【課題】微弱信号を増幅可能な増幅装置を提供する。
【解決手段】増幅装置は、被測定系の観測量＾Ａを測定する際に、測定器と、初期状態が事前選択された被測定系を相互作用させ、次に被測定系の終状態を事後選択し、測定器の波動関数ξ（ｐ）を用いて物理量の測定を行う。被測定系の量子状態の事前選択状態、事後選択状態それぞれのベクトルを｜ｉ＞、｜ｆ＞とするとき、式（１）の弱値Ａ_Ｗが既知であり、Ａ_Ｗ＝＜ｆ｜＾Ａ｜ｉ＞／＜ｆ｜ｉ＞…（１）、測定器と被測定系の相互作用ハミルトニアンＨが、測定器の運動量演算子＾ｐおよび結合係数ｇ（ただしｇ＞０）を用いて式（２）で与えられ、Ｈ＝ｇ・δ（ｔ−ｔ_０）・＾Ａ・＾ｐ…（２）、＾Ａ^２＝１のときに、測定器は、波動関数ξ（ｐ）が運動量表示で実質的に式（３）となる。
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【課題】ターゲットの位置決め範囲が従来より狭く、かつ、測定光の光軸が固定されたレーザ干渉計であっても、測定光の光軸方向を測定可能な方法を提供すること。
【解決手段】レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。レーザ干渉計１０４は、測定光を再帰反射体１０６に照射し、その反射光と参照光との干渉光強度を検出する。ハンドリング装置１０２は、再帰反射体１０６を測定位置まで移動して位置座標情報を検出する。まず、レーザ干渉計１０４が干渉光を検出でき、かつ同一平面上に存在しない少なくとも４つの測定位置ｐ_ｉを選ぶ。再帰反射体１０６を各測定位置ｐ_ｉに移動させて、その位置座標情報を検出する。レーザ干渉計１０４が再帰反射体１０６までの距離の変化量を測定する。各測定位置の位置座標情報と各距離の変化量に基づき測定光のベクトル情報 ａ を算出する。 （もっと読む）

【課題】 測定される距離の測定誤差を容易に低減できる追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法を提供する。
【解決手段】 追尾式レーザ干渉計１は、移動体に取り付けられたレトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２を有する本体２と、追尾用光学部２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備えるものであって、制御手段３は、レトロリフレクタＲに入射する測定光Ｌ２とレトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２とを平行とするように検出器２２２で受光される測定光Ｌ２１の目標位置Ｑ２を設定する目標位置設定部３２と、本体２の姿勢を制御し、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を目標位置Ｑ２に入射させる姿勢変更部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転対称な線織面で構成される被検面の形状等を短時間で測定することが可能な光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９の被検面（コバ部表面９５、嵌合面９８、嵌合部底面９９）に対し、顕微干渉計１から測定光軸Ｌに沿って収束しながら進行する低可干渉性の測定光を照射し、被検面の回転位置毎に対応した各回転位置別干渉縞を第１撮像カメラ２４の１次元イメージセンサ２３により撮像する。この各回転位置別干渉縞の画像データに基づき被検面の形状が解析される。 （もっと読む）

【課題】 調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 光源から射出された光を２つの光束に分割し該２つの光束を重ね合わせることによって生成された干渉光の強度の変動を観測することによって被検物の変位を計測する干渉計測装置は、複数の部分領域を有する受光領域を備え、前記複数の部分領域のそれぞれで前記干渉光を受光する受光部と、前記複数の部分領域のそれぞれでの受光結果に基づいて、前記受光領域における前記干渉光の位相分布の均一性を示す指標を求める処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】互いに離間した複数の平面または回転対称な線織面からなる被検面の傾斜角度を、被検面を傷付けることなく、高精度に測定することが可能な傾斜角度測定装置を得る。
【解決手段】アライメント用反射平面４１および測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを有する反射素子４０を、被検面９１Ａ，９１Ｂから離間した位置に保持し、干渉計１０から反射素子４０に向けて測定光を照射する。アライメント用反射平面４１からの戻り光により形成される干渉縞画像に基づき、干渉計１０に対する反射素子４０のアライメントが調整される。測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂにおいて偏向されて被検面９１Ａ，９１Ｂに照射され、再帰反射されて測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを経由し干渉計１０に戻る被検光により形成される干渉縞画像に基づき、被検面９１Ａ，９１Ｂの相対傾斜角度が解析される。 （もっと読む）

