【課題】圧電特性のよい圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた結晶基板からなる流路形成基板と、該流路形成基板上に設けられて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、前記圧電体層が、厚さが５μｍ以下で且つペロブスカイト型結晶からなると共に、前記圧電体層を、前記流路形成基板の（２２０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ａと、前記圧電体層の（１１０）面に由来するＸ線の回折ピーク位置Ｂとの間隔が、２θ＝１６．２６２±０．１度の範囲内となるようにする。 （もっと読む）

【課題】噴射する液体による圧力発生室およびノズルプレートの腐食を防ぐとともに、振動板への接着剤の付着を防ぎ振動板の変位特性の低下を抑制した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】接着剤１６によって流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接合する際に、第１の保護膜１５の硬化前の接着剤１６に対する接触角θ１が第２の保護膜２２の硬化前の接着剤１６に対する接触角θ２よりも大きいので、硬化前の接着剤１６は親和性のよい第２の保護膜２２に沿って流れ、圧力発生室１２およびインク供給路１３、連通部１４に流れにくくできる。したがって、圧力発生室１２の振動板５３への接着剤１６の付着が抑えられ、振動板５３の変位特性の低下およびばらつきの少ないインクジェット式記録ヘッド１およびインクジェット式記録装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の初期に形成されて後工程に大きな影響を及ぼす基板の変形を、圧電素子の形成工程での影響を最小限に抑制する状態に制御するアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性膜５０（二酸化シリコン膜５１）上に、ジルコニウム層を熱酸化して酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成し、その後、ジルコニウム層を熱酸化する際の最高温度以下の温度で、絶縁体膜５５をアニール処理する。アニール処理における温度及び時間等の条件を変化させることにより、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、圧電素子を形成する工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。また、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、インク流路のエッチング工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ基板上のデバイス面を保護してエッチングする面のみをエッチング液に露出し、撥水膜がＳｉ基板のエッチング時に発生する水素ガスに影響のない形態での処理が可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インク吐出圧力発生素子を有するＳｉ基板上に、インクを吐出するためのインク吐出口を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、保護膜でデバイス面を覆った２枚のＳｉ基板を接着し、Ｓｉ基板のエッチング面のみをエッチング液に露出して、Ｓｉ基板のエッチングを行うことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で駆動耐久性及び信頼性の向上を図ることが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて振動板６に変位を生じさせる静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５を導電性アモルファス炭素系薄膜で構成したものである。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業を行うことなく、シリコン基板に形成されるノズル孔の吐出口の直径に対する加工誤差の評価を加工途中で容易に行うことができ、製造効率を上げ製造コストの低減できるノズルプレートを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドに用いられ、シリコン基板に液滴を吐出するノズル孔を有するノズルプレートの製造方法において、シリコン基板に形成されたフォトレジスト層に、ノズル孔を形成するノズル孔レジストパターンと、ノズル孔の吐出口の直径に対する加工誤差を評価する検査レジストパターンと、を同時に形成することにより、フォトレジストパターンを形成する形成工程と、検査レジストパターンの読み取り解像度に基づいて、加工誤差を評価する評価工程と、評価工程で良好と判定した場合、フォトレジストパターンをマスクとしてシリコン基板を異方性ドライエッチングする工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】接合基板と流路形成基板との間への欠片の挟み込みを低減し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０に圧電素子３００及び液体流路を形成する工程と、接着剤２０１が塗布された転写フィルム２００を、非転写領域１２１を除いて流路形成基板用ウェハ１１０に粘着した後、非転写領域１２１側から転写フィルム２００を剥離することで流路形成基板用ウェハ１１０に接着剤２０１を転写する工程と、流路形成基板用ウェハ１１０にノズルプレート２０を接合し、流路形成基板用ウェハ１１０を所定の大きさに分割する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】インク組成物の硬化速度が大きく、生産性が高く、長時間にわたり安定して高品質な印刷物を得ることができる印刷物の作製方法を提供すること。
