【課題】 移動体の位置検出ポイントが広い間隔をあけて複数存在する場合でも、移動体を高い精度で位置決めすることができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 磁界を発生させる磁界発生部材７と、磁界を検出する第１，第２，第３の磁界検出素子６Ａ，６Ｂ，６Ｃから成る磁界検出手段６と、磁界発生部材７を移動させる圧電アクチュエータＰとを備える。磁界検出手段６での検出結果に基づいて磁界発生部材７と磁界検出手段６との相対的な位置決めを行う際、磁界発生部材７が移動する可動範囲において、所定領域では第１，第２の磁界検出素子６Ａ，６Ｂの検出結果に基づいて第１の位置決めを行い、所定領域から離れた所定ポイントでは第３の磁界検出素子６Ｃの検出結果に基づいて第２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 板ばねの撓みによる横ずれを抑制し、変位検出を正確にできる変位検出器を提供すること。
【解決手段】 板ばね２２１Ａ〜Ｄによって対物レンズ１を光軸方向に変位させる構成の合焦点式変位検出器において、対物レンズ１の横ずれを補正するための板ばね３１１Ａ〜Ｄが設けられる。板ばね２２１Ａ〜Ｄが撓められると、対物レンズ１は光軸方向と垂直な方向に横ずれするが、このとき、板ばね３１１Ａ〜Ｄを撓めることによって、横ずれを相殺する。横ずれを相殺することによって、対物レンズ１の軌道を正確に光軸方向と一致させることができるので、光源から出射され対物レンズ１を通じて被測定物Ｗ上に照射される光の照射位置が所期の照射位置Ｐからずれることがない。そのため、被測定物Ｗの表面形状が対物レンズ１の光軸に対して大きく傾斜している場合であっても、変位検出を正確にできる。 （もっと読む）

【課題】 第１の検出手段の検出結果に基づいて得られた位置データが、基準位置を示すデータからずれてしまうことがある。
【解決手段】 対象物（１０２、１０３）の移動に応じて周期的に変化する検出信号を出力する第１の検出手段（１０５）と、対象物の基準位置を検出する第２の検出手段（１００）と、検出信号に基づいて、対象物の位置に応じた位置データを求める演算手段と、第２の検出手段の検出時における位置データが基準位置を示すデータと略一致するように、第１および第２の検出手段のうち少なくとも一方の位置を調節する調節手段（１１０）とを有する。 （もっと読む）

座標測定器に使用するための測定用探針は、座標測定器に連結された基部１と、測定先端部４と、測定先端部４の第１端部に配置された球５とを含む。前記測定先端部４は、別の端部において、前記基部１によって支持された少なくとも３個の剛性支持体２を用いて支持され、これによって前記支持体２は球形連結部によって前記測定先端部に連結され、前記支持体２は、前記基部１に対してこれらの長手方向に沿って変位可能である。
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座標測定機に使用するための測定プローブが、座標測定機に接続された基部１、測定チップ４、および測定チップ４の第１の端部に配置された球５を有している。測定チップ４は、基部１によって支持される少なくとも３つのリジッドな支持体２を用いてその第２の端部で支持され、それにより支持体２が球形の接続部によって測定チップに接続され、支持体２をその長さ方向に沿って基部１に対して移動させることが可能になる。支持体２は、程度にかかわらず基部１の測定チップ・ホルダ３と反対の側に突出することによって基部１を貫通すること、およびその長さ方向に沿って移動させることができるように配置されている。
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【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）