【課題】樹脂層と金属層からなる振動板の位置決めピン孔と液供給孔をプレス加工して高精度な位置決めを可能にするとともに、樹脂のカスやバリによるノズルダウンを防ぐ。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１の金属層３１と樹脂層３２が積層された振動板１２の位置決めピン孔３４を金属層３１の方向からプレス加工し、液供給孔３５を樹脂層３２の方向からプレス加工して、ノズルプレート１３と流路板１１に対する位置決め精度を向上させるとともに、樹脂のカスやバリが液供給孔から加圧液室内に異物として混入することを防いで、ノズル詰まりを防止して安定して液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】強度が高く、変形や反りが発生しにくい記録ヘッド基板を提供する。
【解決手段】共通供給口９ａ、共通供給口９ａに連通する複数の独立供給口１１ａ及び各独立供給口１１ａに連通する複数のインク流路４ａを有する。また、各インク流路４ａに連通する複数の吐出口６ａ及び各吐出口６ａから液滴を吐出させるためのエネルギー発生素子を有する。吐出口６ａ、インク流路４ａ及びエネルギー発生素子は基板上に形成され、共通供給口９ａ及び独立供給口１１ａは基板内に形成されている。インク流路４ａは、基板表面と平行な方向に延在し、独立供給口１１ａは、基板表面と直交する方向に延在し、独立供給口１１ａはインク流路４ａよりも長い。 （もっと読む）

