【課題】 ノズル、圧力室が２次元に配列され、インク流路がインクタンクからインクを供給されるインク流路本流と、このインク流路本流から分岐して各圧力室にインクを供給する複数本のインク流路支流とで構成され、インク流路支流に重なって延出するエアダンパ室が設けられたインクジェット記録ヘッドにおいて、ヘッドの剛性を損なうことがなく、また、ノズルの高密化を妨げることがないように大気連通孔を形成する。。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド１０では、インク流路本流４６から複数のインク流路支流４８が分岐し、各インク流路支流４８に重なってエアダンパ室６０が延出している。大気連通孔６２が、エアダンパ室６０のインク流路本流４６側の端部６０Ａから振動板１２まで、インク流路本流４６に燐設された第１連通孔３６、第２連通孔３８、圧力室４０とインク流路本流４６との間を通って延出している。 （もっと読む）

【課題】 塑性加工により微細穴を精度よく形成することができる微細穴の穿設加工方法および工具および液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの製造装置を提供する。
【解決手段】プレス加工により金属基板５５に微細穴３４を穿設加工する方法，工具，液体噴射ヘッドの製造方法ならびに製造装置であって、上記方法，工具等に、所定のピッチで列状に並んだ窪み状部３３が形成された金属基板５５と、上記ピッチと同ピッチのポンチ５６，５８でポンチ列５６ａ，５８ａが形成された雄型５７，５９とを準備し、上記ポンチの各窪み状部３３に対する押込み時期が略同じとなるよう上記金属基板５５に向って雄型５７，５９を進出させることにより、上記窪み状部３３に微細穴３４を穿設して金属基板５５に列状に並んだ微細穴列を形成することが含まれている。よって、微細穴３４の配列精度が向上し、ポンチ５６，５８の磨耗や損傷も大幅に低減できる。 （もっと読む）

【課題】 耐久性や圧電特性にも優れた圧電素子構造体が得られるが、更に、液室の加工が簡便で、安価に歩留まり良く精細度が高く、高密度にノズルが配置されたインクジェット記録ヘッドを作製することが望まれている。
【解決手段】 本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクだめと連通孔でつながった圧力発生室を備えたインク流路構造体に、インクを吐出させるための振動板と圧電素子が形成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、圧電素子が、Ｓｉ基板上に絶縁膜を介して形成された単結晶シリコン膜上に形成され、記圧電素子の振動板後背部空間に面する側では前記絶縁膜を介して単結晶シリコン膜が露出していることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】
インクが流れる孔を小さく、精度良く形成し、且つ耐食性を有するフィルタ部を備えたインクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】
インクを蓄える加圧室と、該加圧室にフィルタ部を通してインクを供給する手段と、前記加圧室からオリフィスを通してインク液滴を噴射する手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタ部と前記振動板が同一部材からなり、かつ、前記フィルタ部の隣接するフィルタ孔の中心間距離が等しく、フィルタ部厚さが前記フィルタ孔の最小距離の３倍以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 矩形駆動波形を用いて最適な滴速で滴径変調を行うと共に、画質劣化のない記録を可能にすることを目的とする。
【解決手段】 圧電素子に印加する駆動信号として電圧波形の電圧レベルが３値かつ時定数が一定の駆動波形を用いて、３値の電圧レベル中の第１電位差で小滴を吐出して、第２電位差で大滴を吐出する。この時、小滴を吐出する際のパルス幅をヘッドの固有周期Ｔｃの１／２付近に設定し、大滴を吐出する際のパルス幅を、小滴の滴速と等しくなるように、ヘッドの固有周期Ｔｃの１／２付近からずらして設定する。例えば、大滴を吐出する際のパルス幅をヘッドの固有周期Ｔｃの０．６３〜０．７２倍、または０．８８〜１．０５倍に設定する。好ましくは、ヘッドの固有周期Ｔｃの０．６６〜０．６９倍、または０．９３〜０．９８倍に設定する。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１は，基板２と、基板２の上方に形成されたバッファ層５と、バッファ層５の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層６と、を含み、バッファ層５は、ｃ軸（００１）に優先配向しているＹＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_７−δからなり、δは，０≦δ≦０．６の範囲である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インク滴の吐出周波数を高めることができると共に、必要最小限の変更で吐出周波数を調整できるインクジェットヘッドを提供することにある。
【解決手段】本発明は、共通インク室６からインク供給路を経由して圧力室１５にインクを導き、この圧力室１５のインクを圧力室１５の圧力変化によってノズル２２から吐出させるように、複数の薄板材を積層してインクジェットヘッド１を構成し、かつ前記インク供給路を、前記圧力室と同じ高さに形成された第１のインク供給路１６，２６、と、この第１のインク供給路と同機能を有する少なくとも一つの第２インク供給路（１７−２０−１８）とを並設して構成したのである。 （もっと読む）

