【課題】酸化ジルコニウム層の亀裂や剥離等の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、該第１の層５０上に設けられたジルコニウムを熱酸化することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、該第２の層５６上にスパッタリング法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、該第３の層５７の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 インク流路を含んでレーザー光を一括照射してレーザー溶着することにより、インク流路を形成する場合に、インク流路内がレーザー光によるダメージをうけて損傷し、表面があれインクの流れを阻害し印字不良をひきおこす。。
【解決手段】 インク流路内（非溶着部）にレーザ光により硬化する樹脂を入れて、レーザによる一括照射溶着を行う際、樹脂を硬化させるとともに、接合をおこなう。 （もっと読む）

【課題】搬送が容易で厚さ制御を有効に行うことができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】搬送等を容易に行えるように、周縁部分を残して研削等によりシリコン基板５１を高精度に薄板化する工程と、薄板化した部分にエッチング等の加工を行って、少なくともノズル３１となる穴を形成し、複数のノズル基板３０を形成する工程と、シリコン基板５１の複数のノズル基板３０を切断、割断等により分離して個片化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】印刷品質及び信頼性を向上した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対側上には、リザーバ部３１と連通する液体導入口４４が設けられた液体導入口形成板４０が形成され、前記液体導入口形成板４０側のリザーバ部３１の少なくとも開口部近傍にリザーバ部３１の側壁から当該開口部内方の途中までせり出すように突出した突部３３を設ける。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位ばらつきを低減し、歩留りを向上させること。
【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する圧力室が形成される基板に、圧電体および電極を有する圧電素子を形成し（ステップＳ２）、形成された前記圧電素子の静電容量と前記圧電素子のサイズとを実測し（ステップＳ４）、実測結果から前記圧電素子の変位量を予測し（ステップＳ６）、予測された前記圧電素子の変位量に基づいて、前記圧電素子の変位量を変更する加工処理の補正値を決め（ステップＳ８）、前記補正値を用いて前記加工処理を行うことで前記圧電素子間の変位量のばらつきを補正する（ステップＳ１０）。 （もっと読む）

【課題】製作収率が向上され、各構成間の堅固な結合力に基づいて安定した品質を確保できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、インクを貯留するリザーバ、リザーバにインクを供給する流入口、リザーバからインクが供給されるチャンバ、リザーバとチャンバを連結するリストリクタ、インクを吐出するノズル、及びチャンバとノズルとの間に介在されるダンパ部を含むインクジェットヘッドであって、ダンパ部の一部、チャンバ、リザーバ、及びリストリクタが形成されたシリコン材質の第１プレートと、チャンバをカバーするように第１プレートの上面に接合されたガラス材質の振動板と、第１プレートの下面に接合され、ダンパ部の一部が形成されたガラス材質の第２プレートと、第２プレートの下面に接合され、ノズルが形成されたシリコン材質のノズル板とを含む。 （もっと読む）

【課題】コストを低減することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体供給路３６、４０を形成する供給部材本体３１及び供給針３２の何れかにフィルタ３３を溶着する工程と、供給部材本体３１と供給針３２とでフィルタ３３を挟持させた状態で、供給部材本体３１の供給針３２がが取り付けられた面側に供給針３２の周囲を覆うように樹脂材料を注入して固定部３４を一体成型することで、供給部材本体３１と供給針３２とを一体化する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】吐出口の中心軸に関して対称に配置された複数の連通路を微細に形成することに適した記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記吐出口の下に配され前記液体が前記吐出口から吐出されるように前記液体に圧力を加えるための加圧空間を含む供給室と、前記液体を前記供給室へ供給する液体供給流路及び前記液体供給流路と前記供給室とを仕切る仕切り部を含む半導体基板とを備え、前記仕切り部には、前記液体供給流路を前記供給室へ連通させる複数の連通路が形成されており、前記複数の連通路は、前記吐出口の中心軸に関して対称に配されており、前記仕切り部は、前記半導体基板における前記仕切り部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、半導体基板内における表面近傍に、単純な製造工程で製造可能な構造を有したフィルタ部を設ける。
【解決手段】記録ヘッドは、液体に熱エネルギーを作用させることにより、前記液体を吐出口から吐出させる記録ヘッドであって、前記液体を前記吐出口へ供給する第１の液体供給流路と、前記液体を前記第１の液体供給流路へ供給する第２の液体供給流路と、前記第２の液体供給流路と前記第１の液体供給流路との間に配されたフィルタ部とを含む半導体基板とを備え、前記フィルタ部は、前記第１の液体供給流路により供給された前記液体から異物を除去して、異物が除去された液体を前記第１の液体供給流路へ通過させるように配された複数のスルーホールを有し、前記半導体基板における前記フィルタ部の周辺より高い濃度で不純物を有する半導体で形成されている。 （もっと読む）