【解決手段】活性放射線の作用により酸を発生するオニウム塩化合物、カチオン重合性モノマー及び着色剤を含有する活性放射線硬化型インク組成物を、圧電性素子の変形によりインクを吐出するインクジェットヘッドを用いて基材上に描画する工程、並びに、該基材に活性放射線を照射して該インク組成物を硬化させる工程を含み、該圧電性素子のインクと接触する部材が、パラキシリレン樹脂で被覆されてなることを特徴とする印刷物の作製方法。 （もっと読む）

【課題】クロストークに影響される圧力をはじめとするばらつきをなくし、吐出性能を均一にすることができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出する複数のノズル３１と、各ノズル３１に連通する液体の流路上に設けられる複数の吐出室２１と、吐出室２１内の液体を加圧するための複数の加圧手段となる個別電極１２とを備え、各吐出室２１間を隔てる隔壁に空洞部２８となる空間を有し、さらに隔壁をエッチングストップ層で形成する。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を構成する（１１１）面を保護しながら逃げ溝を異方性エッチングにより形成する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。また、このような異方性エッチングを実現するマイクロデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板に、基準孔よりも広い開口部１４１を有するマスク１４０を、前記開口部が前記基準孔３２に対向するように設けるマスク形成工程と、前記開口部を介して前記基板を異方性エッチングすることにより、前記基準孔の外周に接着剤の逃げ溝３３を形成する逃げ溝形成工程を備え、前記マスク形成工程では、前記マスクの前記開口部内の前記（１１１）面に対向する位置に、島状の補正マスク部を設け、前記逃げ溝形成工程で、当該補正マスク部１４２ａ、１４２ｃは、前記対象基板の異方性エッチングによりエッチングされ除去されることにより、前記基準孔の外周に逃げ溝が形成される。 （もっと読む）

【課題】 エッチング液からの保護をより完全に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハからなりノズル開口に連通する圧力発生室１２を含む第１の液体流路が設けられた流路形成基板が一体的に形成される流路形成基板用ウェハ１００上に圧力発生素子３００を形成する成膜工程と、シリコンウェハからなり圧力発生室１２に液体を供給する第２の液体流路が設けられた接合基板が一体的に形成された接合基板用ウェハ１３０を流路形成基板用ウェハ１００上に接合すると共に有機フィルム１４０を接合基板用ウェハ１３０の流路形成基板用ウェハ１００の接合側とは反対側の表面全体に接合する工程と、流路形成基板用ウェハ１００をウェットエッチングすることにより圧力発生室１２を形成するエッチング工程と、有機フィルム１４０を除去する除去工程と、流路形成基板用ウェハ１００及び接合基板用ウェハ１３０を所定の大きさに分割する分割工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】
二段形状のノズル開口であっても、パンチが折れ難いノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】
金属板３１の一方の面から他方の面に向けて第１パンチ３６を金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に、底を有する第１下穴４０を形成する第１下穴形成工程と、
前記第１下穴を形成した金属板の一方の面から第１下穴の底に前記第１パンチよりも細い第２パンチ５０を打ち込むことにより、第１下穴の底に第１下穴よりも細い第２下穴４２を形成すると共に前記他方の面に膨出部５２を形成する第２下穴形成工程と、
第１下穴と第２下穴を形成した金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して前記両下穴を一連に貫通させてノズル開口とする貫通工程と、