【課題】 振動板の薄膜化および微細化を可能にするとともに、振動板の耐久性を高めることができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 液体を吐出する吐出口１１９に連通する圧力発生室１１５と、圧力発生室１１５に対応して設けられる圧電素子１０８〜１１０と、圧力発生室１１５と圧電素子１０８〜１１０との間に設けられる振動板１１１と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法は、平板状の基板１０１の一方の主面に溝（凹部）１０４を有する基板１０１を用意する用意工程と、溝（凹部）１０４内に圧電素子１０８〜１１０を形成する圧電素子形成工程と、基板１０１の一方の主面と圧電素子１０８〜１１０との上に平坦な振動板１１１を形成する振動板形成工程と、振動板１１１の上に圧力発生室１１５を形成する圧力発生室形成工程と、基板１０１の少なくとも圧電素子１０８〜１１０の周辺を除去する除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを製造するあたり、貼り合わせ工程無しで製造し歩留まりを向上し生産性を高める。
【解決手段】液体の吐出口に連通する液体の流路を基板上に備えた液体吐出ヘッドの製造方法において、基板４０１上に第１の導電層４０４を形成する工程と、前記基板上に流路のパターン状に型材４０５を形成する工程と、前記第１の導電層に接触しない様に、前記型材上に第２の導電層４０６を形成する工程と、前記第1の導電層及び前記第２の導電層を利用して、メッキ処理による金属膜を前記型材の周囲に形成する工程と、前記型材を除去して前記流路を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 十分な滴径変調範囲の確保、高周波での吐出安定性の確保、意図しない吐出の防止、及び液滴の粘度増加の抑制が可能な液滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 電気機械変換素子に印加する駆動信号として電圧波形の電圧レベルが３値の矩形駆動波を用いる。そして、３値の電圧レベルのうち最低電圧と最大電圧の電位差をＶ１、最高電圧と中間電圧の電位差をＶ２としたときに、Ｖ１とＶ２の電圧比Ｖ２／Ｖ１を０．２５〜０．４５の範囲に設定する。 （もっと読む）

【課題】圧縮応力下において層間剥離が生じるのを抑制することができる積層圧電体、その製造方法、圧電アクチュエータおよびこれを備えた印刷ヘッドを提供することである。
【解決手段】圧電セラミックスからなる圧電セラミック層を複数積層した積層体の表面および／または内部に、銀パラジウム合金からなる電極層を備え、前記銀パラジウム合金が銀を８０体積％以上含み、銀パラジウム合金の平均結晶粒子径が０．３〜５．０μｍであり、前記電極層中のポアが１０％以下の積層圧電体である。 （もっと読む）

【課題】 無駄な工程を省き、精度よく、安定した状態で電気的に接続されるバンプ接続構造、バンプ接続方法及びバンプ接続構造が適用されたインクジェット記録ヘッドを得る。
【解決手段】 圧力室１４の上方以外の領域、圧電部材４５の電極パッド４５Ｂを配置し、該電極パッド４５Ｂ上にレジスト部４４を設けることで、レジスト部４４の有無によって、圧力室１４の上方に位置する可動部４５Ａには何ら影響を及ぼすことはない。このため、レジスト部４４を剥離させる必要がなく、レジスト部４４を剥離させるための工程を省くことができる。また、レジスト部４４内に半田ペーストを充填して半田バンプ３４を形成することで、規定されたバンプエリア６２（半田バンプを形成可能な領域）以上にハンダが広がることがないため、精度よく、安定した状態で半田バンプを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】液滴を吐出できない液体吐出部が一部に存在しても、その欠陥を補う。
【解決手段】液滴の吐出方向を複数の方向に偏向可能な液体吐出部を備え、近隣に位置する少なくとも２つの液体吐出部は、少なくとも１つの同一画素領域に液滴を着弾させることが可能なヘッド１１を備える。液滴の吐出不良により吐出を停止する液体吐出部が存在するときには、その情報を記憶しておく。その記憶された情報に基づき、液滴の吐出を停止する液体吐出部が本来受け持つ液滴の吐出信号の全部又は一部を選択して近隣に位置する他の液体吐出部に移すとともに、液滴の吐出を停止する液体吐出部がその吐出信号に従って液滴を吐出したときの液滴の着弾位置に、吐出信号を移した他の液体吐出部により液滴を着弾させるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 電子回路部品の冷却を可能にしつつ、装置の小型化を図る。
【解決手段】 複合基板２１０は、複数の駆動信号発生部が設けられたメイン基板２１１と、ドライバＩＣ６５ａ，６５ｂが実装されたフレキシブルプリント配線板５０ａ，５０ｂとを備えている。複数の駆動信号発生部は、メイン基板２１１に形成された複数の端子群２１３ａ，２１３ｂと配線群を介してそれぞれ接続されている。ドライバＩＣ６５ａ，６５ｂは、フレキシブルプリント配線板５０ａ，５０ｂに形成された複数の端子群６４ａ，６４ｂとそれぞれ配線群７５を介して接続されている。そして、端子群２１３ａ，２１３ｂと端子群６４ａ，６４ｂとがそれぞれ電気的に接続している。メイン基板２１１のドライバＩＣ６５ａ，６５ｂと対向する領域には、放熱領域２３０が形成されている。ドライバＩＣ６５ａ，６５ｂは放熱領域２３０と熱的に結合している。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタの本体フレーム１の下面に複数のフロントヘッドユニットを正確且つ迅速に固定する。
【解決手段】前面に列状の複数個のノズルと、この各ノズル毎に圧力室を備えたキャビティプレート１０と、圧力室毎にインクに噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータ２０と、フレキシブルフラットケーブル４０とを積層したフロントヘッドユニット６を、治具４２の表面に載置する。そのとき、キャビティプレート１０の表面側のノズルプレート４３に、ノズル列の前後部位に穿設された位置決め孔に対して治具４２から突出する位置決めピンを嵌合して位置決めした状態で、本体フレーム１の底板５の下面の支持部８をフロントヘッドユニット６に被せ、本体フレーム１の上側に露出する空所９ａ，９ｂからＵＶ接着剤を充填後紫外線照射にてフロントヘッドユニット６を固着する。 （もっと読む）

