【課題】 ノズル形成後にノズル孔径を調整して精度良くノズル孔径を製作できる液滴吐
出ヘッドの製造方法及びその方法で製造した液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 複数のノズル孔と、ノズル孔の各々に連通する独立した吐出室と、吐出室
の一部を構成する振動板とを備え、振動板の変形を利用してノズル孔より吐出室内の液滴
を吐出させる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、（１）液滴を吐出する複数のノズル孔
を形成したノズルプレートに熱酸化により熱酸化膜を形成する工程と、（２）熱酸化膜を
エッチングにより剥離する工程と、を有し、（１）及び（２）の工程を複数回繰り返すも
のである。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドを大型化することなく、高速かつ高画質の画像形成が可能な液体噴射記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク供給口４を挟んで、一方は大液滴を吐出する大ノズル１が、他方にはそれより小さい中液滴および小液滴を吐出する中ノズル２および小ノズル３が配置されている。小ノズルの数を中および大ノズルの数より多くすることで、小ノズルによる高品位で高速な印字を実現するとともに、中ノズルと小ノズルによるフォト高速印字、大ノズルによる高速印字を実現する。 （もっと読む）

【課題】段差を有する液室形状のインクジェット記録ヘッドの材料選択を容易にする製造方法を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子２に対向する位置に設けられたインク吐出口９と、インク吐出口９に連通するとともに内部に電気熱変換素子２を備える液流路１３と、電気熱変換素子２を保持する素子基板１とを有する本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、電気熱変換素子２を形成した素子基板１上に溶解可能な樹脂により液流路１３のパターンの型材層３となる樹脂を塗布する工程と、型材層３の上層パターンを形成するためのマスク材となる樹脂を塗布してレジスト層４を形成し、パターニングしてパターン層５を形成する工程と、パターン層５をマスクとして、ドライエッチングによるエッチバック法を用いて型材層３に型材パターン７を転写形成する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１は，基板２と、基板２の上方に形成されたバッファ層５と、バッファ層５の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層６と、を含み、バッファ層５は、ｃ軸（００１）に優先配向しているＹＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_７−δからなり、δは，０≦δ≦０．６の範囲である。 （もっと読む）

【課題】 目的とするインク流路を高スループットで形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 エネルギー発生素子を有する基板の表面上に、第１のポジ型レジスト層２を形成する工程と第２のポジ型レジスト層３を形成する工程と、該ポジ型レジスト層２および３の所定領域をフォトリソ過程により除去する工程と、該構造が形成された基板の表面上に、分子間架橋可能なネガ型レジスト層を形成する工程と、該ネガ型レジスト層の所定部分にインク吐出口を形成する工程と、前記ポジ型レジストを除去する工程と、を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記第１のポジ型レジストと第２のポジ型レジストが１．共にカルボン酸の無水物構造を有するアクリル系樹脂を主成分としていること２．互いに異なる波長域に感光性能を持つ感光剤を有していることである。 （もっと読む）

【課題】 振動板の厚み制御性がよく、ＳＯＩウェーハを用いず、また熱工程に影響されない、圧電膜型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧力発生手段と振動板構造体を中間転写体上に形成する工程と、中間転写体上の圧力発生手段及び振動板構造体と第２の基板を接合する工程と、中間転写体を圧力発生手段と振動板構造体から剥離する工程によって製造する。また、中間転写体はシリコン基板とする。また、中間転写体はシリコン基板であり、且つ、多孔質層を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 微細構造を高精度で形成することができるシリコン構造体製造方法、モールド金型製造方法、シリコン構造体、インクジェット記録ヘッド、画像形成装置、及び、半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 パターンニングされた酸化膜１１４が形成されたシリコン基板にトレンチエッチングを行い、壁部１２２で区画された溝１１８を形成する。更に、酸化膜１１４を除去する。更に、壁部１２２の上部に形成されているバリ１２１を全面にドライエッチングにすることにより除去する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドのノズルへのゴミ、異物の進入を抑制すると共に、そのための構造を、安価で、高い信頼性で製造し、機能させる。
【解決手段】Ｓｉ基板１の表面上には、インクを吐出させるためのエネルギーを発生するインク吐出エネルギー発生素子２が形成されている。このＳｉ基板１は、裏面側から表面側にインクを流通させるインク供給口５を有している。インク供給口５は、Ｓｉ基板１に形成された複数の微細な貫通穴を有するフィルター構造６ａを備えている。 （もっと読む）