を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】金属以外の材料からなる仮基板４００上に絶縁体膜５５を形成し、該絶縁体膜５５上に圧電体層７０を形成し、圧電体層７０をパターニングし、圧電体層７０上に下電極膜６０を形成し、下電極膜６０上に振動板を構成する弾性膜５６及び保護膜５７を順次積層し、圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０に、圧電体層７０が振動板を介して圧力発生室１２に対向するよう仮基板４００を接合し、仮基板４００を除去することにより絶縁体膜５５を露出させ、絶縁体膜５５の圧力発生室１２に対向する領域を除去して開口部を形成し、開口部を介して露出した圧電体層７０に接続する上電極膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成された圧電装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電装置１００は、（１１０）単結晶シリコンからなる基板１０と、基板１０に形成された駆動ＩＣ５０と、基板１０の上方に形成され、駆動ＩＣ５０によって駆動される圧電素子４０と、を有し、駆動ＩＣ５０は、トランジスタ７０を含むアナログスイッチ５２を有し、トランジスタ７０は、チャネル方向が実質的に基板１０の＜００１＞方向である。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有し、安価かつ簡易なプロセスで形成された液体噴射ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００は、第１基板１０と、第１基板１０に設けられた駆動ＩＣ５０と、第１基板１０の上方に形成され、圧力室２６を有する第２基板２０と、第２基板２０の上方に形成された振動板３０と、振動板３０の上方に形成された圧電素子４０と、を含み、駆動ＩＣ５０は、圧電素子４０を駆動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、保護膜破壊によるパターニング不良の発生を抑制した、安定生産可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】本発明は、流路となる溶解可能な固体層を流路形状にパターニングする際に、後に形成されるオリフィスの下方に存在する固体層をパターニングで除去し、保護膜を充填させる空間を形成することによりパターニング不良の発生を抑制した。
つまり、エッチング時のパターニング不良の原因となるオリフィス下方の固体層の体積を減少させることにより欠陥の発生を減少させ、さらに、保護膜を充填させる空間を形成することにより保護膜の充填量を増加する。これによりエッチング時の保護膜破壊を防ぐ膜強度を得ることができ、パターニング不良の発生を抑制する液体吐出ヘッドを得られる事が判明した。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の特性低下を防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０上に下電極膜６０を成膜すると共に下電極膜を所定形状にパターニングする工程と、流路形成基板上に圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層上に導電性を有する材料からなる中間膜８５を形成する工程と、中間膜上に保護膜を形成し、この保護膜をマスクとして中間膜と共に圧電体層をエッチングすることにより所定形状にパターニングする工程と、保護膜を剥離する工程と、流路形成基板上に上電極膜８０を成膜すると共に上電極膜を所定形状にパターニングする工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートと流路形成基板との間への異物の挟み込みを防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも圧力発生室１２を含む液体流路を流路形成基板１０（１１０）に形成する流路形成工程と、液体流路が開口する流路形成基板１０の一方面側に接着剤を塗布して第１の接着層２０１を形成し第１の接着層２０１によってノズルプレート２０を接着する第１の接着工程と、第１の接着工程の後に実施され流路形成基板１０の他方面側に接着剤を塗布して第２の接着層２０２を形成し第２の接着層２０２によってコンプライアンス基板４０を接着する第２の接着工程とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、製品による吐出性能のばらつきの少なく信頼性の高い、高精細な画像を記録することのできる液体吐出ヘッドを提供することである。
【解決手段】本発明は、吐出用液流路と発泡用液流路との隣接部にこれらを分離する分離膜と、該分離膜の少なくとも一部に設けられ、吐出用液流路と発泡用液流路とを分離膜のみによって仕切る可動部と、発泡用液流路中の発泡用液体を加熱して発泡させるための発熱素子と、を有し、発泡用液流路と発熱素子とを有する基板の表面に、吐出用液流路と吐出口とが設けられ分離膜により発泡用液流路の天井の少なくとも一部を形成して基板の表面に露出させ、吐出用液流路を該基板の表面に露出した分離膜の有する可動部をその底面の一部として設けることにより吐出用液流路と発泡用液流路との隣接部が設けられており、発熱素子は発泡用液流路の天井側に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】個々に駆動信号の電圧値を設定することなく所望の特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータ装置の製造方法は、基板１０上に設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０をこの順で積層してなる薄膜型の圧電素子３００を有し、下電極及び上電極間に電圧を印加することにより、圧電素子を撓み変形させるアクチュエータ装置の製造方法であって、圧電素子に、電圧を印加して圧電体層を分極させる分極工程と、圧電素子を４０〜１００℃で加熱する加熱工程とを有する。 （もっと読む）