【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層（流路となる構造）とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、特定の物性を有する（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸エステルの共重合体を樹脂成分とするポジ型感光性樹脂組成物から形成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子３００を第１リード電極９０及び第２リード電極９１との接続部を除いて耐湿性を有する材料からなる保護膜１００によって覆い、且つ、第１リード電極９０及び第２リード電極９１を保護膜１００上に延設し、第１リード電極９０と上電極膜８０とのそれぞれの接続部及び第２リード電極９１と下電極膜６０との接続部を含む領域をポリイミド製の絶縁膜１１０で覆い、防湿性を持たせると共に結露による接続部での上電極膜８０と下電極膜６０との短絡を防止する。 （もっと読む）

【課題】 接着剤がノズル孔に流れ込むのを防止する。
【解決手段】 ノズル８が形成されているノズルプレート３０と連通孔２９ａが形成されているカバープレート２９とを、ノズル８の中心線と連通孔２９ａの中心線とが一致するように、接着剤１１０を介して積層する。連通孔２９ａと同一形状を有する逃げ孔１０６ａが形成された加圧プレート１０６を、ノズル８の中心線と逃げ孔１０６ａの中心線とが一致するようにノズルプレート３０上に積層する。インク吐出面の平面視において、ノズル８の吐出口８ａを画定する円と連通孔２８の連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた領域が押圧されないように、且つ連通孔口２９ｂを画定する円の外側の領域が押圧されるように、加圧治具１０８がノズルプレート３０及びカバープレート２９を加圧する。 （もっと読む）

【課題】 カルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂を用いたポジ型感光性樹脂組成物の露光感度を向上させるととも、感光波長の選択幅を広げること、更には、このポジ型感光性樹脂組成物を用いることで基板から吐出口方向への高さ方向に形状が変化するインク流路を精度良く、かつ効率良く形成できるパターン形成方法及びそれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくともカルボン酸無水物構造を有するアクリル樹脂と光酸発生剤とを用いてポジ型の感光性樹脂組成物を調製する。 （もっと読む）

【課題】 向上したインク吐出速度およびインク吐出周波数を有するインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 チャネルダンパーＤを備えたインクジェットヘッドおよびその製造方法であって，インクジェットヘッドは，基板Ｓと，該基板Ｓ上に配置され，インク吐出のための圧力を生成する発熱抵抗器Ｒとを備える。基板Ｓ上に，少なくとも１つの開放部Ｏを提供するように発熱抵抗器Ｒを取り囲み，かつ基板Ｓから第１の高さを有するチャンバー層Ｃが配置される。開放部Ｏに，チャンバー層Ｃと共に発熱抵抗器Ｒを完全に取り囲み，かつ第１の高さより低い第２の高さを有するチャネルダンパーＤが配置される。そして，発熱抵抗器Ｒに対応するノズルＮを有するノズル層が，チャンバー層Ｃの上部面に当接するように配置される。かかる構成により，インクの吐出時のインクの逆流現象が減少し，インク吐出周波数およびインク吐出速度が向上される。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であってもクロストークの発生を回避することができ、安定した流体噴射特性を得られるようにする。
【解決手段】基板１２上に形成された振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６と、当該振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６によって流体に圧力変化が与えられる圧力室２２と、当該流体の排出口２５とを備えたを備えた機能素子において、前記基板１２に前記圧力室２２へ通じる少なくとも一つの貫通孔３０を設け、その貫通孔３０を介して前記圧力室２２内への流体の供給を行い、前記排出口２５を介して当該圧力室２２内からの当該流体の排出を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】た開口３を封止することで形成される中空構造部分２を有した機能素子１において、前記開口３の断面形状を、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成し、開口側壁部分が垂直面である場合に比べて、開口形成時の残渣物の除去を容易にし、前記開口３を封止する封止膜５の成膜材料を堆積させるのも容易にする。 （もっと読む）

【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層（流路となる構造）とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、一般式（１）で表されるポリメタクリレート共重合体系樹脂とメラミン系の縮合性架橋剤とを有する分子間架橋型のポジ型感光性樹脂組成物の、電離放射線の照射による主鎖の崩壊反応により形成する。
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【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの液滴の吐出異常の原因を正確に特定する。
【解決手段】本発明は、アクチュエータ２２を駆動し、液滴吐出動作を行った際に、このアクチュエータによって変位させられた振動板の残留振動を検出し、その振動板の残留振動パターンに基づいて、液滴が正常に吐出されたか否かを検出し、吐出異常の場合、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値に基づいて、液滴の吐出異常の原因が気泡混入によるものか否かを判定し、液滴の吐出異常の原因が気泡混入以外と判定された場合に、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値の初期状態における初期計測値と、前記初期状態の後に液滴吐出動作を所定回数駆動する毎にパルス幅計測値の順次計測値を比較し、液滴吐出動作の駆動回数の増加に応じて初期計測値が順次計測値が大きくなった場合に紙粉異常と判定し、逆に小さくなる場合に乾燥異常と判断するようにした。 （もっと読む）