【課題】オリフィスの縁に張り出すような異物が発生せず、またインク流路壁幅が縮小した場合においても、インク流路壁の剥離を抑え、安定したインク吐出が可能であるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドのインク流路壁の少なくとも一部を、エポキシ樹脂と、アルコール系溶剤と、下記式（Ｉ）に示す構造のカチオン重合開始剤とを含むインク流路壁構成組成物の重合硬化物で構成する。
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【課題】透湿防止機能を有し、効率よく製造された長尺の振動板を有する液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】樹脂層２０１を有する振動板１０２の圧電素子１２１の端面を接着接合する凸形状部２０２ａを形成するための無機材料層２０２の一部を利用し、かつ、凸形状部２０２ａを形成のための工程をそのまま利用して圧電素子１２１の伸縮に応じて変位するダイアフラム部に樹脂層２０１の透湿防止膜となる無機材料層２０２の薄層２０３を形成して、製造コストを抑えながら樹脂層２０１の透湿を防止できる振動板１０２を形成することができ、安価で信頼性の高い液滴吐出ヘッドを得る。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍の精度を維持しつつ、ノズル内面の耐アルカリ性を確保できる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層の上にＳｉＯ_２マスク層を形成し、形成したＳｉＯ_２マスク層にノズル開口に対応するマスク開口を形成する。次に、マスク開口をエッチングして、ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層にノズル孔を形成する。次に、流路基板をＳＯＩ基板に直接接合し、接合された流路基板上に圧電アクチュエータを形成する。次に、ＳＯＩ基板のＳｉ基板を除去し、その後、露出したＳｉＯ_２層を除去する。これにより、表面Ｓｉ層に形成されたノズル孔が開口する。最後に、露出した表面Ｓｉ層の表面、及び、ノズル孔の内面にＳｉＯ_２層を形成する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上したアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０の表面に下電極６０を形成し、第３圧電体層７３を焼成する温度よりも低い焼成温度で第１圧電体層７１を下電極６０上に形成し、下電極６０及び第１圧電体層７１を同時にパターニングし、その後、第３圧電体層７３を焼成する温度よりも低い焼成温度で第２圧電体層７２を第１圧電体層７１を含む流路形成基板用ウェハ１１０の全面に形成し、その後、複数の圧電体膜７５からなる第３圧電体層７３を形成し、該第３圧電体層７３上に上電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】発熱素子などのエネルギ発生素子を形成した基板と、天板とを接合して液路を構成する液体吐出ヘッドにおいて、液路全体の寸法のばらつきを抑え、安定した吐出性能を発揮できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】上記基板となる部分が形成された第１基体に、エネルギ発生素子の位置とあった第１基準を設ける一方、天板となる部分が形成された第２基体に、液路とつながる共通液室端部の位置とあった第２基準を設け、これらに基づいて第１および第２基体の位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板の裏面における貫通穴の開口を小さく形成すると共に、貫通穴を効率良く形成する。
【解決手段】開口部７を有するエッチングマスク層６をシリコン基板１の裏面に形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層６の開口部７にレーザ光を照射してシリコン基板１の内部に変質層８を形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層６の開口部７にレーザ光を照射してシリコン基板１の裏面からシリコン基板１の表面まで貫通しない複数の先導孔９を形成する工程と、先導孔９及び変質層８が形成されたシリコン基板１に異方性エッチングを施してシリコン基板１の表面まで貫通する貫通穴としてのインク供給口１１を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録用基板を生産効率良く安定的に製造することを可能にするインクジェット記録ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】表面にインク流路が形成されるシリコン基板１の裏面に、インク供給口５を形成するための開口７を有するマスク６を形成する。開口７の内周に沿って溝１０を形成する。溝１０の内側のシリコン基板１のシリコンを機械的に除去する。シリコンを機械的に除去したシリコン基板１に対して、裏面側から異方性エッチングを行うことで貫通孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド用基板の小型化を実現し得るインク供給口を精度良く安定して形成する製法を提供する。
【解決手段】シリコン基板にインク供給口を形成することを含むインクジェットヘッド用基板の製造方法であって、インク供給口の形成工程が、第１の工程としてレーザーアブレーション加工による未貫通穴の形成工程と、第２の工程として異方性エッチングによる貫通口の形成工程とを含む。未貫通穴の形成工程では、シリコン基板１の片側の面内にて、レーザースポット１２をずらしながら走査させることと、走査方向と略垂直な方向に走査線が並ぶようにレーザースポット１２の走査を行うことと、隣り合う走査線のレーザースポット１２どうしが一部重なり合うようにレーザースポット１２を走査することと、それら走査を繰り返し複数回実施することを含む。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド用基板を高い生産効率で安定的に製造する。
【解決手段】Ｓｉ基板１の表面に犠牲層２を形成し、エッチングストップ層４をＳｉ基板１の表面に形成する。インク供給口１６を形成する部分に対応した開口部を有するエッチングマスク層８をＳｉ基板１の裏面に形成する。エッチングマスク層８の開口部を通じて、Ｓｉ基板１の被エッチング面を結晶異方性エッチングにてエッチングし、Ｓｉ基板１の結晶方位＜１００＞面が露出した凹部２８をＳｉ基板１の裏面側に形成する。Ｓｉ基板１の凹部２８における＜１００＞面が露出した部分に先導孔２０を形成する。Ｓｉ基板１の被エッチング面が犠牲層２に到達して犠牲層２が除去されるまでＳｉ基板１を結晶異方性エッチングにてエッチングしてインク供給口１６を形成する。エッチングストップ層４のインク供給口１６を覆う部分を除去し、Ｓｉ基板１の表面側にインク供給口１６を開口させる。 （もっと読む）

【課題】未貫通穴の深さに生じるバラツキの影響を抑え、シリコン基板の裏面における貫通穴の開口を小さく形成すると共に、貫通穴を効率良く形成する。
【解決手段】開口部５を有するエッチングマスク層４をシリコン基板１の裏面に形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層４の開口部５にレーザ光を照射してシリコン基板１の内部に変質層６を形成する工程と、シリコン基板１の裏面からエッチングマスク層４の開口部５にレーザ光を照射してシリコン基板１の裏面からシリコン基板１の表面まで貫通しない複数の先導孔７を、変質層６におけるシリコン基板１の表面に平行な領域に複数列で配置し、先導孔７の先端が変質層６に達するように形成する工程と、先導孔７及び変質層６が形成されたシリコン基板１に異方性エッチングを施してシリコン基板１の表面まで貫通する貫通穴であるインク供給口８を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】工程数を増加させずに、インク供給の信頼性に優れたインク供給口の形成方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１にインク供給口を形成することを含むインクジェットヘッド用基板の製造方法であって、以下の工程を含む。すなわち、基板１上に保護膜４を形成する工程と、保護膜４を貫通して基板１内部で留まる第１の未貫通孔７を形成する工程と、保護膜４を貫通して基板１内部で留まる第２の未貫通孔８を形成する工程と、異方性エッチングにより未貫通孔７，８間を連通する工程とを含む。そして、未貫通孔７，８間の距離をa、第２の未貫通孔８の深さをｄとしたとき、a×tan５４.７°≦ ｄ なる関係を満たすように第２の未貫通孔８を形成する。 （もっと読む）

