【課題】高剛性、高変位の圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、その製造方法、並びに、その駆動方法、及び、画像記録装置を提供する。
【解決手段】上下に変位して、圧力室１１２の容積を拡縮させる圧電アクチュエータ１３４が、初期状態において、圧力室側に凸状に湾曲して形成される。圧電アクチュエータ１３４は、駆動電圧が印加されると、中立点を超えて、圧力室１１２とは反対方向に変位して、圧力室１１２の容積を拡大させ、駆動電圧の印加を停止すると、元の状態に復帰して、圧力室１１２の容積を縮小させる。 （もっと読む）

【課題】開口幅が縮められた供給口を有する液体吐出ヘッド用基板を高い生産効率で安定的に製造する方法を提供することにある。
【解決手段】相対する２面を持つシリコン基板の第１の面に、液体供給口を形成する部分に対応した開口部を有するエッチングマスク層を形成する工程と、第１の面に相対する第２の面の液体供給口を形成する部分に凹部を形成する工程と、第１の面の開口部上に凹部を形成する工程と、第１の面の開口部よりシリコン基板を結晶異方性エッチングにてエッチングし、液体供給口を形成する工程とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出の際の振動部の振動制御を行い、駆動周波数を高める。
【解決手段】ノズルと、前記ノズルに連通するとともに、前記液体を貯留する液体室と、弾性変位可能に形成された振動部と、前記振動部に対して空間を隔て、前記振動部に対向して配置された電極部と、前記振動部および前記電極部の間の充放電を行う電圧印加部とを有する第１静電アクチュエーターと、前記空間における気体の圧力を調整する圧力調整部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】加工処理と同時に厳密なエッチングレート管理が可能となるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１の裏面にエッチングレートを測定するためのエッチングレート測定用マスク層３８を形成しておき、結晶異方性エッチング処理の際に、エッチングレート測定用マスク層に設けられた開口部３２においてエッチング空間１７を形成する。このエッチング空間からエッチング液の状態を把握し、次ロットにおける結晶異方性エッチングにおける処理条件を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の形状のばらつきに起因するインク液滴の吐出量のばらつきが低減されたノズルプレートを得る。
【解決手段】表面が（１００）面である単結晶シリコン基板４０の第１の面４０ａをエッチングして凹部４５を形成する工程と、凹部４５の内面を含む第１の面４０ａの全面にエッチングマスク層４７を形成する工程と、凹部４５の底面におけるエッチングマスク層４７を除去して単結晶シリコンを露出させる工程と、凹部４５の底面を掘り下げて掘り下げ部４６を形成する工程と、掘り下げ部４６の内面に結晶方位を利用した異方性ウェットエッチングを施して、正８面体の空洞部４８を形成する工程と、単結晶シリコン基板４０を第１の面４０ａの反対側の面である第２の面４０ｂ側から空洞部４８に達するまで薄型化して空洞部４８の一部を第２の面４０ｂ側に開口された第２のノズル孔部１１ｂとする工程と、を有するノズルプレート１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド用基板において、電極へのインクの染み込み防止を達成することができ、かつ、面積を縮小することができる液体吐出ヘッド用基板を提供する。
【解決手段】基板１０１の第一の面１０２と、基板１０１の第三の面１０４との間に設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する素子２０１と電気的に接続する複数の電極２０５と電気的に接続する電極層２０２が領域１０５の内側に設けられている。さらに、領域１０５には電極層２０２を被覆する樹脂からなる部材４０２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板に形成されたノズルについて、実際に対象物上に正しく画像を形成することが出来るノズルを得るため、ノズルの孔曲がり、すなわち吐出面に対する垂直度を調べる必要があった。
【解決手段】基準孔１５は、接合面側および吐出面側において開口する形状がそれぞれ正方形であり、底面が接合面に位置し、上面が吐出面に位置する正四角錐台の形状を有している。そして、この正四角錐台は、中心軸が吐出面に対して垂直方向になるように形成されている。従って、基準孔１５は、第１ノズル１１が開口している吐出面と沿う面において形成される上面（平面）形状の中心位置が、常に同じ位置を呈する孔である。この結果、基準孔１５を基準として、第１ノズル１１について、吐出面側の開口孔の中心位置と、接合面側の開口孔の中心位置を計測すれば、ノズル基板１０に設けられた第１ノズル１１について、吐出面に対する垂直度を調べることができる。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】容易かつコストアップにならない方法で変位量を向上させ、高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の空隙部３３を有する基板２０と、基板２０の一方の面に固定された弾性膜２１と、弾性膜２１の一方の面に、空隙部３３に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、圧電素子２２に電圧が印加されて撓み振動をすることで、弾性膜２１を該撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、弾性膜２１は、基板２０との固定部よりも、圧電素子２２の形成部分が、圧電素子２２の撓み方向側に突出した形状を有する。 （もっと読む）

