【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部を精度高く形成できるようにして発熱部の小面積化を可能とするとともに、電極配線の腐食ないしその進行を抑制する。
【解決手段】 基体上に耐腐食性金属でなる薄膜の第１電極１０１を配置し、その上にＡｌでなる第２電極１０３を重畳させ、さらに発熱抵抗層１０７を配置し、発熱部を第１電極の間隙で形成する。これにより大きな寸法ばらつきを生じることなく発熱部が形成される。発熱部上または近傍に保護膜の欠陥が生じても、発熱抵抗体層の材料はＡｌより侵食に強くかつ第１電極は耐腐食性であるので、腐食の進行を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部に対する配線抵抗の低減を図りながら基板の大型化を防ぎ、記録の高解像化等を達成するための発熱部の高密度実装を可能とする。
【解決手段】 電極配線を第１および第２電極配線層１０３，１０４で構成することで、発熱部１０２に対する配線パターンが基板上で占める面積を小さくする。また、熱効率低下を防ぐために発熱部上の実効的な保護絶縁膜の薄膜化を行うに際し、発熱部上に形成される絶縁保護膜を、電極配線の厚さに応じ、発熱抵抗層１０２または耐キャビテーション膜１１０をエッチングストッパーとして、除去する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、記録動作時にインクジェット記録ヘッドの異常を検出するインクジェット記録装置及びインクジェット記録方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子７４を圧力センサとして、記録動作時のインクジェット記録ヘッド３２₁〜３２_nのインク流路内のインクの圧力応答を示す応答波形を検出し、周波数特性の解析を行って記録動作時のスペクトラムを算出し、算出した記録動作時のスペクトラムと、初期吐出時のスペクトラムとの相関関数を用いて、インクジェット記録ヘッド３２₁〜３２_nのインク吐出状況を判断する。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状のコントロールを充分に行うことができる使い勝手のよいシリコン構造体製造方法、モールド金型製造方法、成形部材製造方法、シリコン構造体、インクジェット記録ヘッド、及び、画像形成装置を得ることを課題とする。
【解決手段】 パターンニングされた酸化膜１１４が形成された側からシリコン基板１１２に異方性エッチングと等方性エッチングとを交互に繰り返すことにより、窪み１４４よりも溝底側にテーパ状に広がる側壁面１１９を形成する。この後、酸化膜１１４を除去し、突起部分１４６を除去する。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 流路形成基板上に圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して振動板除去部を形成する工程と、少なくとも振動板除去部に対向する領域を覆って絶縁膜を形成すると共に絶縁膜に貫通孔を形成する工程と、流路形成基板上に密着層を介して金属層を形成して貫通孔を封止すると共に密着層及び金属層をパターニングしてリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして連通部を形成する工程と、貫通孔に対応する領域の密着層及び金属層をウェットエッチングにより除去する工程と、庇部をドライエッチングにより除去してリザーバを形成する工程と、リザーバを含む流路の内面に保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 小型でノズルの高密度化を実現可能にして高解像度化が図れるとともに、ノズルからインク滴を効率良く吐出させることができるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を得る。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド３２は、インクプール室３８が、振動板４８（圧電素子４６）を間に置いて圧力室５０の反対側（上側）に設けられている。換言すれば、インクプール室３８と圧力室５０の間に振動板４８（圧電素子４６）が配置され、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないように構成されている。このように、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないようにすることで、圧力室５０を互いに近接して配設することができるので、圧力室５０毎に設けられるノズル５６を高密度に配設することができる。また、部品点数の削減とそれによる小型軽量化・低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの圧電層及び振動板を効率よく変形させることが可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、複数の圧力室１４に夫々対応する複数の個別電極３２、及び、これら複数の個別電極３２に対向する振動板３０と、複数の個別電極３２と振動板３０との間に挟まれて、複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１とを有し、圧力室１４が形成され且つ個別電極３２と重ならない領域に、この領域における圧電アクチュエータ３の剛性を低下させる絶縁材料層３４（剛性低下部）が設けられている （もっと読む）