【課題】固定板の変形を防止して液滴の着弾位置精度を長期に亘って良好に維持することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のヘッド本体と、ノズル２０７が露出される開口部３０１を有し各ヘッド本体が所定間隔で位置決め固定される固定板３００と、ヘッド本体のヘッドケース２２２側の面が接合され圧力発生室２０３に連通する流路１０２を有する接合部材１００と、を具備し、固定板３００に固定された各ヘッド本体の隙間にはこれらの隙間に充填されて硬化された所定の接着剤からなる補強部２３０が設けられていると共に、固定板３００の周縁部には側壁部３０３が設けられ側壁部３０３とヘッド本体との隙間にも補強部２３０が設けられ且つ側壁部３０３の高さがヘッド本体の高さよりも低くなっているようにする。 （もっと読む）

【課題】ノズルの応答速度を低下させずに、複数のノズルを高密度に配置し、記録速度の向上を図る。
【解決手段】複数のノズルは、供給路の長さが異なる第１のノズル５ａ及び第２のノズル５ｂを含んでいる。第１のノズル５ａ及び第２のノズル５ｂは、第１のノズル５ａにインクを供給する長尺状の供給室１６の短辺方向の一端側に配置される。第１のノズル５ａの供給路１９ａは、インクの吐出方向と直交する方向に延ばされて形成される共に、供給室１６に連通されている。第２のノズル５ｂの供給路１９ｂは、インクの吐出方向と平行に延ばされて形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板に凹部或いは溝をエッチングにより比較的簡単に形成することができるシリコン基板の加工方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板の表面に保護膜５１を形成し、保護膜５１の表層をレーザ光を照射して加工することにより凹部１１５が形成される領域内に加工部５２を形成し、加工部５２を有する保護膜５１が形成されたシリコン基板をエッチング液に浸漬することにより、シリコン基板に凹部１１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく、簡単に可撓性を調整することができるコンプライアンス部を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する複数の圧力発生室１２及び共通液体室であるリザーバ１３を有する流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に設けられた振動板上の前記圧力発生室１２に相対向する領域に設けられる圧電素子３００と、前記圧電素子３００から前記振動板上まで引き出されるリード電極９０とを具備し、前記リザーバ１３は前記流路形成基板１０の前記圧電素子３００が設けられた側が前記振動板で封止されていると共に、前記リード電極９０が前記リザーバ１３に対向する領域まで延設されて、当該リード電極９０と前記リザーバ１３を封止する前記振動板とで、前記リザーバ１３内の圧力変化によって変形可能な可撓部であるコンプライアンス部４０が形成されている液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れた誘電体膜を形成することができる誘電体膜の製造法及び圧電素子の製造方法並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン単結晶基板からなる基板１１０の一方面側にＰＺＴ前駆体膜である誘電体前駆体膜７１を形成する工程と、流路形成基板用ウェハ１１０が内部に載置されるチャンバ２０１と、チャンバ２０１の外側で、流路形成基板用ウェハ１１０の誘電体前駆体膜７１が設けられた面とは反対側の面に相対向する領域に設けられて赤外線を照射する照射手段２０２を用いて、基板１１０に８〜１２μｍ帯の波長スペクトルピークを有する光を照射して、誘電体前駆体膜７１を加熱焼成して結晶化することで誘電体膜７２を形成する。 （もっと読む）

【課題】高速で高品質な印刷を低コストで行うことができるインクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル開口２１が並設されたノズル列２１Ａが複数設けられたインクジェット式記録ヘッドユニット１であって、同一色のインクが吐出される一対のノズル列２１Ａを具備し、同一の駆動信号に基づいて前記ノズル開口２１から吐出されるインク滴のインク吐出量がノズル列２１Ａの一端部側から他端部側に向かって漸小する傾向を有するノズル列２１Ａが、前記ノズル列２１Ａのインク吐出量の漸小する傾向が互いに反転するように前記一対のノズル列２１Ａが配置されている。 （もっと読む）