【課題】微細凹部の端部が所定形状の仮想線上に整然と位置するようにすることができる微細凹部の加工方法と液体噴射ヘッドの製造方法ならびに液体噴射ヘッドの提供をする。
【解決手段】列設された所定個数の雄型５３，５３ｃを金属基板５５に押込んで列状の微細凹部３３をプレス成形するのに先立って、あらかじめ上記金属基板５５に、各雄型５３，５３ｃが押込まれる押込み予定箇所の端部に沿って列方向に延びる仮想線Ｏ−Ｏ近傍の所定箇所に高剛性部１００を成形する。このような加工方法でできた圧力発生室形成板３０が液体噴射ヘッド１，１’に採用されている。したがって、微細凹部３３が成形される過渡期の金属材料の流動が上記高剛性部１００によって抑制され、微細凹部３３の端部は仮想線Ｏ−Ｏに沿って整然と整列した状態で成形される。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の湿気等の外部環境に起因する破壊を長期に亘って防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面に振動板を介して少なくとも圧電素子を形成する工程と、流路形成基板と圧電素子を保護するための空間である圧電素子保持部を有する保護基板とを接着剤を介して貼り合わせる工程と、流路形成基板と保護基板とを貼り合わせた未硬化の接着剤中に混在する気泡を減圧下で脱泡させる工程と、脱泡させた接着剤を硬化させて流路形成基板と保護基板とを接着固定する工程と、連通孔を封止して圧電素子保持部を密封する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】撥液性および耐久性に優れる撥液膜を提供すること。
【解決手段】本発明の撥液膜は、基材の表面に、少なくとも表面付近がフッ素原子とシリコン原子とを含む化合物を主材料として構成される撥液性粒子を用いて形成されるものであり、この撥液性粒子は、その表面をＸ線光電子分光分析法で測定したとき、得られたスペクトルにおいて、９２〜１１０ｅＶの範囲で、かつ、８７ｅＶでの値と１１５ｅＶでの値とを結ぶ第１のベースラインより上の範囲の面積をＸとし、６８０〜６９５ｅＶの範囲で、かつ、６７５ｅＶでの値と７００ｅＶでの値とを結ぶ第２のベースラインより上の範囲の面積をＹとしたとき、Ｙ／Ｘが１／５０〜１なる関係を満足するものである。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、リード電極を形成すると共に不連続金属層を貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも不連続金属層を含む膜によって貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、不連続金属層を構成する少なくとも金属層をウェットエッチングによって完全に除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、少なくともリザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出特性のばらつきを抑える。
【解決手段】 流路ユニットには、複数の圧力室と、複数の圧力室の各配列方向に関して最も外側にある圧力室から配列方向外側に離隔した空隙とが形成されている。アクチュエータユニット４２は、各圧力室と対向する位置に形成された個別電極６０と、各空隙と対向する位置に形成された周縁電極６５と、共通電極とを有している。個別電極６０、周縁電極６５及び共通電極は、ドライバＩＣ５１と接続されている。ドライバＩＣ５１は、異なる電位を交互に繰り返すインク吐出信号を生成すると共に、個別電極６０に供給する。また、ドライバＩＣ５１は、所定電位に保持されたスタンバイ信号及び基準電位に保持された基準信号を生成すると共に、個別電極６０に吐出信号を供給しているときに、スタンバイ信号を周縁電極６５に供給し、基準信号を共通電極に供給する。 （もっと読む）

【課題】段差を有する液室形状のインクジェット記録ヘッドの材料選択を容易にする製造方法を提供する。
【解決手段】電気熱変換素子２に対向する位置に設けられたインク吐出口９と、インク吐出口９に連通するとともに内部に電気熱変換素子２を備える液流路１３と、電気熱変換素子２を保持する素子基板１とを有する本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、電気熱変換素子２を形成した素子基板１上に溶解可能な樹脂により液流路１３のパターンの型材層３となる樹脂を塗布する工程と、型材層３の上層パターンを形成するためのマスク材となる樹脂を塗布してレジスト層４を形成し、パターニングしてパターン層５を形成する工程と、パターン層５をマスクとして、ドライエッチングによるエッチバック法を用いて型材層３に型材パターン７を転写形成する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドを大型化することなく、高速かつ高画質の画像形成が可能な液体噴射記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク供給口４を挟んで、一方は大液滴を吐出する大ノズル１が、他方にはそれより小さい中液滴および小液滴を吐出する中ノズル２および小ノズル３が配置されている。小ノズルの数を中および大ノズルの数より多くすることで、小ノズルによる高品位で高速な印字を実現するとともに、中ノズルと小ノズルによるフォト高速印字、大ノズルによる高速印字を実現する。 （もっと読む）

