【課題】フィードバック制御部の安定性を損なうことなく、高速応答性を向上させることができ、測定精度を向上させることができる測定機の提供。
【解決手段】表面性状測定機１は、被測定物Ｗに当接する接触子４１Ａと、被測定物Ｗの表面に倣って接触子４１Ａを移動させるセンサ駆動機構４３と、センサ駆動機構４３を制御する制御装置３と、被測定物Ｗに当接することで接触子４１Ａにかかる測定力を検出する力センサ４１とを備える。制御装置３は、測定力の目標値を出力する目標値出力部３１と、目標値に対する測定力の偏差に基づいて、センサ駆動機構４３をフィードバック制御するフィードバック制御部３２と、フィードバック制御部３２に設けられるフィードバック補償器３２２とを備える。フィードバック補償器３２２は、測定力に応じてフィードバック補償する。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計による形状測定時に発生する力を短時間で正確に算出できるようにする表面形状測定用触針式段差計の空気抵抗補正方法。
【解決手段】支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の空気抵抗補正方法において、針圧発生装置を作動させて探針を上端から下げ、下端で一回跳ね返る際の探針変位の時間変化を測定し、測定した探針変位の時間変化に基づき探針の速度と力の関係を求め、探針の速度がほぼゼロにあるときの力を求め、求めた力に基づいて設定値とのずれを補正し、針圧発生装置に流す電流と探針にかかる力との正しい関係を求め、設定したい力に対応するコイル電流を算出する。 （もっと読む）

【課題】
表面形状測定用触針式段差計における力の探針位置への依存性及び部品寸法のばらつきを補償できる表面形状測定用触針式段差計の力の補正方法を提供する。
【解決手段】
支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を設け、探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを設け、探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを支持体に取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の力の補正方法において、
探針の針先の変位成分ｚと探針の針先での力の関係を予め測定して関係式を求めてコンピュータにプログラムしておき、表面形状測定時には探針の針先の変位成分ｚをリアルタイムでモニターし、その関係式を用いて力発生用コイルに流す電流をコンピュータで制御することにより、探針の針先の変位成分ｚの変化を補償する。 （もっと読む）

【課題】加工品に接触する際にヒステリシス効果を最小限にする代替方法を提供する。
【解決手段】プローブヘッド基部５６と触針２２とを有するプローブヘッド２６が提供され、前記触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して移動可能である。触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して画定された静止位置を有している。接触のために、触針２２が表面点に画定された接触力で触れるまで、プローブヘッドが加工品に対して移動する。静止位置に対する触針２２のヒステリシス作用を表す補正データ記録７４が提供され、接触力が補正データ記録７４を用いて定められる。 （もっと読む）

【課題】支点部分の摩耗状況、接触状態の変化などにより生じ得る摩擦力を補償して針圧を発生できる表面形状測定用触針式段差計の摩擦力補正方法を提供する。
【解決手段】支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の摩擦力補正方法において、 針圧発生装置を作動させて探針を下げる際の加速度を測定して下降時の力を求め、下降の後に探針が下部ストッパー等で跳ね返り上昇する際の加速度を測定して上昇時の力を求め、表面形状を実際に測定する際に、針圧発生装置に流す電流を、下降時の力と上昇時の力と和の半分の力が探針にかかるように制御する。 （もっと読む）

【課題】力の微細な変動を簡単な仕方で補正して針圧を発生できる表面形状測定用触針式段差計及びその針圧補正方法を提供する。
【解決手段】触針式段差計の針圧制御方法は、表面形状測定を行いたい力の設定で探針の下ろし加速度を測定して実際の力を求め、求めた力と元の設定した力との差を、針圧発生装置のコイルに流す電流ｘと力yの関係式ｙ＝ａｘ^２＋ｂｘ＋ｃ（ａ、ｂ、ｃは定数）におけるcの値に反映させて新たな関係式を求め、こうして求めた新たな関係式に基き針圧発生装置のコイルに流す電流を設定する。 （もっと読む）