【課題】 液滴の吐出周波数を高めることができるとともに、粘度が高い液体であっても精確に且つ安定して吐出することができる液滴吐出ヘッドの駆動方法等を提供する。
【解決手段】 液滴吐出ヘッドは、所定の液体を収容するキャビティと、印加される駆動信号に応じた圧力をキャビティ内に発生させる圧力発生素子と、圧力発生素子により加圧された液体が液滴として吐出されるノズル開口とを有する。複数の波形ｗ１〜ｗ６からなる波形群を含む駆動信号を、ノズル開口における液体の液面（メニスカス）の振動周期にほぼ同期させて圧電体素子に印加する。 （もっと読む）

【課題】 被噴射体に対してより微細な液滴を噴射することが可能な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド１は、インクが貯留されている圧力室１４と、この圧力室１４内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ３と、記録用紙Ｐに対してメイン液滴Ｉａを噴射可能であり、さらに、このメイン液滴Ｉａの噴射動作に伴ってメイン液滴Ｉａよりも体積の小さいサテライト液滴Ｉｂを噴射するノズル孔２０と、ノズル孔２０と記録用紙Ｐとの間であって、ノズル孔２０から噴射されたメイン液滴Ｉａには接触し且つサテライト液滴Ｉｂには接触しない位置に配置され、メイン液滴Ｉａのみを捕捉する突出部２２とを有するため、メイン液滴Ｉａは突出部２２に捕捉され、サテライト液滴Ｉｂだけが記録用紙Ｐに到達する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルや圧力室を高密度に配置しつつ、共通インク室の容量を確保する。
【解決手段】 インクを吐出するノズル８に連通している圧力室１０と、複数の圧力室１０と連通していると共に突出部８０を有する副マニホールド５ａとを含む流路ユニットを備えている。突出部８０は、流路ユニットの厚さ方向に沿った内壁面５ｃにおいて、アクチュエータユニット側から反対側に亘って外側に向かって突出している。また、突出部８０は、副マニホールド５ａの延在方向に沿って千鳥状に配列されていると共に、曲面で構成されており、平面視において副マニホールド５ａの内壁面５ｃが波形になっている。 （もっと読む）

【課題】 微細構造を高精度で形成することができるシリコン構造体製造方法、モールド金型製造方法、シリコン構造体、インクジェット記録ヘッド、画像形成装置、及び、半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 パターンニングされた酸化膜１１４が形成されたシリコン基板にトレンチエッチングを行い、壁部１２２で区画された溝１１８を形成する。更に、酸化膜１１４を除去する。更に、壁部１２２の上部に形成されているバリ１２１を全面にドライエッチングにすることにより除去する。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明の第１の形態にかかる圧電体膜５は、
（Ｐｂ_１−ｄＢｉ_ｄ）（Ｂ_１−ａＸ_ａ）Ｏ_３の一般式で示される圧電体からなり、
Ｂは、ＺｒおよびＴｉの少なくとも一方からなり、
Ｘは、ＮｂおよびＴａの少なくとも一方からなり、
ａは、０．０５≦ａ≦０．４の範囲であり、
ｄは、０＜ｄ≦０．５の範囲である。 （もっと読む）