【課題】 吐出安定性、形状安定性、耐アルカリ性に優れた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出エネルギー発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にて液流路パターンを形成する工程と、活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂層を前記溶解可能な樹脂層上に形成する工程と、被覆樹脂層に液体吐出口を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂を除去する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記被覆樹脂が少なくとも、
（１）１分子中に少なくとも２つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂と
（２）光塩基発生剤と
（３）塩基の作用により分解して塩基を発生する塩基増殖剤と
を含む樹脂組成物であることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】エッチング槽中でシリコン基板を異方性エッチングして構造物を形成する際に行う異方性エッチングのエッチングレートを安定化し、得られる構造物の開口幅のばらつきを抑制する方法を提供すること。また、良好な吐出特性を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】エッチング槽２中に存在するエッチング液の、ＰＨ電極１０により測定される電位差を一定にする制御を行う。また、この方法を利用してインクジェット記録ヘッドのインク供給口を形成する。 （もっと読む）

【課題】インクチャンバーの開口部の幅が同一チップ内で異なるインクジェット記録ヘッドにおいて、インクチャンバーの高さのばらつきを抑える。
【解決手段】記録ヘッドは、インク供給口３を備えた基板２と、流路壁１０とインクチャンバー１２ａ，１２ｂとを有する流路構成部材８と、複数の櫛状部１５ａを備えた密着層１５とを有している。インクチャンバー１２ａ，１２の開口部１３ａ，１３ｂの、インク供給口３の延びる方向１６における幅は、少なくとも一部のインクチャンバー１２ａ，１２ｂ同士で互いに異なり、櫛状部同士１５ａの空隙部の、インク供給口の延びる方向１６における幅は略同一である。 （もっと読む）

【課題】ギャングボンディング時の熱の影響を最小限に抑え、製品の信頼性を維持しつつ、生産性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドの製造方法は、記録素子基板Ｈ１１０１を、電気接続パッドＨ１１０５の形成されていない面を支持台１０の表面に向けて、支持台１０に支持させるステップと、フライングリ−ドＨ１３０４を電気接続パッドＨ１１０５に押し付け、フライングリ−ドＨ１３０４と電気接続パッドＨ１１０５とを加熱して圧接する熱間圧接ステップとを有している。熱間圧接ステップは、支持台１０の表面のうち電気接続パッドＨ１１０５に近接する第１の領域２２への、フライングリ−ドＨ１３０４および電気接続パッドＨ１１０５からの放熱を防止しながら、または第１の領域２２を加熱しながら、残りの領域である第２の領域を除熱することを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ノズル開口の位置決め精度を向上し印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する並設されたノズル開口２１からなるノズル列２１Ａの設けられたノズルプレートを有する複数の液体噴射ヘッドと、前記ノズルプレートの前記液滴吐出面の少なくとも前記ノズル列２１Ａの両端部側に接合された接合部２５２を有する固定板２５０と、前記固定板２５０の前記液体噴射ヘッドとは反対側に設けられて前記液体噴射ヘッドを覆うカバーヘッド２４０とを具備すると共に、前記ノズルプレートには、ノズル開口２１の周縁部に撥水膜が設けられた液滴吐出ノズルと、前記ノズル列２１Ａの両端側に前記ノズル開口と同一形状を有し且つ開口の周縁部に撥水膜が設けられていない非撥水部を有するダミーノズル２２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ素子を適確に溶断させることができて信頼性の高いインクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド、およびインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】ヒューズ素子１０３の上に位置する層間絶縁膜は、ヒューズ素子１０３の材料よりも融点が低く、ヒューズ素子１０３の溶断時の熱によって空間を形成する材料によって形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド流抵抗を低減させるために、断面積をより大きくする新規な方法を提供する。
【解決手段】液体の供給口・吐出口と、該吐出口に連通する液流路と、該液流路の一部に設けられた、前記液体を吐出するための圧力を発生する吐出圧力発生部とを有し、前記供給口が、前記吐出圧力発生部を構成する吐出圧力発生素子が形成された基板に貫通口として形成され、吐出圧力発生素子が形成された面(表側の面)の上部に形成される第一の流路と、前記吐出圧力発生素子面よりも下部に掘り込まれた部分に形成される第二の液流路とが存在し、それぞれが、前記面の、前記供給口が開口する部分の側から、前記吐出圧力発生素子が形成された部分へと流路毎に延びている部分を有し、前記第一の液流路の最小幅よりも前記第二の液流路の最大幅が広いことを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体。 （もっと読む）