【課題】大規模な高集積ヘッドを実現し、その製造と組み立て実装方法も容易に量産化できるインク噴射記録ヘッドの製造方法および記録装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板１の一面上に複数個の発熱抵抗体３の各々と配線接続される駆動用集積回路２を形成し、同じ面上に複数個の発熱抵抗体の各々の薄膜抵抗体と薄膜導体４を形成し、駆動用集積回路および複数個の発熱抵抗体が形成されたＳｉ基板上に隔壁層８を設け、このＳｉ基板の一面に複数個の個別インク通路を連通するインク溝１４を形成するとともに、インク溝とＳｉ基板の他面とを連通する少なくとも１個の連結穴１５を形成する際に、インク溝および連結穴を、同時にＳｉ基板に形成する、もしくは、インク溝を、駆動用集積回路、発熱抵抗体列および隔壁層が形成されたＳｉ基板に形成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルカバーを設けることで構成が複雑になりコストが高くなるとともに、用紙送りの際にノズルカバーとノズル板の隙間に用紙が挟み込みまれ送紙不良が生じることがある。
【解決手段】 フレーム部材３は、開口部３１を形成した箱蓋形状をなし、内部には各液室６に記録液を供給する共通液室１８を形成し、フレーム部材３の開口部３１の周縁部３２を、流路板１１のノズル板接合面側の周縁部に接着剤により接合することで、流路板１１のノズル板接合面側の周縁部がフレーム部材３の開口周縁部３２で覆われている構成とした。 （もっと読む）

【課題】流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層とそれを被覆する吐出口形成材料層とを用いた液体吐出ヘッドの製法において、吐出口部で、これらの層が直接接する界面領域でのスカムの発生が無く、小液滴の精度良い吐出を可能とする液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層３とそれを被覆する吐出口形成材料層４とを用い、固体層を除去することで前記エネルギー素子および前記吐出口に連通した流路を形成する液体吐出ヘッドの製法において、前記被覆層を形成する材料として、カチオン重合性化合物と、光カチオン重合開始剤と、光カチオン重合阻害剤と、を含む材料を用い、該固体層の、前記被覆層の前記吐出口が形成される個所との境界部分を形成する材料として、メタクリル酸とメタクリル酸エステルの共重合体を含む材料を用いる。 （もっと読む）

【課題】吐出口部でスカム発生が無く、小液滴が精度良く吐出可能な液体吐出ヘッドの製造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子２が配置された基板１上に流路を形成するための固体層３を設ける工程と、固体層が設けられた基板上に固体層を覆う被覆層４を形成する工程と、固体層上に形成された被覆層に液体を吐出するための吐出口７をフォトリソグラフィプロセスで形成する工程と、固体層を除去することでエネルギー発生素子および吐出口に連通した流路を形成する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、被覆層を形成する材料はカチオン重合性化合物と光カチオン重合開始剤と光カチオン重合阻害剤とを含み、固体層の、被覆層の吐出口が形成される個所との境界部分を形成する材料は無水メタクリル酸とメタクリル酸エステルとの共重合体を含む。この方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

