【課題】環境に対する負荷を低減しつつ、比較的簡単に、基板に付着したパーティクルや金属不純物等の異物を安定的に除去して、キャビティ基板の製造時における歩留まりの安定化を図ることができるキャビティ基板の製造方法、キャビティ基板、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明のキャビティ基板の製造方法は、基板３３を機能水により洗浄する洗浄工程と、基板３３に対して熱処理および／または成膜処理を施す処理工程と、基板３３の一方の面側から、液体を収容するための凹部３４２を形成して、凹部３４２の形成により肉薄化された部分を振動板３１とする工程とを有する。前記機能水としては、オゾンおよび水素のうちの少なくとも１種を用いるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドのインク吐出面のクリーニング性を向上させる。
【解決手段】記録素子基板Ｈ１１００がホルダーＨ１５００の凹部Ｈ１５０１内に固定され、記録素子基板Ｈ１１００の、吐出口が形成された面を露出させる開口部が形成された電気配線基板Ｈ１３００がホルダーＨ１５００上に固定されている。電気配線基板Ｈ１３００は、その開口部の縁の一部に、記録素子基板Ｈ１１００と接続されたリードを有し、開口部の縁の、リードが形成されていない部分に、ホルダーＨ１５００の凹部の縁を越えて記録素子基板Ｈ１３００上まで延びる被覆部Ｈ１３０４を有し、被覆部Ｈ１３０４には補強パターンＨ１３００ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 比較的厚さの薄い流路形成基板に圧力発生室を良好且つ高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板用ウェハの一方面に振動板を介して圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、パターニングされた圧電素子を保持する保護基板が複数一体的に形成される保護基板用ウェハを流路形成基板用ウェハの一方面側に接合する接合工程と、流路形成基板用ウェハの他方面側をウェットエッチングすることにより流路形成基板用ウェハを所定の薄さに形成する薄板化工程と、流路形成基板用ウェハの他方面を酸化させる酸化工程と、過酸化水素水とアンモニア水とを含む洗浄液によって流路形成基板用ウェハの他方面を洗浄するＳＣ１洗浄工程と、流路形成基板用ウェハの他方面に所定パターンで保護膜を形成すると共に保護膜を介して流路形成基板用ウェハをウェットエッチングすることにより圧力発生室を形成する圧力室形成工程と、流路形成基板用ウェハと保護基板用ウェハとの接合体を所定の大きさに分割する分割工程とを具備するようにする。 （もっと読む）

【課題】 液滴イジェクタを複数配設したイジェクタ基体と駆動回路基体との電気接続部をコンパクト化し、エネルギー効率が高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 ヘッドユニット１４のイジェクタ基体１６，１８には、多数の液滴イジェクタ３０が二次元配置されている。各液滴イジェクタ３０には、それぞれ圧力室５０とノズル２４が配設され、圧力室５０の振動板４８の上部に圧電素子４８が設けられている。イジェクタ基体１６，１８と対向する位置に駆動回路基体６０が配置され、電極端子６２と圧電素子４８上の電極パッド５６とがバネ状の導電部材５８によって接続されている。駆動回路基体６０から圧電素子４８に電圧が印加されると、振動板４８が変形してノズル２４からインク滴が吐出される。そのとき、バネ状の導電部材５８が伸縮し、圧電素子４８及び振動板４８の変形を拘束しない。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止して液滴を良好に吐出することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面側に振動板を介して圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層と配線金属層とからなるリード電極を形成すると共に密着層と配線金属層とからなるがリード電極とは不連続の不連続金属層によって貫通孔を封止する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、不連続金属層をウェットエッチングによって除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、不連続金属層を構成する密着層及び配線金属層の端面を覆って封止金属層を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】撥液性と耐久性とに優れる撥液膜を備えるノズルプレート、信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】ノズルプレート１１は、液滴を吐出する複数のノズル孔１１１が形成された基板１１２と、その液滴を吐出する側の面に少なくともノズル孔１１１の周囲を囲むように設けられた撥液膜１１３とを備える。撥液膜１１３は、少なくとも表面付近がフッ素原子とシリコン原子とを含む物質を主材料として構成される撥液性粒子を用いて形成され、撥液性粒子は、その表面をＸ線光電子分光分析法で測定したとき、得られたスペクトルにおいて、９２〜１１０ｅＶの範囲でかつ８７ｅＶでの値と１１５ｅＶでの値とを結ぶベースラインより上の範囲の面積をＸとし、６８０〜６９５ｅＶの範囲でかつ６７５ｅＶでの値と７００ｅＶでの値とを結ぶベースラインより上の範囲の面積をＹとしたとき、Ｙ／Ｘが１／５０〜１なる関係を満足する。 （もっと読む）

