【課題】 異なる吐出量のインク液滴を吐出可能なインクジェット記録ヘッドにおいて、大型化やコスト上昇を招くことなく、効率よくインク吐出量の安定化を図る。
【解決手段】 第２の記録素子基板４０９に３つのインク供給口１３が設けられている。第２の記録素子基板４０９の両側部に位置するシアンインク吐出部とマゼンタインク吐出部に関しては、インク供給口１３を挟んでその両側に、インク吐出量の大きいノズル列１４とインク吐出量の小さいノズル列１４が設けられており、インク吐出量の小さいノズル列１４の近傍に温度調整用のサブヒータ１１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 大判のＣＰ製法のＢＪヘッドにおいて、インク供給口が長大になり機械的強度が低下するのを防ぎ、高歩留りと高品質な印字を実現する。
【解決手段】 （１００）Ｓｉ基板の垂直エッチ法を用いて、インク供給口にハリを設ける。また垂直エッチによりハリ寸法の精度を上げるため、レーザー等によるエッチング先導孔を開ける。この際にハリの寸法精度を高めるために、先導孔の位置を限定する関係式を導出した。 （もっと読む）

【課題】 駆動条件設定が容易で信頼性に優れ、好ましくはコンパクトでハンドリング性にも優れる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、回路基板２０と、ノズル１５を有するノズル基板とを積層して備えた液滴吐出ヘッドであり、前記回路基板２０とノズル基板１６との間に、前記電極を駆動するための駆動回路部が設けられており、少なくとも前記駆動回路部と電気的に接続されるフレキシブル基板５１，５２が回路基板２０の一辺端部に接続され、フレキシブル基板５１，５２と回路基板２０との接続部が、封止部材４０によって前記ノズル基板１６と回路基板２０とに挟まれた領域内に封止された構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法ＢＪヘッドの長尺化。
【解決手段】 短辺の断面が（１００）、長辺の断面が（１１０）で面方位が（１１０）のＳｉ単結晶基板に、長辺と３５．２６度をなす角度で、側面が（１１１）面で囲まれた平行四辺形のインク供給口を複数連続的に配置することによって、実質上長尺のフルマルチインクジェット基板を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲＢＴＪ製法の工程短縮。
【解決手段】 犠牲層を、ヒーターと配線の二層構成にすることによって、配線形成と同一プロセスで作製する。この二層構成の犠牲層の、下層のヒーター層の膜厚を限定することによって、Ｓｉ（１００）基板に適用可能な犠牲層が提供できる。 （もっと読む）

