【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】鉛直下方に延びて、材料側面に測定子１４を接触させて該材料の位置を検出するタッチプローブ１において、柱状に形成された鉛直方向に延びるプローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端に取り付けられた測定子１４と、前記測定子１４の上部であって、プローブ本体長手方向に形成された二つの切れ込み１８ａ、１８ｂと、該二つの切れ込み１８ａ、１８ｂにより、連結部が形成され、該連結部を支点２０ａ、２０ｂとして可動する可動部分と、前記支点２０ａ、２０ｂを挟むように形成される差動変圧部とを備え、互いに直交する２方向の変位を検出可能とした。 （もっと読む）

【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】鉛直面及び水平面いずれについても小さい測定力による測定を可能とする。
【解決手段】三次元形状測定装置用プローブ１は、取付用部材２、揺動部３、連結機構、アーム取付部１２０、及び板バネ９Ａ，９Ｂ、及び取付用部材２を備える。アーム取付部１２０にはスタイラス１２１が下端に配置されたアーム１２２が垂下して取り付けられている。アーム取付部１２０は板バネ９Ａ，９Ｂを介して揺動部３に保持されている。揺動部３は連結機構によって水平方向に傾動可能に取付用部材２に連結されている。揺動部３の可動側磁石と取付用部材２の固定側磁石との間の磁気的吸引力によりアーム１２２が鉛直方向に延びる中立位置に揺動部３を復元させる復元力が作用する。鉛直面測定時の測定力は可動側磁石との間の固定側磁石の磁気的吸引力により得られる。水平面測定時の測定力は板バネ９Ａ，９Ｂが鉛直方向に撓むことで得られる。 （もっと読む）

【課題】ベルト外周長を正確に測定することができるベルト外周長の測定方法を提供する。
【解決手段】ワイヤー１を引き出し自在に収容すると共にワイヤー１の引き出し長さを計測するワイヤーエンコーダー２を用いる。そして回転軸３に懸架されたベルト４にワイヤー１の先端を治具５で取り付け、回転軸３を駆動してベルト４を一周走行させると共に、ワイヤーエンコーダー２から引き出されたワイヤー１をベルト４の外周に一周巻き付ける。このときのワイヤー１の引き出し長さをワイヤーエンコーダー２で計測することによって、ベルト４の外周長を測定する。ベルト４に巻き付けたワイヤー１の引き出し長さをワイヤーエンコーダー２で計測することによって、ベルト４の外周長を自動的に測定することができ、スリップなどの問題なく、ベルト外周長を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定結果の安定性を向上する。
【解決手段】接触子２０を保持するアーム部２と、アーム部２を変位可能にする機構と、アーム部２の変位量を検知するセンサ部８と、アーム部２を直動変位可能に付勢するための付勢部材６を備えている。付勢部材６は、所定間隔を置いて平行に組み付けられた二枚の付勢板バネ６０と、各付勢板バネ６０の一部に設けられた補強部材６２と、各補強部材６２を平行に保つための平行保持部材６３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにする。
【解決手段】接触子２０を保持するアーム部２と、アーム部２を変位可能にする機構と、アーム部２の変位量を検知するセンサ部８と、アーム部２を初期位置に付勢する第一付勢部材６と、第一付勢部材６の付勢力を調整する第二付勢部材３とを備え、第二付勢部材３は、コイルバネ３０と、コイルバネ３０の一端部を所定方向に支持する固定部３１と、コイルバネ３０の他端部をアーム部２に連結するジョイント部３２とを備え、アーム部２の変位に追従して、コイルバネ３０が屈曲変形するよう構成されており、アーム部２の変位に拘らず、ワークに対する接触子２０の押付力を所定範囲内に保つ。 （もっと読む）

【課題】測定結果の安定化と、ワーク表面を傷つけないようにする。
【解決手段】接触子２０を保持するアーム部２と、アーム部２を変位可能する機構５と、アーム部２の変位量を検知するセンサ部８とを備え、アーム部２を変位し接触子２０をワークＷに当接してワークＷの寸法を測定する寸法測定ヘッドにおいて、アーム部２は、初期位置に付勢する第一付勢部材６と、第一付勢部材６の付勢力を調整する第二付勢部材３とを備え、アーム部２の変位に拘らず、ワークＷに対する接触子２０の押付力を所定範囲内に保つように構成している。 （もっと読む）

【課題】接触式のプローブの接触荷重の変動を低減し、高速かつ高精度な３次元計測を可能にする。
【解決手段】図示しないワークに接触させるプローブ１は、板バネ２ａ、２ｂを介してステージ７に支持され、リニアモータ（１０、１１）によって上下動する。まず、位置設定器１７の指令値に従ってステージ７を移動させ、プローブ１をワークに接触させた後は、板バネ２ａ、２ｂの変位によってプローブ１の接触荷重を検出する変位センサ５と荷重設定器１８を含むプローブ荷重制御系に切換えて接触荷重を制御しながらプローブ１を走査する。走査開始直後には接触荷重に誤差が発生するため、予め設計値を用いた演算あるいはダミー走査によって求めた荷重補正信号を荷重補正器２２に蓄えておき、必要に応じてプローブ荷重制御系の出力に加える。 （もっと読む）

測定されるべき物体（１５）に接触するためのセンス部材（１８）を備えたスタイラス（１４）と、前記スタイラス（１４）が弾性手段（１９）を通じて接続された支持ユニット（１３）と、導電材料中に渦電流を発生させることによって前記スタイラス（１４）の振動を減衰させるための磁石手段（４６）とを有するプローブを持つ座標測定装置。前記弾性手段（１９）は、導電材料でできた少なくとも１つの板ばね（４１）を有し、前記磁石手段（４６）は、前記板ばね（４１）中に渦電流を発生させる。
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