【解決手段】 特にインクジェットプリントヘッド用の、樹脂（３２）の中に作られている液圧超小型回路を、攻撃性のある液体に対して保護被覆するための工程において、ａ）基板上に堆積し、液圧超小型回路（３５、３６、３７）の内側形状を画定している銅の犠牲層（２６）を備えているシリコン基板（２０）を配置する段階と、ｂ）犠牲層（２６）の外側表面上に、電気化学処理によって少なくとも１つの保護金属被覆層（３０）を堆積させる段階と、ｃ）所定の厚さを有し、犠牲層（２６）を完全に覆うのに適している非感光性のエポキシ又はポリアミド樹脂（３２）を犠牲層（２６）の上に加える段階と、ｄ）樹脂（３２）を重合させ、機械的及び熱的応力に対するその機械的強度を向上させ、更に樹脂（３２）の外側表面（３３）を、機械的なラッピングと同時に化学的処理を施して、平坦化する段階と、ｅ）犠牲層（２６）を、強酸性溶液内で化学エッチングによって取り除く段階と、ｆ）樹脂（３２）の外側表面（３３）上に、金属の保護層（３９）を真空蒸着によって堆積させる段階と、から成る工程。
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【課題】ノズルの高密度化を図るとともに、圧電体等の破損等による歩留まり及び量産性の向上を達成する。
【解決手段】圧電素子が形成された振動板上にレジスト層を形成する工程と、前記圧電素子上の所定の位置の上にある前記レジスト層を除去して、前記圧電素子に略垂直に前記圧電素子まで達する穴を開口し、前記穴内部に前記圧電素子に駆動信号を供給するための電気配線を形成する電気配線形成工程と、前記電気配線を配線基板に接合した後に、前記レジスト層を除去することで、前記振動板と前記配線基板との間に前記電気配線が前記圧電素子に略垂直に立ち上がって形成される空間として、前記圧力室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室形成工程とを有して液体吐出ヘッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】 環境温度の変化に伴うインク吐出特性の変動を抑える。
【解決手段】 アクチュエータユニット４２は、流路ユニット４１に形成された複数の圧力室のそれぞれと対向する位置に形成された個別電極６０と、周縁電極６５と、共通電極とを有している。個別電極６０、周縁電極６５及び共通電極は、ドライバＩＣ５１と接続されている。ドライバＩＣ５１は、所定電位に保持された基準信号を生成すると共に、共通電極に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、基準信号を共通電極に供給しているときに、異なる電位を交互に繰り返すインク吐出信号を生成すると共に、個別電極６０に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、異なる電位を交互に繰り返す予備加熱信号を生成すると共に、周縁電極６５に供給する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子を焼成したときに発生するうねりによって、振動板に加圧して接合する際に、圧電素子のうねりの部分に応力が部分的に集中して過大になるのを防止することを目的とする。
【解決手段】 焼成後の圧電プレート７８のうねりを矯正した後に、圧電プレート７８から圧電素子５８を切り出して振動板３４に接合する。すなわち、圧電プレート７８のうねりを矯正することで、圧電プレート７８の見掛け上の曲率が大きくなる。このため、圧電プレート７８から切り出した圧電素子５８を加圧して振動板３４に接合しても、圧電素子５８にかかる応力が部分的に集中して過大になることがないので、圧電素子５８に割れやクラックが生じることがない。 （もっと読む）

【課題】 要求式液滴インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 この液滴インクジェットプリンタは、夫々の噴出ノズル（１６）を有するインク噴出室（１２）を規定する受動部品と、開口部および開口部内に位置決めされたアクチュエータ構造体（８）を備えたボディ（２）とを有している。アクチュエータ構造体はスラリーからの成形または、燃焼除去される型を使用した可撓性シートの真空形成により圧電性材料で形成されている。一連のマスク使用の付着、エッチングおよび同様な処理工程を使用して前記構造体をシリコンウェファーに構成するのに、ＭＥＮ技術が用いられてもよい。
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【課題】 省スペースで高解像度記録ができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの駆動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 インクを貯蓄する圧力室１６に複数のノズル１２、１４を設け、ピエゾ素子等の圧電素子の始動によって圧力室１６に貯蓄されたインクをノズル１２、１４から吐出する。圧力室１６に設けた複数のノズル１２、１４のインク吐出特性をそれぞれ異なる吐出特性とするために、ノズルの開口形状及び断面形状を異なる形状とし、複数種類の駆動波形を使い分けることで、インクを吐出するノズルを選択する。 （もっと読む）

【課題】 ワイピング回数が増加しても、長期間にわたって撥水性能を維持することが可能とななるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 インク吐出エネルギー発生素子と、流路となる部分を占有する型材とが設けられた基板上に、感光性を有するノズル形成部材および撥水部材をパターニングすることによりインク吐出口を形成し、型材を除去することによりノズル部を形成する工程を包含するインクジェット記録ヘッドにおいて、ノズル形成部材と撥水部材との間に相溶防止部材を設け、かつ、撥水部材に使用されている溶剤のSP値をA、相溶防止部材に使用されている溶剤のSP値をB、ノズル形成部材に使用されている溶剤のSP値をCとしたとき、| A - B | > | A - C | とする。 （もっと読む）