【課題】 表面の凹凸が比較的大きい基板に対して、焦点ずれが小さく、高精度なパターン形成を行うことが可能なパターン転写方法を提供する。
【解決手段】 本発明のパターン転写方法は、露光装置ＥＸＰを用いた光照射によってマスクＭ１に形成されたパターンを基板Ｐに転写する方法であって、露光装置ＥＸＰの焦点深度と基板Ｐの表面高さ形状とに基づいて、パターンに対して複数のブロック領域（Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，…）を設定する工程と、パターンにおける複数のブロック領域（Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，…）の各々ごとに、焦点位置を変化させながら光照射を行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供。
【解決手段】流路形成基板１０に振動板を介して圧電素子３００を形成すると共に連通部１３となる領域の振動板を除去して貫通部５２を形成する工程と、リード電極９０を形成すると共に配線層１９０で貫通部５２を封止する工程と、リザーバ形成基板３０を流路形成基板１０に接合する工程と、ウェットエッチングにより液体流路を形成する工程と、液体流路の内面に保護膜１５を形成する工程と、配線層上の保護膜を除去する工程と、配線層を除去してリザーバ部３１と連通部１３とを連通させる工程とを具備し、且つ液体流路を形成する際に、振動板側の開口縁部が貫通部５２の開口縁部よりも外側となるように連通部１３を形成して貫通部５２の少なくとも流路形成基板側の開口縁部が振動板又は配線層１９０のみで構成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の特性を向上することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも鉛成分を含む誘電体膜を構成する金属を含む有機金属化合物を含有するコロイド溶液を塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有し、前記乾燥工程は、前記誘電体前駆体膜を前記材料の主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第１の乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を１４０℃〜１７０℃の範囲で乾燥させる第２の乾燥工程とを有し、前記脱脂工程は、脱脂の温度が３５０℃〜４５０℃とされると共に、昇温レートが１５［℃／ｓｅｃ］以上とされ、前記焼成工程は、昇温レートが１００［℃／ｓｅｃ］〜１５０［℃／ｓｅｃ］とされる。 （もっと読む）

【課題】振動板と対向電極との間の残留電化影響の低減を実現して、安定した駆動が可能
な静電アクチュエータを提案する。
【解決手段】シリコンからなる振動板１２と、振動板１２にギャップ１０を隔てて対向し
振動板１２との間で電圧が印加される対向電極１７と、振動板１２の対向電極１７との対
向面に形成された絶縁層１６とを備え、絶縁層１６が、振動板１２に成膜された酸化シリ
コンよりも比誘電率が高い物質からなる誘電体層１６Ｂと、誘電体層１６Ｂに成膜された
誘電体層１６Ｂより表面電荷密度の抑制率の高い表面層１６Ｃとの積層構造となっている
静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】 電気配線テープを折り曲げ無いことにより、電気不良の発生を防止することができ、電気配線テープを折り曲げる際、第１のプレートの側面への接着固定に使用していた第４の接着剤の削減が可能となり、電気配線テープと電気コンタクト基板との電気接続部分にて使用している第３の封止剤と第４の封止剤の異なる２種類の封止剤において、電気接続部分の裏側からの封止に用いられている第３の封止剤の削減が可能となることにより、電気信頼性が高く、生産性を向上させることができる液体吐出記録ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 電気配線テープと電気コンタクト基板の電気接続を、電気配線テープが配置されている面と電気コンタクト基板が配置されている面の角部にて行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドに実装される電気配線テープの接続不良検出の信頼性を高める。
【解決手段】 一端が第１の共通配線に接続され、他端が第２の共通配線に接続された複数の電気熱変換素子を有する回路が、電気配線テープを介して電気コンタクト基板に接続された記録ヘッドＨ１００１の検査装置であって、少なくとも２つの電気熱変換素子について、該各素子をそれぞれ単独に駆動する第１の駆動制御および該各素子を同時に駆動する第２の駆動制御を行う制御部１と、上記電気コンタクト基板を通じて、上記回路に定電流を供給して上記第１および第２の共通配線間に発生する電圧を測定する測定部２と、上記定電流の値と上記第１の駆動制御が行われた状態で測定部１にて測定された電圧および上記第２の駆動制御が行われた状態で測定部１にて測定された電圧とに基づいて上記電気配線テープの接続抵抗を演算する演算処理部３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 チップマウント接着剤のノズル部への入り込み防止を可能にする液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッド製造方法の提供。
【解決手段】 チップ裏面のインク供給口の周りにハイマルで土手を形成し、チップとチッププレートを接着する際、土手の作用でチップマウント接着剤がインク供給口へ入り込むことを防止する液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッド製造方法。 （もっと読む）