【課題】 接触力を変えながら小さな接触力で被測定物の表面形状を測定できる形状測定器を提供する
【解決手段】 測定プローブ３２を傾斜θを持たせて支持する。測定プローブ３２の後退する力は、傾斜θによって生じているため、自重ｍに比べて遙かに小さいｍｇsigθとなる。一方、エアシリンダ４０で押出力Ｆcで付勢する。このため、ワークＷへの測定プローブ３２の接触力は、測定子自重傾斜成分ｍｇsigθと、エアシリンダ４０の押出力Ｆcとの差分（Ｆ＝Ｆc−ｍｇsigθ）になるので、接触力を非常に小さくすることが可能である。更に、エアシリンダ４０で押出力Ｆcを変えることで、接触力を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】測定子のたわみ量が考慮され、測定部位間の寸法が小さい場合であっても、その寸法を正確に測定できる測定装置および測定装置の提供。
【解決手段】測定装置は、ケース本体と、測定部位１０１，１０２に先端部５１１Ｂ，５２１Ｂがそれぞれ当接され互いに近接離隔可能な一対の測定子５１，５２と、一対の測定子５１，５２の基端部５１１Ｃ，５２１Ｃ間の相対移動量を検出する移動量検出手段と、移動量検出手段による検出値を基に測定部位１０１，１０２間の寸法を算出する演算制御手段とを備える。演算制御手段により、予め設定された計算式において、移動量検出手段による検出値に基く測定部位１０１，１０２間の検出値Ｘが、測定子５１，５２の測定部位１０１，１０２との当接によるたわみ量Ｔ１，Ｔ２に相当する値を用いて補正され、測定部位１０１，１０２間の寸法の真値Ｙが算出される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、シート状電極材上の電極合剤層の表面形状および構成材料に関係なく、所定領域の平均的な膜厚を常に高い精度で測定できる接触式膜厚測定機を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の接触式膜厚測定機は、平坦な載置表面を含む定盤と、載置表面に平行に延びる平坦な接触表面を含む測定子とを備え、定盤の載置表面と測定子の接触表面で薄膜部材を挟持することにより、薄膜部材の厚みを測定することを特徴とする。定盤は、少なくとも前記載置表面がセラミックからなる （もっと読む）

【課題】 再現性がよく且つ充分な精度のクリアランス（エンドプレー）測定を行うことができ無段変速機用ベルトの検査装置を提供する。
【解決手段】 所定形状に打ち抜き加工された金属エレメント（３ａ）を所定のクリアランスで多数枚積層し、その積層体を金属製の無端ベルト（２）に担持させて組み立てられた無段変速機用ベルト（１）の前記クリアランスを検査する検査装置において、前記クリアランスの標準値を若干上回る厚みのシックネスゲージ（１１）と、該シックネスゲージに連結されたプッシュプルゲージ（１２）とを備え、前記金属エレメント同士の隙間に差し込まれた前記シックネスゲージを引き抜く際の抜き力を前記プッシュプルゲージの表示値から読み取り、あらかじめ用意された抜き力とエンドプレートとの換算表を用いて、前記プッシュプルゲージの読み取り値から前記金属エレメントのエンドプレーを求める。 （もっと読む）

【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】接触式のプローブの接触荷重の変動を低減し、高速かつ高精度な３次元計測を可能にする。
【解決手段】図示しないワークに接触させるプローブ１は、板バネ２ａ、２ｂを介してステージ７に支持され、リニアモータ（１０、１１）によって上下動する。まず、位置設定器１７の指令値に従ってステージ７を移動させ、プローブ１をワークに接触させた後は、板バネ２ａ、２ｂの変位によってプローブ１の接触荷重を検出する変位センサ５と荷重設定器１８を含むプローブ荷重制御系に切換えて接触荷重を制御しながらプローブ１を走査する。走査開始直後には接触荷重に誤差が発生するため、予め設計値を用いた演算あるいはダミー走査によって求めた荷重補正信号を荷重補正器２２に蓄えておき、必要に応じてプローブ荷重制御系の出力に加える。 （もっと読む）

本発明は、物品、例えば眼鏡用のフレームリムの輪郭読取り方法であって、物品を保持する支持体及び支持体に対して回転軸線回りに回転するような仕方で設けられると共に遠位端部を備えたフィンガ（９）及びロッド（１２）から成るセンサ（８）を備えた読取り組立部品を支持した回転プラットホームを有する装置を用いる方法に関する。本発明の方法によれば、遠位端部を輪郭に沿って変位させ、遠位端部の一連の位置を検出する。本方法は、変位ステップが、プラットホームとロッド（１２）との間でロッドに平行に及ぼされる力を測定する測定ステップと、フィンガ（９）とプラットホームとの間の距離を前記力の強さが所定のしきい値よりも低いままであるような仕方で前記力に応じて制御する制御ステップとを有することを特徴とする。
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