【課題】安価で高精度な成形のできるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ダンパプレート１２と支持プレート１４の積層体をノズルプレート１３と接合した後、エキシマレーザによりノズルを開口させる。この時点でダンパ部１８が形成され、支持プレート１４とノズルプレート１３との間にダンパ空間１８ａが形成される。これにより、支持プレート１４やノズルプレート１３などを切削加工することなくダンパ部１８を形成することが可能であり、また共通インク室３４から圧力室３６までの間にはダンパプレート１２は位置しないので、インク供給用の貫通孔等を設ける必要もなく、全体の工数を少なくすることができる。さらにダンパ空間１８ａは両端を上下からプールプレート３２と支持プレート１４で挟持されているため、製造工程において上下方向から加圧する際に良好な密着性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】個々のノズルの吐出特性をバラツキを個別に正確に補正して、画質を向上させることができる液滴吐出装置及び液滴吐出制御方法を提供する
【解決手段】内部に液体が充填された複数の圧力室に個別に連通して前記液体を液滴として吐出する複数のノズルと、駆動信号の入力によって前記圧力室の圧力を変化させて前記ノズルから液滴を吐出させるアクチュエータと、該アクチュエータを駆動制御する駆動制御手段とを有する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置において、前記駆動制御手段は、前記アクチュエータに対して、前記複数のノズルの液滴吐出特性のバラツキの下限値を補正する基準駆動信号を形成する基準駆動信号形成部と、該基準駆動信号形成部で形成された基準駆動信号から吐出特性バラツキを抑制する補正信号を生成する補正信号生成部とを有し、前記基準信号及び前記補正信号を前記アクチュエータの異なる入力端に供給するように構成されている （もっと読む）

【課題】マトリクス配置されたノズルを有するヘッドの折り返し位置の印字において発生するむらを低減させ、好ましい印字品質を実現する吐出ヘッド及び画像形成装置並びに画像形成方法を提供する。
【解決手段】印字ヘッド５０は主走査方向と角度θ（但し、０°＜θ＜９０°）なす斜め方向に並べられたノズル列５１２及びノズル列５１４を有するノズル群５２２、ノズル群５２４を備えている。ノズル群５２２とノズル群５２４とは、各ノズル群が有するノズル列が主走査方向に並ぶように投影された投影ノズル列を互いに補間するように主走査方向に位相を変えて配置されている。印字ヘッド５０から吐出されるインクによって主走査方向に連続して１ライン上に並ぶようにドット列を形成する場合に、各ノズル群の折り返し位置Ａに生じる着弾干渉の特異性によるすじむらの視認性を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層及び金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の密着層及び金属層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着剤によって接着する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び密着層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、連通部に対応する領域の密着層をウェットエッチングにより除去する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、連通部側からウェットエッチングすることによって金属層を除去しリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド３２は、インクプール室３８が、振動板４８（圧電素子４６）を間に置いて圧力室５０の反対側（上側）に設けられている。換言すれば、インクプール室３８と圧力室５０の間に振動板４８（圧電素子４６）が配置され、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないように構成されている。このように、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないようにすることで、圧力室５０を互いに近接して配設することができるので、圧力室５０毎に設けられるノズル５６を高密度に配設することができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタに使われるプリントヘッド駆動装置及びプリントヘッド駆動装置を具現する半導体回路基板を提供する。
【解決手段】プリントヘッドに備えられた複数のノズルを選択的に駆動するための選択部と，それぞれが与えられたプリントサイクルの間に上記プリントヘッドからインクを噴射できるｍ個のノズルを含むｎ個のプリミティブグループのうち，一つのプリミティブグループを選択するための直列プリミティブ信号を入力し，直列プリミティブ信号を並列プリミティブ信号に変換し，並列プリミティブ信号を上記選択部に入力するプリミティブ信号入力部と，選択されたプリミティブグループ内でインクが噴射される少なくとも一つのノズルを選択するための直列アドレス信号を入力し，直列アドレス信号を並列アドレス信号に変換し，並列アドレス信号を上記選択部に入力するアドレス信号入力部を含むプリントヘッド駆動装置である。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにするとともに、小型化も図れるようにしたインクジェット記録ヘッドの提供を課題とする。
【解決手段】 インク滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、インク１１０が充填される圧力室５０と、圧力室５０の一部を構成する振動板４８と、圧力室５０へインク流路６６、６８を介して供給するインク１１０をプールするインクプール室３８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有するインクジェット記録ヘッド３２において、振動板４８を間に置いて圧力室５０と反対側にインクプール室３８を設けるとともに、振動板４８を含んで形成された圧電素子基板７０に、圧電素子４６に電圧を印加する駆動ＩＣ６０を実装する。 （もっと読む）

