【課題】 地磁気や外部磁界の影響を受けないで発信出力を受信することができる。
【解決手段】 基準部位に取付けられ交番電流により交番磁束を発生させる送信コイル３と、動作部位に取付けられ上記交番磁束を検知する受信コイル４と、上記交番電流を発生させる発振器１の発振波形と上記交番磁束を検知する受信コイル４の受信波形との同期検波を行う同期検波回路６とを有する。また、送信コイル３に対し異なる動作部位に複数の受信コイル４を備え、この複数の受信コイル４を切り替えるマルチプレクサ１０を備える。 （もっと読む）

【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 方向により感度差が発生しないセンサ回路を提供すること
【解決手段】 比較の基準となる固定容量COを設け、前記固定容量COと物理量に応じて容量が変化する一対の可変容量C1, C2とを比較して、その差を出力するものとしている。 （もっと読む）