【課題】非球面体の内部屈折率分布の影響を受けることなく、また、非球面体が測定光を透過しないものである場合でも、面ずれ量および面倒れ量を測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた反射波面測定により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の形状データを求める。各形状データをツェルニケ多項式で近似し、そのときのツェルニケ多項式の係数Ｚ_１，Ｚ_２の値を求めるとともに、各形状データから第１被検面の頂点偏芯の値および第２被検面の頂点偏芯の値を求める。求められたこれらの値に基づき、第１測定光軸Ｌ_１に対する第１レンズ面９１のシフト量およびチルト量と第２測定光軸Ｌ_２に対する第２レンズ面９２のシフト量およびチルト量を求め、求められた各々のシフト量およびチルト量と、第１干渉計１Ａおよび第２干渉計１Ｂの相対位置関係とに基づき、面ずれ量および面倒れ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】物体の角変位を測定する回転型干渉計の重量を軽減すると共に角度範囲を増大させる。
【解決手段】レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。参照ビームは、固定の参照再帰反射器に、次いで位相シフト検出器に方向付けられる。測定ビームは、物体の回転可能な反射面、次いで固定の測定再帰反射器、次いで回転可能な反射面に引き返し、次いで位相シフト検出器に方向付けられ、その結果位相シフト検出器は、回転可能な反射面が変位するときに測定ビームの経路の長さが変わるときの回転可能な反射面の角変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】試験対象物の第１及び第２表面を干渉法によってプロファイルすることに加えて、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づき、試験対象物の幾何学的特性を測定する。
【解決手段】本発明は、試験対象物の幾何学的特性を測定するための方法を特徴とする。この方法は、第１基準面に対して、試験対象物の第１表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面とは異なる第２基準面に対して、試験対象物の第２表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係を提供する工程と、干渉法によってプロファイルした表面、並びに第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づいて、試験対象物の幾何学的特性を計算する工程とを含む。ある実施形態では、この空間的関係は、校正済みのゲージ・ブロックを使用することによって、または変位測定干渉計を使用することによって測定することができる。対応するシステムも説明される。 （もっと読む）