【課題】配線が狭ピッチ化しても半導体素子を実装することが可能な、液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の上面に形成され圧電素子３００に導通接続された第１配線３６と、リザーバ形成基板２０の上面に形成された第２配線３４と、リザーバ形成基板２０の側面に形成された第３配線３５と、半導体素子２００の接続端子４４とが、各配線および接続素子の表面に析出させたメッキ４６により導通接続されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板のハンドリングにおいて、吸着固定を安定化させ、傷等をつけないことにより、生産効率や歩留まり低下を防止するための静電チャック装置を提供すること。
【解決手段】液体吐出基板を静電吸着力により把持する為の静電チャック装置で、金属基盤上に接着層を介して２つの異なる電極及び、絶縁性吸着層を有し、２つの異なる電極が液体吐出基板の長辺と平行に且つ、２つの異なる電極が液体吐出基板の液体吐出口列を跨ぐ様に配置されていると共に、２つの異なる電極上に接着層を介して積層された絶縁性吸着層の２つの異なる電極間に位置する液体吐出基板吸着表面がへこんでいることを特徴とする静電チャック装置。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの昇温・温度ムラを抑制し、記録ヘッドの均熱化を図るための冷却構造および、熱変形・反り変形を抑止するヘッド構造を同時に実現する構成を提供する。
【解決手段】液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板が記録素子基板支持板上に配置され、該記録素子基板支持板はインク供給タンク部材との接合によりインク供給経路を形成されているインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板支持板の一部が、上記インク供給タンク部材内のインク流路内に露出される露出部を設けるように構成され、該露出部は該インク供給タンク部材内のインクによって記録素子基板支持板の熱を排熱するための放熱形状とする。また、この露出部形状をヘッド構造体として形成することで、同時にヘッドの熱による変形抑制、反り抑制等の機械的強度アップが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウエハから吐出素子チップを切り出すダイシングにおいて、ダイシングテープから粘着粒子が発生するのを防ぐ。
【解決手段】ウエハ１上に吐出口等を有する樹脂層７からなる吐出素子チップ１ａを形成し、切断ライン９に沿ってウエハ１をダイシングブレード５２によって切断する工程の前に、ウエハ裏面に被覆層１０を設け、切断ライン９に対応するように被覆層１０をパターニングして凹所１１を形成しておく。ダイシングブレード５２の切り込み量を、刃先がウエハ裏面の凹所１１内に位置し、かつダイシングテープ５１に切り込まないように制御することで、ダイシングテープ５１から粘着粒子が発生するのを防ぎ、しかも吐出素子チップ裏面にバリ等が発生することのない高精度なダイシングを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】接続端子及び接続部の形成ピッチが狭小化した場合にも電気的接続を行う際の作業性を低下させることなく、優れた信頼性をもって歩留まりよくデバイスを実装する。
【解決手段】基体の凹部７００に設けられた導電接続部８０と、導電接続部８０と離間して設けられるデバイス２００Ａ、２００Ｂの接続端子２００ａを電気的に接続する。一方側の第１面４１ａにデバイス２００Ａ、２００Ｂが設けられた基板部４１と、第１面４１ａよりも突出して配置された第２面４２ｂに端子電極３６ｂが設けられた突部４２と、デバイス２００Ａ、２００Ｂの接続端子２００ａと端子電極３６ｂとの間を電気的に接続する接続配線３６ｄとを有するユニット３６０を備える。突部４２が凹部７００に挿入されて端子電極３６ｂが導電接続部８０に接続される。 （もっと読む）

【課題】吐出素子基板と支持体との接合を強化し、かつ、接着剤の流れ出し等を防ぐ。
【解決手段】発熱抵抗体３を有する吐出素子基板１上に、吐出口４や流路５を有するノズル層２を形成し、吐出素子基板１の裏面側を図示しない支持体に接着する。吐出素子基板１の裏面に、接着剤を収容するための四角錐形状のピット形状部７を高密度で点在させ、くさび効果によって接着を強化するとともに、吐出素子基板１のインク供給口６や支持体の連通部へ接着剤が流れ出るのを防ぐ。 （もっと読む）