノズル１４内にはみ出す部分を除去することで、径精度の高いノズル１４を形成するとともに、ノズル形成部材６３とフッ素系撥水層６５の密着力を向上して耐久性を向上する。 （もっと読む）

【課題】 ワイピング回数が増加しても、長期間にわたって撥水性能を維持することが可能とななるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インク吐出エネルギー発生素子と、流路となる部分を占有する型材とが設けられた基板上に、感光性を有するノズル形成部材および撥水部材をパターニングすることによりインク吐出口を形成し、型材を除去することによりノズル部を形成する工程を包含するインクジェット記録ヘッドにおいて、ノズル形成部材と撥水部材との間に相溶防止部材を設け、かつ、撥水部材に使用されている溶剤のSP値をA、相溶防止部材に使用されている溶剤のSP値をB、ノズル形成部材に使用されている溶剤のSP値をCとしたとき、| A - B | > | A - C | とする。 （もっと読む）

【課題】 圧力発生手段が設けられている基板の凹部に向かう液体を通過させるオリフィス部の精度を向上させ、それにより流体の抵抗値のバラツキを小さくして高精度にする。
【解決手段】 基板４３とノズルプレート４１との間に補助隔壁４８を設け、その補助隔壁４８と凹部４３ａとで液体を加圧する加圧液室４６を構成する。また、オリフィス部４０を補助隔壁４８と基板４３の凹部４３ａが形成されていない非凹部４３ｂの表面あるいはその表面を覆う薄膜状の振動板５４とノズルプレート４１の内面との間で形成される隙間部分で構成する。それにより、オリフィス部を基板４３に溝状の凹部で形成した場合に比べて、製造過程においてオリフィス部の精度がバラつきにくくなる。また、オリフィス部４０を上記の構成にすることで、製造の難易度をさほど増やすことなく、加圧液室の流体抵抗値増加を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 ワイピング回数が増加しても、長期間にわたって撥水性能を維持することが可能となり、同時に、インク滴の安定した吐出も可能となるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インク吐出エネルギー発生素子と、流路となる部分を占有する型材とが設けられた基板上に、ノズル形成部材および撥水部材をパターニングすることによりインク吐出口を形成し、エッチング液を用いてインク供給口を形成し、型材を除去することによりノズル部を形成する工程を包含するインクジェット記録ヘッドにおいて、エッチング液から撥水部材を保護するための保護層と型材を同一材料とする。 （もっと読む）

【解決手段】 特にインクジェットプリントヘッド用の、樹脂（３２）の中に作られている液圧超小型回路を、攻撃性のある液体に対して保護被覆するための工程において、ａ）基板上に堆積し、液圧超小型回路（３５、３６、３７）の内側形状を画定している銅の犠牲層（２６）を備えているシリコン基板（２０）を配置する段階と、ｂ）犠牲層（２６）の外側表面上に、電気化学処理によって少なくとも１つの保護金属被覆層（３０）を堆積させる段階と、ｃ）所定の厚さを有し、犠牲層（２６）を完全に覆うのに適している非感光性のエポキシ又はポリアミド樹脂（３２）を犠牲層（２６）の上に加える段階と、ｄ）樹脂（３２）を重合させ、機械的及び熱的応力に対するその機械的強度を向上させ、更に樹脂（３２）の外側表面（３３）を、機械的なラッピングと同時に化学的処理を施して、平坦化する段階と、ｅ）犠牲層（２６）を、強酸性溶液内で化学エッチングによって取り除く段階と、ｆ）樹脂（３２）の外側表面（３３）上に、金属の保護層（３９）を真空蒸着によって堆積させる段階と、から成る工程。
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【課題】液滴吐出ヘッドの加圧液室へ液体を供給する液体供給貫通孔を、ダイサー加工法等による切削加工とエッチング法等による方法を併用して加工することにより、高精度、高密度、高信頼性の液滴吐出ヘッドを良好な生産性で実現する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、第１の面に液体吐出機構を有する第１の基板１と、第２の基板２、第３の基板３を有する。第1の基板１には加圧液室６にインクを供給する液体供給貫通孔が、第１の面から第２の面に貫通して形成され、第１の面から所定の深さまではダイサー加工法による切削加工により形成され、第２の面から所定の深さまではエッチング加工により加工される。また、第１の面から所定の深さまではエッチング加工により加工し、第２の面から所定の深さまではダイサー加工により加工することもできる。 （もっと読む）