【課題】回転機構の回転角度を適切に取得することができる追尾式レーザ干渉測長計の提供。
【解決手段】追尾式レーザ干渉測長計１は、第１の再帰反射体としての測定基準器２と、被測定物Ｗに取り付けられる第２の再帰反射体としてのターゲット３と、測定基準器２にレーザ光源から出射される光を導くとともに、測定基準器２にて反射された光を出射する本体部４と、測定基準器２を中心として本体部４を回転させる回転機構５と、回転機構５を制御する制御装置６とを備える。本体部４は、測定基準器２にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する二次元ＰＳＤを備える。制御装置６は、回転機構５の回転角度を取得する角度取得部６３と、二次元ＰＳＤにて検出される光の位置に基づいて、角度取得部６３にて取得される回転機構５の回転角度を補正する角度補正部６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。
【解決手段】干渉計１Ａは、干渉計１Ａから射出される光の光量を調整可能に構成された調光手段３Ａと、受光手段４７，４９の受光量が所定の第１閾値以下か否かを判定する第１判定手段と、第１判定手段が、受光量が第１閾値以下と判定した場合、調光手段３Ａに、干渉計１Ａから射出される光の光量の低減を命じる低減信号を出力する低減信号出力手段とを備える。調光手段３Ａは、低減信号が入力された場合、光源から射出される光の光量を低減させる。従って、干渉計１Ａが反射体１０１を見失ってしまった場合、調光手段３Ａが干渉計１Ａから射出される光の光量を低減させることとなるので、干渉計１Ａの周囲で作業する人に干渉計１Ａから測定光が照射されてしまうことを防止でき、移動体２までの距離を安全に測定できる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の角度の測定に際し、測定精度を高めることができるようにする。
【解決手段】ロータリエンコーダ４１は、十字線などのレチクル４２と機械的に連動して回転するように構成され、レチクル４２が回転操作されると、その回転操作に応じたパルス信号を出力する。CPU３１は、そのパルス信号から回転角度を算出し、その回転角度に応じた補正値を、補正テーブル保持部３４の補正テーブル３４ａから取得し、その補正値を用いて回転角度を補正する。そして、カウント表示部３３は、補正後の正確な回転角度を表示する。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】組み付け作業を簡略化できるようにする。
【解決手段】十字線レチクルスケール円板２５は、周方向に沿って形成されるエンコーダスケールパターン２５ｂと、被測定物の像を結像する対物光学系の結像位置に形成される十字線レチクルパターン２５ａとを有し、エンコーダセンサヘッド２８は、被測定物の像に重畳された十字線レチクルパターン２５ａの回転操作に応じて光軸回りを回転する十字線レチクルスケール円板２５に形成されたエンコーダスケールパターン２５ｂを読み取って、十字線レチクルスケール円板２５の回転量及び回転方向を検出し、その検出結果を示す信号をカウンタ表示部に供給して表示させる。これにより、芯出し調整の回数を減らすことができ、組み付け作業を簡略化することができる。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】光軸のずれを検出するセンサが小型で、その検出範囲が狭い場合でも、測定中に正確な絶対距離を推定可能とする。
【解決手段】レーザ干渉計１０１と、該レーザ干渉計の光軸のずれを検出する光軸ずれ量検出センサ１０２と、前記レーザ干渉計を任意の方向に向ける２軸回転機構１０４と、該２軸回転機構の回転角を検出する角度センサ１０５と、入射光と平行な方向に反射光を反射する再帰反射体１０７と、前記光軸ずれ量検出センサと角度センサの信号を元に再帰反射体を追尾するように２軸回転機構を駆動するコントローラ１０８とを有する追尾式レーザ干渉計において、前記再帰反射体の停止を検出し、該停止検出時に、前記光軸ずれ量検出センサで求めた移動中の光軸のずれ量の総和と、前記角度センサで求めた移動中の回転角を元に距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】斜入射干渉計及び斜入射干渉計の較正方法の改良に関する。
【解決手段】斜入射干渉計は、可干渉性の光束を参照光束と測定光束とに分割し、測定光束が被測定物に斜入射されかつ被測定物の被測定面で反射された測定光束を参照光束と合成して干渉光束を生じさせる。干渉光束を撮像した干渉縞画像からの干渉縞信号に基づき被測定面の形状を解析する解析処理装置とを備え、解析処理装置には被測定面として平坦面と平坦面に対して平行でかつ高さが異なりしかも高さが既知の段差面を有する較正用治具に基づき入射角絶対値を求める較正手段が設けられ、較正手段は高さを入力する入力手段と、平坦面と段差面とに基づく干渉縞画像から被測定面に対応する位相分布を算出する位相分布算出手段と、位相分布に基づいて平坦面と段差面との位相差を算出する位相差算出手段と、位相差に基づき入射角絶対値を算出する入射角算出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光が遮断される等の理由により追尾できなくなったときに追尾を自動的に復帰可能とする、あるいは、測定開始時に初期調整作業の自動化を可能とする追尾式レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】被測定体であるレトロリフレクタ３００に向けて照射し、該レトロリフレクタ３００によって戻り方向に反射されたレーザビーム１０２の干渉を利用してレトロリフレクタ３００の変位を検出すると共に、前記レーザビーム１０２の光軸の位置の変化を用いて２軸回転機構２４０によりトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、前記レーザビーム１０２の光軸を含む扇形状であって、前記２軸回転機構のうち該扇形の中心軸と直交する軸の回転動作に連動可能な、扇状レーザ光６０２を出射する光照射体６００と、前記レトロリフレクタ３００又は光照射体６００と特定の位置関係を有して、該扇状レーザ光を受光する受光体６２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転移動するような被検面の姿勢の変化を、３次元的かつ高精度に測定することが可能な姿勢変化測定方法および装置を得る。
【解決手段】各々の面法線Ｎ_１，Ｎ_２の向きが互いに異なる第１および第２の反射平面３１，３２を有する測定用治具３を被検面５上に設置し、該被検面５が回転移動する過程の複数時点において、第１および第２の反射平面３１，３２の各傾斜情報が担持された干渉縞画像を干渉計１によりそれぞれ撮像する。撮像された各々の干渉縞画像を解析することにより、第１および第２の反射平面３１，３２の各面法線Ｎ_１，Ｎ_２の向きの変化分、および交線３３の向きの変化分を求め、この求められた結果に基づいて、直交３軸回りの被検面５の各回転角度を算定する。 （もっと読む）

【課題】移動体計測用干渉計の測定精度を向上させること。
【解決手段】ステージ装置１０１は、ステージ１０の位置又は姿勢を計測するＸ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３と、Ｘ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３のレーザビームの波長変化を補償する波長補償器１と、温度制御された気体を供給する温調器１２に接続され、Ｘ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｘ、１４ｙと、温調器１２に接続され、波長補償器１に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｃと、を備える。前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 （もっと読む）

【課題】測定する傾斜角度が所定の角度範囲に限定されるような傾斜角度測定用の干渉計における角度感度を、容易かつ高精度に較正することが可能な干渉計角度感度較正方法を得る。
【解決手段】被検面の傾斜角度に対応した所定の被測定角度範囲内においては、被検面の単位長さあたりの干渉縞の本数と傾斜角度との間に、比例関係が成立するとみなして所定の角度感度式を設定し、この設定した角度感度式の比例係数を、被測定角度範囲内の基準傾斜角度をなすように設定された基準傾斜面３１の測定結果に基づき較正する。 （もっと読む）