【課題】 インクの吐出効率を向上させることができ、また、市販の圧電プレートを用いた場合においても所望の吐出孔率が得られるインクジェット記録ヘッド、インクジェット記録措置、および圧電アクチュエータ特性調整方法の提供。
【解決手段】圧電アクチュエータが、前記圧力室に相当する領域を占め、電歪作用によって駆動される圧電駆動部と、前記圧電駆動部に隣接して設けられ、電圧を印加する電極が設けられる電極パッド部とを備えるとともに、前記圧力室の壁面に沿った溝が圧電アクチュエータの圧力室側の面に前記圧電アクチュエータの全幅に渡って形成されてなり、前記圧電駆動部と前記電極パッド部とは前記溝によって区分されてなることを特徴とするインクジェット記録ヘッド （もっと読む）

【課題】振動板と個別電極間に介在するギャップが小さい狭ギャップの静電アクチュエータにおいて、ギャップの形成時にエッチストップすることなく犠牲層がエッチングできる構造を提供する。
【解決手段】静電型アクチュエータにおいて、振動板からなる振動板電極３０と、個別電極３ａとの間に介在するギャップ１０を犠牲層エッチング技術を用いて形成する。個別電極３ａには段差を設けることにより溝３ｂが形成されており、電極間のギャップ１０が狭くて犠牲層エッチングがされにくい部位にエッチャントを導く溝３ｂによって、エッチストップやエッチング残が発生しない。 （もっと読む）

【課題】変位ばらつきをさらに改善することが可能な液体噴出装置及びインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体の内部に内部電極を具備する圧電アクチュエータを、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記内部電極と前記流路部材１１との間に前記圧電体よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とし、また、圧電体からなる振動板２の上に、一対の電極４、６で圧電体層５を挟持してなる変位素子７が複数設けてなる圧電アクチュエータ１を、液滴噴出孔１８に連通する複数の液体加圧室１４が設けられた流路部材１１上に設けてなる液体噴出装置において、前記流路部材１１が導電性材料からなり、前記振動板２の内部に該振動板２よりも誘電率の低い低誘電率層３を形成してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 積層構造のインクジェット記録ヘッドの、積層される部材間の接合不良に起因する、強度の低下や圧力リークの問題を解消する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド１１２は、ノズルプレート２２、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、インク供給路プレート３０、圧力室プレート３２、及び、振動板３４を順番に積層して形成されている。これらインクジェット記録ヘッド１１２を構成するための各部材は、エポキシ系樹脂などの接着剤を介して互いに接着されている。インク流路１２０を構成する内壁１２２は、内壁１２２の全体を連続して覆う流路膜１２４でコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの加圧液室へ液体を供給する液体供給貫通孔を、ダイサー加工法等による切削加工とエッチング法等による方法を併用して加工することにより、高精度、高密度、高信頼性の液滴吐出ヘッドを良好な生産性で実現する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドは、第１の面に液体吐出機構を有する第１の基板１と、第２の基板２、第３の基板３を有する。第1の基板１には加圧液室６にインクを供給する液体供給貫通孔が、第１の面から第２の面に貫通して形成され、第１の面から所定の深さまではダイサー加工法による切削加工により形成され、第２の面から所定の深さまではエッチング加工により加工される。また、第１の面から所定の深さまではエッチング加工により加工し、第２の面から所定の深さまではダイサー加工により加工することもできる。 （もっと読む）

【課題】 ノズル、圧力室が２次元に配列され、インク流路がインクタンクからインクを供給されるインク流路本流と、このインク流路本流から分岐して各圧力室にインクを供給する複数本のインク流路支流とで構成され、インク流路支流に重なって延出するエアダンパ室が設けられたインクジェット記録ヘッドにおいて、ヘッドの剛性を損なうことがなく、また、ノズルの高密化を妨げることがないように大気連通孔を形成する。。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド１０では、インク流路本流４６から複数のインク流路支流４８が分岐し、各インク流路支流４８に重なってエアダンパ室６０が延出している。大気連通孔６２が、エアダンパ室６０のインク流路本流４６側の端部６０Ａから振動板１２まで、インク流路本流４６に燐設された第１連通孔３６、第２連通孔３８、圧力室４０とインク流路本流４６との間を通って延出している。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップ間の特性ばらつきを少なくし、気泡発生率を少なくする。
【解決手段】発熱素子１２の中心は、直線Ｌ１上と、直線Ｌ１と平行な直線であって直線Ｌ１と間隔δを隔てた直線Ｌ２上とに、交互に（千鳥状に）配置される。液室１３ａは、発熱素子１２の３方を囲むように平面形状が略凹状に形成され、複数の発熱素子１２は、直線Ｌ１及びＬ２方向において一定のピッチＰで配列されている。直線Ｌ１上の液室１３ａと、直線Ｌ２上の液室１３ａとは、開口部分が対向するように配置されている。直線Ｌ２上の液室１３ａ間には隙間Ｗｘが形成され、直線Ｌ１上の液室１３ａと直線Ｌ２上の液室１３ａとの間には隙間Ｗｙが形成されている。隙間Ｗｘ及び隙間Ｗｙにより第１共通流路２３ａ及び第２共通流路２３ｂを形成している。 （もっと読む）