【課題】流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層とそれを被覆する吐出口形成材料層とを用いた液体吐出ヘッドの製法において、吐出口部で、これらの層が直接接する界面領域でのスカムの発生が無く、小液滴の精度良い吐出を可能とする液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層３とそれを被覆する吐出口形成材料層４とを用い、固体層を除去することで前記エネルギー素子および前記吐出口に連通した流路を形成する液体吐出ヘッドの製法において、前記被覆層を形成する材料として、カチオン重合性化合物と、光カチオン重合開始剤と、光カチオン重合阻害剤と、を含む材料を用い、該固体層の、前記被覆層の前記吐出口が形成される個所との境界部分を形成する材料として、メタクリル酸とメタクリル酸エステルの共重合体を含む材料を用いる。 （もっと読む）

【課題】作成工程が単純でインクの吐出方向性とダンパ効果の良好なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】樹脂からなるノズルプレート１２とＳＵＳなどの金属からなる第１プールプレート１４を接合する。次に、ノズルプレート１２にエキシマレーザによってノズル１６を開口させると共に、ノズルプレートの表層の一部を第１プールプレート１４側から除去する（削る）ことでインクプール３４と外部との間のノズルプレート１２の厚さを薄くし、ダンパ膜１８とする。第１プールプレート１４とノズルプレート１２の積層体を、第２プールプレート３２、第１スループレート３０、サプライプレート２８、第２スループレート２６、圧力室プレート２４、振動板２２および圧電素子２０と積層接合することにより、インクジェット記録ヘッド１０が作製される。ダンパ膜１８の部分のみ膜厚が薄く、インクプール３４の圧力波を抑制するダンパとしての効果は高い。 （もっと読む）

【課題】吐出口部でスカム発生が無く、小液滴が精度良く吐出可能な液体吐出ヘッドの製造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子２が配置された基板１上に流路を形成するための固体層３を設ける工程と、固体層が設けられた基板上に固体層を覆う被覆層４を形成する工程と、固体層上に形成された被覆層に液体を吐出するための吐出口７をフォトリソグラフィプロセスで形成する工程と、固体層を除去することでエネルギー発生素子および吐出口に連通した流路を形成する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、被覆層を形成する材料はカチオン重合性化合物と光カチオン重合開始剤と光カチオン重合阻害剤とを含み、固体層の、被覆層の吐出口が形成される個所との境界部分を形成する材料は無水メタクリル酸とメタクリル酸エステルとの共重合体を含む。この方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出量のばらつきを簡単に補正する。
【解決手段】 ノズル及び圧力室を含む個別インク流路が複数形成された流路ユニット、及び圧力室に関連して設けられた個別電極を有するヘッド本体を備えている。ヘッド本体には複数のノズルを含むブロックが複数設定されている。３階調印刷において４種類の吐出波形を生成するパルス生成部１４８と、ブロックにおけるノズル１つ当たりのインク吐出量の差が、全てのブロックにおいて各階調の波形パターンが同じ場合よりも小さくなるような波形パターンの組み合わせを、各ブロックについて記憶する波形記憶部１４６と、波形記憶部１４６に基づいて波形パターンを選択し、選択された波形パターンを個別電極に出力する選択部１４７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 撥インク性及び耐擦性に優れ、長期間の使用においても信頼性の高い安定した吐出が可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 金属部材のノズル本体１に形成したノズル６よりインクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、金属部材のノズル本体１の少なくともインク吐出側表面にＳｉＯ_２を主成分とするＳｉＯ_２膜２を設け、ＳｉＯ_２膜２上にパーフルオロポリエーテル鎖の末端にアルコキシシラン残基を有する化合物が結合した撥インク膜７を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）