マイクロ電子機械デバイス内にノズルを形成する技術が提供される。ノズル（４６０、５６６）は、層（５００）がデバイスの別の部分（４４０）上にボンディングされる前に、その層（５００）内に形成される。ボンディング前に、層（５００）内にノズル（４６０、５６６）を形成すると、所望の深さと所望の幾何学的形状を有するノズル（４６０、５６６）を形成することができる。ノズル（４６０、５６６）に対して、特定の幾何学的形状を選択すると、インク流れの抵抗を減らし、マイクロ電子機械デバイスにわたるノズル（４６０、５６６）の均質性を改善できる。
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【課題】 長尺なインク供給口を有する構造であっても、特別の工程や補強部材を必要とすることなく優れた機械的強度を有する記録ヘッド用基板および記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 記録ヘッド５０は、結晶方位が＜１１０＞面のシリコン基板１と、その表面側に配置され複数の吐出口７が形成された被覆樹脂層５とを有している。シリコン基板１には、複数個の共通液室８が吐出口７の配列方向に沿って形成されており、それぞれの共通液室８の開口部であるインク供給口１０はシリコン基板１の表面側で実質的に１つのインク供給口となるように構成されている。共通液室８は、上部液室８ａと下部液室８ｂとで構成されており、隣接する共通液室８同士の間には、シリコン基板１を残すことによって形成された梁構造部２０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高密度なインク流路形成用のパターンを高精度に形成する。
【解決手段】 インクを吐出するためのエネルギーを発生するインク吐出エネルギー発生素子２が形成された基板１上にインク流路形成用のパターンをなす溶解可能な樹脂からなるレジスト層４を形成する工程と、レジスト層４上に熱収縮するオーバーコート材５を塗布する工程と、オーバーコート材５を熱収縮させる工程と、レジスト層４上からオーバーコート材５を除去する工程と、レジスト層４上にインク流路壁をなす被覆樹脂層６を形成する工程と、レジスト層４を溶出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドの製造時や使用時に発生するゴミなどの異物による吐出不良を抑制する、記録ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１上に蓄熱層としてシリコン酸化膜１６を形成し、次いで、酸化膜１６上に、インク供給口８と連通する複数の貫通孔１７を形成する。また、酸化膜１６上に発熱体２を形成すると共に、酸化膜１６上に保護層としてシリコン窒化膜１８を形成する。次いで、保護層の上に、流路構成部材である被覆樹脂層５を形成すると共に、基板１に、インク供給口８を基板裏面側から形成する。シリコン窒化膜１８の一部を、シリコン酸化膜１６をマスクとして、除去することで複数の貫通孔からなるフィルタが形成される。 （もっと読む）

【課題】 段状の液体流路を有する液体吐出記録ヘッドの製造において型材の材料選定を容易化させ、製造コストを抑えることが可能な液体吐出記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 ヒータ２が形成された素子基板１の上面に、インク流路の型材として流路樹脂層１１を単一の層で形成する。次いで、流路樹脂層１１上にマスク部材１２を形成してパターニングする。次いで、マスク部材１２をマスクとして、流路樹脂層１１を上面側からドライエッチングして部分的に薄膜化する。その後、素子基板１の上面を部分的に露出させるために流路樹脂層１１をパターニングし、その流路樹脂層１１を覆うようにノズル部材となる流路形成部材１５を形成し、流路樹脂層１１を溶解除去して記録ヘッドのインク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータを構成する基板同士を高精度で位置決めして接合できる基板の接合方法、この接合方法を用いた液滴吐出ヘッドの製造方法、この製造方法を用いて製造された液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 電極部８を有するガラス基板１の接合面に形成された第１のアライメントマークとしての凹部１５と、振動板部が形成される前のシリコン基板２に形成された第２のアライメントマークとしての凹部１６とをガラス基板１の背面から可視光カメラ５０を有する光学系で観測しながら位置合わせする。そしてガラス基板１とシリコン基板２とを陽極接合した後に、凹部１６を基準としてシリコン基板２に異方性エッチングで振動板部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 吐出不良を防止でき且つ流路形成基板の破壊を防止できる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 流路形成基板１０のノズルプレート２０側の面に、圧力発生室１２の列１３の周囲の少なくとも一部に連続的に設けられると共に流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着する接着剤２５が入り込んだ溝部１６を有し、且つ溝部１６が少なくともその一部に流路形成基板を貫通しない非貫通部を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 カルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂を用いたポジ型感光性樹脂組成物の露光感度を向上させるととも、感光波長の選択幅を広げること、更には、このポジ型感光性樹脂組成物を用いることで基板から吐出口方向への高さ方向に形状が変化するインク流路を精度良く、かつ効率良く形成できるパターン形成方法及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくともカルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂と光酸発生剤とを用いてポジ型の感光性樹脂組成物を調製する。 （もっと読む）