【課題】 吐出性能に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズル孔４は、ノズルプレート１１の一方面側に開口する吐出口４ａと、ノズルプレート１１の他方面側に開口する流入口４ｂと、吐出口４ａから流入口４ｂ近傍まで所定テーパ角度θで拡径するテーパ形状部４ｃと、テーパ形状部４ｃの所定テーパ角度θに沿うよりも大きく拡径して、テーパ形状部４ｃの端部と流入口４ｂとを曲面で接続する周縁部４ｄとを有し、流入口４ｂの開口径Ｄ１が、テーパ形状部４ｃをその所定テーパ角度θに沿って流入口４ｂ側に仮想延長して得られる仮想流入口４ｅの開口径Ｄ２に対して、Ｄ２＜Ｄ１＜１．２×Ｄ２の関係となっている。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの製造工程の簡略化を図るとともに、より微細な凹凸を低コストで形成することができるノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出するためのノズル孔の周囲に微小な凹凸が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記凹凸の凸部または凹部に対応した凸部２０２Ａ１を有する型２０２Ａを用いて、前記凹凸の凸部とほぼ同パターンのマスク２０５を基板１０５の表面に形成する第１の工程と、マスク２０５を用いて基板１０５をエッチングすることにより、基板１０５の表面に微小な凹凸を形成する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】
圧電アクチュエータを用いたインクジェットプリントヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータの振動モード（共振周波数）のばらつきを小さくし、安価で高品質の印刷が可能な信頼性の高いインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】
圧電振動子の一端側が支持基板に固定され他端側を自由端とした複数の圧電アクチュエータを有し、該圧電アクチュエータに電圧を印加することで圧力室の容積を膨張、収縮させ、ノズル開口からインク滴を外部に吐出させるインクジェットプリントヘッドにおいて、前記支持基板の前記圧電振動子との接着面の表面粗さが算術表面粗さで０．８μｍ以上６．３μｍ以下とするでことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体基板のエッチングを行うことなく、簡素な工程で安価に製造する。
【解決手段】半導体基板１１と、半導体基板１１上に設けられた発熱素子１２、半導体基板１１上に設けられ発熱素子１２上の領域にノズル１４ａが配置された被覆層１４、及び発熱素子１２上の領域と外部とを連通する個別流路１４ｂを含むものであって、半導体基板１１に個別流路１４ｂと連通する貫通穴が形成されていないチップ１０と、共通流路２１ｂが形成され、共通流路２１ｂとチップ１０の個別流路１４ｂとが連通するようにチップ１０が接着されるインク供給部材２１と、チップ１０とインク供給部材２１とをまたぐように配置され、共通流路２１ｂを形成するために貫通した部分を封止する天板２２とを備える。 （もっと読む）

流体噴射装置は、噴射セル(70、120)と、一連のパルスを受け取るように構成された複数の信号線(106、212)と、一連のパルスからパルスを受け取り、受け取ったパルスに応答してアドレス信号のセットを生成するように構成されたアドレス発生器(1000、1200)とを含み、アドレス信号のセットは、噴射セル(70、120)を活性化のためにイネーブルにするように適合されている。
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記述される実施形態は、基板（３００）内のフィーチャー（９０５）及びそれを形成する方法に関連する。１つの例示的な実施形態は、第１の基板表面（３０２）と、概ね反対に位置する第２の基板表面（３０３）との間に延在する基板（３００）と、第１の表面（３０２）に対して垂直でない穿孔軸に沿って第１の表面（３０２）内に形成される少なくとも１つのフィーチャー（９０５）とを含むマイクロデバイスにすることができる。
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【課題】アルカリウェットエッチング用のマスクを容易かつ安価に形成し得、環境保全の観点からも有利なマスク形成方法、このマスクを用いた基板のエッチング方法、このエッチング方法により加工された基板、このエッチング方法を適用した電子部品の製造方法、信頼性の高い電子部品および電子機器を提供すること。
【解決手段】マスク形成方法は、所定パターンの開口部を有するアルカリウェットエッチング用のマスクの形成方法であり、主としてポリオルガノシロキサンで構成されるポリオルガノシロキサン膜を形成する工程と、前記ポリオルガノシロキサン膜の形成すべき前記開口部のパターンに対応する領域に、ＳｉＯ_２化処理を施して前記領域に存在するポリオルガノシロキサンをＳｉＯ_２に変化させる工程と、ＳｉＯ_２に変化した前記領域を、アルカリ性を示すマスクパターン形成液により除去することにより前記開口部を形成して前記マスクを得る工程とを有する。 （もっと読む）

一般に、一態様では、本発明は、アクチュエータを有する液滴放出装置を駆動する方法を特徴とし、２つ以上の駆動パルスを含むマルチパルス波形をアクチュエータに与えて、液滴放出装置が、流体の一つの液滴を放出するようにするステップを含み、駆動パルスの周波数は、液滴放出装置の固有周波数ｆ_ｊより大きい。
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液滴吐出装置において液体をガス抜きするのに用いられる方法および物品が開示されている。
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本発明は、ユニット基部材と、第１の液体流路の一部を構成すると共に、前記ユニット基部材の一側に設けられた第１の弁室と、第２の液体流路の一部を構成すると共に、前記ユニット基部材の他側に設けられた第２の弁室と、前記第１の弁室内に設けられた第１の開閉弁と、前記第２の弁室内に設けられた第２の開閉弁と、を備える。前記第１の液体流路と前記第２の液体流路とは、相互に独立に形成されており、それらの内部を通過する液体の圧力を独立に所定圧力に制御できるようになっている。 （もっと読む）