【課題】区画形成された積層構造体を接着層に影響されずにレーザ光の照射によりスクライブして容易に取り出すことが可能な積層構造体基板および液滴吐出ヘッド基板、この積層構造体の製造方法および液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液滴吐出ヘッド基板１００は、封止基板１が複数区画形成された第１の基板１０１と、アクチュエータ基板３が複数区画形成された第２の基板１０３と、アクチュエータ基板３に対応して個々に接合されたノズルプレート４とを有している。第１の基板１０１と第２の基板１０３は、いずれもレーザ光を透過可能なシリコン単結晶基板からなり、第１の基板１０１の接合面には、切断予定ライン４０上に沿って凹部７が設けられている。凹部７の切断予定ライン４０上には、接着層９が介在しない状態で、第１の基板１０１と第２の基板１０３とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】横の広がりを抑えて貫通孔を形成することができるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１に貫通孔８を形成するシリコン基板の加工方法であって、（１）前記シリコン基板の裏面に開口部を有するエッチングマスク層５を形成する工程と、（２）前記開口部を通じて前記シリコン基板に未貫通孔７を形成する工程と、（３）前記未貫通孔が形成された前記シリコン基板の裏面から、（１００）面のエッチングレートが（１１０）面のエッチングレートよりも速いエッチング液を用いて結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔を形成する工程と、を有するシリコン基板の加工方法である。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ノズル列全体が位置合わせされたノズルデバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】垂直壁を有する穴に接続されたテーパー部を有する流体吐出ノズルについて記載する。ノズルの列がダイ全体に渡って形成され、複数のダイが半導体基板に形成されたときでも、テーパー部と穴とが互いに位置合わせされるように、ノズルのテーパー部と垂直壁を有する穴との両方は、半導体層の片面から形成される。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性を確保し、かつ空域の断面積を確保した微細な構造体を製造方法することが可能な構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層１０ａと第２の層１０ｂとがこの順で積層されている基板１２を用意する工程と、前記構造体を形成するための型となる型部材の一部である第２の型を前記第２の層１０ｂから形成する工程と、前記第２の型をマスクとして前記第１の層１０ａをエッチングして、前記型部材の他の一部である第１の型を前記第１の層から形成する工程と、前記第１の型と前記第２の型とを被覆するように前記構造体となる被覆層１３を設ける工程と、前記第１の型と前記第２の型とを除去して前記構造体を形成する工程と、を含む構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】液との適合性に優れ、複雑な構造を必要とせず加工が容易で高精度の液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔５０を有するノズル基板５と、振動板３０が壁面の一部に形成されてノズル孔５０と連通する吐出室３２、及び吐出室３２に液を供給するリザーバ３３とを有するキャビティ基板１と、振動板３０と対向配置された個別電極４１を有する電極基板４とを備え、振動板３０と個別電極４１との間の静電力により振動板３０を変位させて吐出室３２の液をノズル孔５０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、キャビティ基板３は、第１キャビティ基材１と第２キャビティ基材２とからなり、第１キャビティ基材１はシリコン材料で形成され、第２キャビティ基材２は硼珪酸ガラス材料で形成され、電極基板４は硼珪酸ガラス材料で形成され、ノズル基板５はシリコン材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】同一ノズルから吐出できる液滴量の幅を広くすることができ、またヘッドとして打ち分けることが可能な液滴量の種類を増やすことができる液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、それぞれのノズル孔３０に連通する複数の吐出室１０と、吐出室１０に連通して吐出室１０に液体を供給する共通液滴室１１と、吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａと、振動板Ａに対向して配置された個別電極Ｃとを備え、振動板Ａと個別電極Ｃとの間の静電力によって振動板Ａを変位させて吐出室１０の液をノズル孔３０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、各吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａ１、Ａ２は吐出室１０の幅方向ロに厚みが異なり、振動板Ａ１、Ａ２のそれぞれの厚みに対応させて個別電極Ｃ１、Ｃ２を幅方向ロに分割形成した。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド用基板における液体供給孔の占有幅を狭くする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の第１面および第２面にエッチングマスクパターンを形成する工程と、前記シリコン基板のエッチング領域に先導孔を形成する工程と、前記シリコン基板を第１面および第２面の両面から異方性エッチングする工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）