【課題】電気配線の腐食を抑制し、信頼性の高い記録ヘッドを提供する。
【解決手段】記録ヘッドは、基板Ｈ１１１０と流路形成部材Ｈ１１０１とから構成される記録素子基板Ｈ１０５１を有している。基板Ｈ１１１０は液体を吐出するエネルギを発生する記録素子Ｈ１１０３と、該記録素子Ｈ１１０３に電力を供給する配線層と、を有している。流路形成部材Ｈ１１０１は基板Ｈ１１１０の一の面Ｈ１１２０に接合され、貫通穴が形成されている。また、当該貫通穴によって、前記記録素子基板Ｈ１０５１には溝Ｈ１２００が形成されている。溝Ｈ１２００の底面が基板Ｈ１１１０の一の面Ｈ１１２０に最も近い配線層を構成する電気配線Ｈ１２１０の上面に位置し、かつ前記底面が該電気配線Ｈ１２１０の縁部にかからないように、溝Ｈ１２００は配置されている。 （もっと読む）

【課題】全使用期間において実使用電圧における変位量変化の少ない圧電素子を提供する。
【解決手段】誘電体層の両面にそれぞれ電極層を形成して圧電素子を形成する工程と、圧電素子にエージング電圧を印加して駆動電圧に対する変位特性を安定させるエージング工程と、を含む薄膜圧電素子の製造方法において、エージング電圧の波形が誘電体層の抗電界Ｅｃに相当する電圧から駆動電圧を超える高電圧に立ち上がり、高電圧から抗電界Ｅｃに相当する電圧まで立ち下がることを繰り返し、誘電体内の電界強度を広範囲に変化させてドメインの分極変化を促し、分極軸を安定化する。 （もっと読む）

【課題】高い生産効率で安定的に、基板に穴を形成することができる方法およびこれを利用した液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の加工方法は、一方の面側にレーザー光の透過を抑制することが可能な材料からなるレーザーストップ層１０８が設けられた基板１０１を用意することを有する。また、基板の加工方法は、基板１０１の一方の面の裏面から一方の面に向い基板１０１にレーザー光により加工を行い、レーザー光をレーザーストップ層１０８に到達させることにより基板１０１に先導穴１０９を形成することを有する。さらに、基板の加工方法は、裏面から先導穴を通じて基板１０１に対してエッチングを行うことを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が高密度に配置された液体噴射ヘッドおよびこれを有するプリンタを提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１０００は、第１基板１０と、第１基板の上方に形成された第２基板２０と、第２基板に形成された複数の圧力室２６と、第２基板に形成され、各圧力室にインクを貯留するためのリザーバ２２と、圧力室の上方に形成された振動板３０と、振動板の上方であって、各圧力室に対応する位置に形成された圧電素子４０と、圧電素子と電気的に接続された内部配線７０と、ノズル孔５２を有するノズルプレート部材５０と、を含み、圧力室は、該圧力室の水平方向の一端においてリザーバと連通し、該圧力室の水平方向の他端においてノズル孔と連通している、ユニットヘッド１００を複数含み、複数のユニットヘッドは、上下方向に積層され、各ユニットヘッドは、平面視において、それぞれ重なっていない配線接続領域８０を有し、内部配線と外部配線とが、配線接続領域で電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】回復動作を頻繁に行うことなく、液滴の吐出の安定性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドは、基板１と流路形成部材２とを有する。流路形成部材２は基板１に積層されている。流路形成部材２には、各々の吐出エネルギー発生素子１０に対応したノズル４が形成されている。流路形成部材２には、第１の開口部６と、第１の開口部６内を流路形成部材２の外側に連通する第２の開口部７と、がさらに形成されている。連通路５は、液滴供給口９とは連結されていない。第１の開口部６は、フェイス面１３において、すべての吐出口３を環状に取り囲むように形成されている。第１の開口部７から第２の開口部６への連通路５内は親水性を有する。第２の開口部７は流路形成部材２の側面に設けられている。第２の開口部７は、連通路５に保持された小液滴を排出する際に、連通路５の内部が減圧されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】ヒータ列中央部での温度状態を精度良く検知し、面積を最小限に抑えた記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。また、記録ヘッド用基板の機械的強度も向上させた記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】インクを供給するためのインク供給口と、前記インクを吐出口から吐出させるための複数の発熱素子と、前記複数の発熱素子を駆動するためのロジック回路と、記録ヘッド用基板の温度を検出するための基板温度検出素子と、記録装置本体と前記ロジック回路および前記基板温度検出素子との間での信号の受け渡しを行う入出力パッドと、を備えた記録ヘッド用基板であって、前記インク供給口の上に前記基板と一体に形成される梁を有し、該梁の上には前記基板温度検出素子が配置されている。 （もっと読む）