【課題】ER効果を有する液体を用いて被吐出媒体上に形成されるドットの着弾干渉やにじみ、拡がり、混色などを防止し、生産効率を落とすことなく被吐出媒体上に高品質の画像等を形成する液体吐出装置及び電界付与方法を提供する。
【解決手段】印字ヘッド１２Ｂｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙから吐出された記録紙１６上に着弾したインク滴１００は、その表面にコロナ放電発生部４１から照射されるイオン１０２が付着し、イオン１０２と下面電極１０４との間には電界が生成され、この電界がインク滴１００に作用しER効果を発現させる。インク滴が記録紙１６上に着弾すると同時にコロナ放電部４１からインク滴の表面へイオンが付着し、インク滴１００はER効果により粘度が上昇するので、着弾干渉によるドットのにじみ、拡がり、複数色の混色などを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッドを大型化することなく、高速かつ高画質の画像形成が可能な液体噴射記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク供給口４を挟んで、一方は大液滴を吐出する大ノズル１が、他方にはそれより小さい中液滴および小液滴を吐出する中ノズル２および小ノズル３が配置されている。大ノズルの数を中および小ノズルの数より多くすることで、大ノズルによる高速印字を実現するとともに、中ノズルと小ノズルによるフォト高速印字、小ノズルによる高画質印字を実現する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の接合面に良好な接着剤塗布を行うことと、振動板の間の接着剤層を均一化することを目的とする。
【解決手段】 テクスチャが形成された圧電素子５８の接合面５８Ａに接着剤で振動板３４を接合してアクチュエータ５０を形成する。このとき、接着剤はテクスチャ（微細な凹凸）に入り込むので、接合面５８Ａに塗布した接着剤が流動することがなく、接着剤は均一に塗布される。これにより、圧電素子５８と振動板３４の間には均一な接着剤の層が形成されるので、良好に接合されたアクチュエータ５０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 着弾後の液体の挙動に起因する液体の溢れを抑制し、液体の塗布によって形成されたパターンの精度向上を実現できる液滴吐出ヘッドの駆動方法及び液滴吐出装置、当該駆動方法又は装置を用いたデバイスの製造方法、並びに当該製造方法を用いて製造されるデバイスを提供する。
【解決手段】 キャビティ１２１と、圧力発生素子１５０と、ノズル開口１１１とを有する液滴吐出ヘッドの駆動方法であって、駆動信号に応じてノズル開口から複数の液滴Ｄを順次吐出し、当該液滴を被塗布領域に着弾させて塗布液を塗布し、液滴が被塗布領域に着弾した際に、当該塗布液の外側方向の振動と、当該塗布液の内側方向の振動とが生じ、塗布液の内側方向の振動が生じると同時に、液滴が被塗布領域に着弾するように、圧力発生素子に駆動信号を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動板の変形ばらつきがなく吐出効率に優れたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 振動板１２の表面には所定の寸法をもつ凹部１８が所定の配置ピッチに従って設けられている。例えば本実施形態では正方形形状の凹部（１辺３０μｍ、深さ５μｍ）をピッチ１２０μｍで配置している。破線で示す範囲が圧電素子２０の接着される範囲となる。すなわち凹部１８は圧電素子２０との接合面および周辺に設けられている。これにより図１（ａ）のように、振動板１２と圧電素子２０とを接着剤２２で接合する際、余剰の接着剤２２は振動板１２の接着面に設けられた凹部１８にて吸収される。このため余分な接着剤２２が圧電素子２０の周囲にはみ出して固化し、振動板１２と圧電素子２０との接触面積・形状がばらつくことを防ぐことができる。このため圧電素子２０の変異量が一定であれば振動板１２の変位も一定となり、振動板の変形ばらつきがないインクジェット記録ヘッドとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 端のインク流路支流と内側のインク流路支流との伝播される圧力波の後退成分の特性差を抑制し、端のインク流路支流に連通された圧力室と内側のインク流路支流に連通された圧力室とのクロストークの発生の程度、インクの吐出性能の差を抑制する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド１０では、インク流路本流４６から複数のインク流路支流４８が分岐しており、両端のインク流路支流４８の外側には、バッファ流路５４がインク流路本流４６から分岐して延出している。このバッファ流路５４を設けることで、端のインク流路支流４８は、内側のインク流路支流４８と同様、燐設された両側の流路へ圧力波の後退成分を伝播させるので、端のインク流路支流４８と内側のインク流路支流４８との圧力波の後退成分の特性差が抑制され、端のインク流路支流に連通された圧力室と内側のインク流路支流に連通された圧力室とのクロストークの発生の程度、インクの吐出性能の差が抑制される。 （もっと読む）