【課題】 優れた圧電特性を有し、且つ圧電体層と上電極との密着性が向上した圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 基板１０上に絶縁膜（弾性膜）２５を形成する工程と、絶縁膜２５上に下電極１３を形成する工程と、下電極１３上に圧電体膜１４を形成する工程と、圧電体膜１４上に第１の導電膜１５を形成する工程と、第１の導電膜１５を通して、少なくとも圧電体膜１４と第１の導電膜１５との界面にイオンを打ち込んで導電層１６を形成し、第１の導電膜１５及び導電層１６を備えた上電極形成用膜１７を構成する工程と、圧電体膜１４及び上電極形成用膜１７をパターニングし、圧電体層１８及び上電極１９を形成する工程と、を含んでなる圧電アクチュエータの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 樹脂材料でノズル形成部材を形成するときに樹脂フィルムに含まれる滑剤などの影響で異形ノズルが発生する。
【解決手段】 ノズル・液室部材３１は、予めノズル連通路５などの流路部分を形成した流路形成部材１の表面に液状樹脂材料３ａを直接塗布した後、硬化工程を経て、流路形成部材１の表面に液状樹脂材料を硬化させた皮膜からなるノズル形成部材３を一体的に形成し、流路形成部材１側からレーザ加工でノズル４となるノズル孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】 残留気泡が原因である突然の不吐による印刷途中での印刷ぬけを発生させないインクジェットプリンターを提供する。
【解決手段】 液体第２貯蔵部の流路幅Ｂと基板部の流路幅Ｗと基板の厚さｔとの関係にて、ｔ＝（Ｗ／２）×ｐただし０．１≦ｐ≦１０を満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】 駆動条件設定が容易で信頼性に優れ、好ましくはコンパクトでハンドリング性にも優れる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明のインクジェットヘッド１０は、平面的に配列された複数の電極３６を有する回路基板２０と、前記各電極に対応する複数の溝部１２ａ（圧力発生室１２）を有する流路形成基板１１１と、前記各圧力発生室１２に対応するノズル１５を有するノズル基板１６とを積層してなり、前記回路基板２０上に配列形成された各電極３６から接続端子３４が延出形成され、前記各電極３６と平面的に重なる位置に前記流路形成基板１１１が配置されており、前記各接続端子３４が、前記流路形成基板１１１の外側まで延出されて駆動回路部２００Ａと電気的に接続された構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＲ製法のヒーターボードプロセスの低温化、低コスト化。
【解決手段】 エッチングストップ層として、プラズマＣＶＤのＳｉＮおよびＳｉＯＮ膜を用いて、ヒーターボードプロセスの低温化を図る。本件では、このプラズマＣＶＤ膜の組成および応力等の規定を行っている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板に形成されるボロンドープ層の厚みのバラツキを小さくし、シリ
コン基板及びダミーシリコン基板の拡散源への貼り付きを防止すること。
【解決手段】 振動板が高濃度ボロンドープ層を有するシリコン基板１に形成されるよう
にした静電アクチュエータの製造方法において、ボロンを主成分とする固定の拡散源５１
及び拡散源に対して順次配置された少なくとも２枚のダミーシリコン基板５３を第１のセ
ットとし、拡散源及び拡散源に対して順次配置されたシリコン基板４１、ダミーシリコン
基板５３を第２のセットとし、縦型炉内の上下方向の最上位置及び最下位置に第１のセッ
トをそれぞれ配置し、最上位置と最下位置の間の中間位置に１又は複数の第２セットを配
置した状態で、第２セットの各シリコン基板に拡散源より高濃度のボロンを熱拡散させて
高濃度ボロンドープ層を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出特性の低下を防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、このノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の前記圧力発生室１２に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室１２内に液滴吐出のための圧力を付与する圧電素子３００とを具備し、前記ノズルプレート２０と前記流路形成基板１０とが接着剤２２を介して接合されると共に、前記圧力発生室１２の長手方向の前記ノズル開口２１が形成されている側の周壁に段差面１５が形成され、且つ前記ノズル開口２１の少なくとも一部を、前記段差面１５の前記周壁側の一端部よりも他端部側となるように配置する。 （もっと読む）

【課題】ローコストのインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】外部から液体が供給される供給口と、該液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通し、前記供給口から供給された前記液体を前記吐出口へと導く流路と、該流路の一部に設けられた、前記液体を吐出するための圧力を発生する少なくとも１つの吐出圧力発生部とを有し、前記供給口が、前記吐出圧力発生部を構成する吐出圧力発生素子が形成された基板に貫通口として形成されるインクジェットヘッドの製造方法として、前記インクジェットヘッドを作製する際に使用されるアライメントマークが、最終的に前記供給口が形成される領域に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動板に圧電素子を接合するヘッドで高密度配置を行うと、流路板やノズル板が変動して相互干渉が発生し、画像品質が低下する。
【解決手段】 液室６の壁面を構成する振動板２と圧電素子１２とを連結する連結部１１は、振動板２側の第１層１１ａと圧電素子１２側の第２層１１ｂの２層構造とし、圧電素子１２側の第２層１１ｂの液室長手方向長さＬｐを振動板２側の第１層１１ａの液室長手方向長さＬｍよりも長く形成して、振動板２側と圧電素子１２側で液室長手方向長さを異ならせることで、振動板２の剛性を維持しつつ圧電素子１２と流路板１との距離を相対的に長くすることで、高密度配置を行ったときでも圧電素子１２による変位が流路板１に伝わりにくくした。 （もっと読む）