【課題】一部の液体吐出部に不吐出等の欠陥が生じても吐出不良を目立たなくする。
【解決手段】各液体吐出部から吐出される液滴の吐出方向を複数の方向に可変とする。そして、近隣に位置する少なくとも２つの異なる液体吐出部からそれぞれ異なる方向に液滴を吐出させて、画素を形成するように制御する。また、１つの画素領域に液滴を着弾させる場合に、複数の着弾目標位置からいずれかの着弾目標位置を決定し、その決定した着弾目標位置に液滴を着弾させることで、液滴の吐出ごとに、液滴の着弾位置がばらつくように制御する。さらに、第ｍ画素ラインの画素ａと、第（ｍ＋１）画素ラインの画素ｂとが同一画素列上に位置する場合に、画素ａを形成するために最初の液滴の吐出に用いる液体吐出部と、画素ｂを形成するために最初の液滴の吐出に用いる液体吐出部とが異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】 ノズル形成部材と撥水層の密着力が十分でなく、ワイピングに対する耐久性が低く、あるいは、密着力を向上させると、加工上十分なノズル径精度が得られなくなる。
【解決手段】 金属部材からなり、ノズル先穴６１を形成した基材としてのノズル形成部材６２の液滴吐出面側に、ポリイミド樹脂／ポリアミド樹脂層６３、有機ケイ素化合物層６４、フッ素系撥水層６５を順次積層形成し、液室側からレーザ光でノズル１４内にはみ出す部分を除去することで、径精度の高いノズル１４を形成するとともに、ノズル形成部材６３とフッ素系撥水層６５の密着力を向上して耐久性を向上する。 （もっと読む）

【課題】微細凹部の端部が所定形状の仮想線上に整然と位置するようにすることができる微細凹部の加工方法と液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの提供をする。
【解決手段】列設された所定個数の雄型５３，５３ｃを金属基板５５に押込んで列状の微細凹部３３をプレス成形するのに先立って、あらかじめ上記金属基板５５に、各雄型５３，５３ｃが押込まれる押込み予定箇所の端部に沿って列方向に延びる仮想線Ｏ−Ｏ近傍の所定箇所に高剛性部１００を成形する。このような加工方法でできた圧力発生室形成板３０が液体噴射ヘッド１，１’に採用されている。したがって、微細凹部３３が成形される過渡期の金属材料の流動が上記高剛性部１００によって抑制され、微細凹部３３の端部は仮想線Ｏ−Ｏに沿って整然と整列した状態で成形される。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の湿気等の外部環境に起因する破壊を長期に亘って防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面に振動板を介して少なくとも圧電素子を形成する工程と、流路形成基板と圧電素子を保護するための空間である圧電素子保持部を有する保護基板とを接着剤を介して貼り合わせる工程と、流路形成基板と保護基板とを貼り合わせた未硬化の接着剤中に混在する気泡を減圧下で脱泡させる工程と、脱泡させた接着剤を硬化させて流路形成基板と保護基板とを接着固定する工程と、連通孔を封止して圧電素子保持部を密封する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】撥液性および耐久性に優れる撥液膜を提供すること。
【解決手段】本発明の撥液膜は、基材の表面に、少なくとも表面付近がフッ素原子とシリコン原子とを含む化合物を主材料として構成される撥液性粒子を用いて形成されるものであり、この撥液性粒子は、その表面をＸ線光電子分光分析法で測定したとき、得られたスペクトルにおいて、９２〜１１０ｅＶの範囲で、かつ、８７ｅＶでの値と１１５ｅＶでの値とを結ぶ第１のベースラインより上の範囲の面積をＸとし、６８０〜６９５ｅＶの範囲で、かつ、６７５ｅＶでの値と７００ｅＶでの値とを結ぶ第２のベースラインより上の範囲の面積をＹとしたとき、Ｙ／Ｘが１／５０〜１なる関係を満足するものである。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、リード電極を形成すると共に不連続金属層を貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも不連続金属層を含む膜によって貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、不連続金属層を構成する少なくとも金属層をウェットエッチングによって完全に除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、少なくともリザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出特性のばらつきを抑える。
【解決手段】 流路ユニットには、複数の圧力室と、複数の圧力室の各配列方向に関して最も外側にある圧力室から配列方向外側に離隔した空隙とが形成されている。アクチュエータユニット４２は、各圧力室と対向する位置に形成された個別電極６０と、各空隙と対向する位置に形成された周縁電極６５と、共通電極とを有している。個別電極６０、周縁電極６５及び共通電極は、ドライバＩＣ５１と接続されている。ドライバＩＣ５１は、異なる電位を交互に繰り返すインク吐出信号を生成すると共に、個別電極６０に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、所定電位に保持されたスタンバイ信号及び基準電位に保持された基準信号を生成すると共に、個別電極６０に吐出信号を供給しているときに、スタンバイ信号を周縁電極６５に供給し、基準信号を共通電極に供給する。 （もっと読む）