【課題】吐出面に余分な撥液処理剤や汚染物質等がない清浄な状態にすることによって印刷品質を良好とすることができるノズルプレートの撥液膜形成方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズルを備える液体吐出ヘッド用ノズルプレートの、該ノズルの吐出口を有する吐出面に撥液処理を行う撥液処理方法において、撥液処理剤を含む溶液を用いて前記吐出面に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、前記撥液膜形成工程で形成された前記撥液膜をリンス液ですすぐ処理を行うリンス処理工程と、を有し、前記リンス処理工程では、前記撥液膜が形成された前記吐出面を前記リンス液に浸した後に、前記リンス液から露出させ、前記吐出面からの前記リンス液の液切りを前記リンス液の蒸気中で行う。 （もっと読む）

【課題】ヒータ配線による段差を抑える平坦化膜の形成工程を追加することなく、簡素な構成で流路形成型材のパターンの安定性を実現する。
【解決手段】流路形成部材２０１における発泡室２０４の側壁２０２の境界に跨って位置され、かつ、下層にヒータ配線１０６が配置されていない領域Ｂには、ヒータ配線１０６以外の層がヒータ配線１０６の上層又は下層に配置され、ヒータ配線１０６の直下に形成されている第２絶縁層３０５の上面が、ヒータ配線１０６の上面と面一にされて形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの製造方法において、型材形成用の層の不要部の除去後に発生する、密着性向上層の表面の荒れを抑制し、密着性向上層と流路壁との密着性安定化を図るとともに、工程の簡略化を行う。
【解決手段】密着性向上膜のパターニング時に使用したエッチングマスクを除去せず、エッチングマスク上に型材形成用の膜を積層させ、この膜の型材形成用の現像処理においてこのエッチングマスクも同時に除去する。 （もっと読む）

【課題】剛性及び液滴吐出速度に優れ、しかもインク吐出量を充分に確保することができ、製造に際しては工程数を削減することができるシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、液滴を吐出するためのノズル孔１１を複数有し、各ノズル孔１１はそれぞれ複数の筒状部１１ａ〜１１ｉから構成され、各筒状部１１ａ〜１１ｉの軸方向に垂直な断面積が上面から底面まで一定である。そして、軸方向に垂直な断面形状および断面積がそれぞれ同じである。筒状部１１ａ〜１１ｉは、それぞれの径が１０〜４０μｍであり、長さが３０〜１００μｍである。筒状部１１ａ〜１１ｉは円筒形であって、中心部とその同心円上に配設することができる。また、多角筒形であって、中心部とその同心上に配設するようにしてもよく、断面を正六角形状とし、ハニカム構造状に配置してもよい。 （もっと読む）

【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）