【課題】 撥水層の耐ワイピング性が十分でなく、安定した撥水性を長期にわたって維持することができない。
【解決手段】 ノズル板３は、高剛性部材３１上にポリイミドフィルムなどの樹脂部材３２を接着剤３３を介して接合することでノズル４を有するノズル形成部材３０を構成し、このノズル形成部材３０を構成する樹脂部材３２の表面に結合層であるＳｉＯ_２薄膜層３４とフッ素系撥水層３５とを交互に順次積層した多層構造の撥水処理層４０を設けている。 （もっと読む）

【課題】 吐出面が１平面で、２段の断面形状のノズル孔を有するインクジェットヘッドのノズルプレートを簡単に形成可能な製造方法を提供する。
【解決手段】 吐出面が１平面で、２段の断面形状のノズル孔を有するインクジェットヘッドのノズルプレートにおいて、第２のノズル孔とインク供給口を異方性ドライエッチング加工する工程と、前記異方性ドライエッチング加工をした面に酸化膜を形成する工程と、前記異方性ドライエッチング加工をした面とは反対の面から、第１のノズル孔を異方性ドライエッチング加工し第２のノズル孔と第１のノズル孔とを開孔させる工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 接続用電極の形成工程が簡単で製造コストが低く、高密度化およびスペース効率向上が可能な半導体素子を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１上に、絶縁層間膜２、発熱抵抗体３、アルミニウム配線層４、絶縁層間膜５、保護膜６、密着向上層７が形成され、さらに、切断ラインをまたいで設けられた溝の内面に、電解めっきにより金めっき層が形成されている。インク吐出口１３とインク流路１４を有する有機膜１２が形成されている。金めっき層が接続用電極１０を構成しており、半導体素子の切断端面と同一面の位置または当該切断端面よりも内側に入り込んだ位置に設けられて、外部に露出している。この接続用電極１０に、例えばＴＡＢリード１６などの外部導電部材が接続される。 （もっと読む）

【課題】段状断面のノズルを効率良く、簡単に形成可能な噴射装置のノズル形成方法を提案すること。
【解決手段】シリコン単結晶基板にエッチングを施して、ノズルを形成する噴射装置のノズル形成方法において、シリコン単結晶基板の表面にレジスト膜を形成し、ノズルの後端側に対応する部分のレジスト膜を取り除くことにより第１の開口パターンを形成し、ノズルの先端側に対応する部分のレジスト膜を取り除くことにより、第１の開口パターンより小さな第２の開口パターンを形成し、第１、第２の開口パターンによって露出されたシリコン単結晶基板表面の露出部分に対して異方性ドライエッチングを施して、後端側から先端側に向けて階段状に断面が小さくなったノズルを形成する。 （もっと読む）

【課題】 液滴を吐出する記録ヘッドを備える画像形成装置におけるデータ信号の転送速度の高速化、信号線数の低減化を図るまでに至っていない。
【解決手段】 印字制御部ＡＳＩＣ３０５の画像データを出力する出力ドライバとして差動型の出力ドライバ（差動ドライバ）３１１を使用し、キャリッジ３側の各Ｋ，Ｃ，Ｍ，Ｙヘッドデータ受信回路３０２ｋ，３０２ｃ，３０２ｍ，３０２ｙには差動レシーバ３１２を搭載し、印字制御ＡＳＩＣ２０５からキャリッジ３側の各ヘッドデータ受信回路３０２にＦＦＣケーブル１２Ｂを介して画像データ信号は差動の電気信号として転送する。 （もっと読む）

【課題】 長尺化したインクジェットヘッドにおいても、被覆樹脂の剥離を防止する。
【解決手段】 土台を除去するための被覆樹脂に設けた貫通口の形状を、基板面側を狭く、被覆樹脂層表面側を広くすることにより、剥離の起点を無くす構成とする。 （もっと読む）