【課題】コストの増加を抑えながら参照面と被検面との間の光路長差の変化に起因する計測誤差を低減し、参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置を提供する。
【解決手段】周波数を走査可能なｎ（ｎ＝２以上の整数）個の光源と、前記ｎ個の光源からのそれぞれの光を分割し、参照面と被検面とに入射させる分割素子と、前記参照面で反射された光と、前記被検面で反射された光との干渉により形成されるｎ個の干渉光を検出して干渉信号を出力する検出部と、前記距離を求める処理部と、前記処理部は、前記ｎ個の光源のうち１つの第１光源からの光の周波数を第１方向に第１走査速度で走査するように制御し、且つ、前記ｎ個の光源のうち他の１つの第２光源からの光の周波数を第１方向とは逆の第２方向に前記第１走査速度とは異なる第２走査速度で走査するように制御し、前記ｎ個の光源を制御している間の前記干渉信号に基づいて、前記距離を求める。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第１光源、第２光源、第１検出器、第２検出器及び算出部を備える。第１光源は第１波長と第２波長との間で波長が走査された走査区間を含む第１光を生成する。第２光源は第３波長の第２光を生成する。第１検出器は第１光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第１干渉縞を検出する。第２検出器は第２光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第２干渉縞を検出する。第３波長は第１波長及び第２波長の合成波長より短い。算出部は第１時刻において第２干渉縞の位相のデータから第２干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第１時刻より後の走査区間における第１干渉縞の位相の変化に基づいて第１時刻以降における第２干渉縞の次数を算出し、該算出された第２干渉縞の次数を用いて第１時刻以降における被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】高精度に被検面と参照面の間の絶対距離を計測可能な計測装置および計測方法を提供する。
【解決手段】第１の基準波長λ_１と第２の基準波長λ_２との間で波長走査が可能な光源１１と、第３の基準波長λ_３の光を射出する光源１０を有する光波干渉計測装置は、各波長に対応した干渉光の信号に基づいて被検面と参照面との間の光路長に相当する位相の誤差を補正し、誤差が補正された位相に基づいて被検面と参照面の間の絶対距離を算出する処理部１９を有する。 （もっと読む）

【課題】１つの縦モードおよび２つの縦モードが混在している状態で半導体レーザーからレーザー光が出射されているか否かを容易に検知することが可能な検知システムを得る。
【解決手段】検知システムは、固定鏡１５、移動鏡１６、半導体レーザー２２から出射されたレーザー光を分割し固定鏡１５および移動鏡１６の各々に反射したレーザー光を合成する光束分岐手段１４、光束分岐手段１４によって合成されたレーザー光を受光する受光手段２５、および制御部２６を備える。制御部２６は、検知システムが上記の検知を行なう際には、固定鏡１５に反射されるレーザー光と移動鏡１６に反射されるレーザー光との光路差が変化するように、移動鏡１６を移動させる。上記の検知は、受光手段２５により受光されるレーザー光の干渉信号がレーザー光のコントラストが変化することによって不連続になったか否かに基づいて行なわれる。 （もっと読む）

【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測するために有利な波長走査干渉計を提供する。
【解決手段】波長走査干渉計は、光源から射出される光束の波長を変更しながら該光束から分割された参照光と被検光との干渉光の信号に基づいて被検体までの絶対距離を計測する。波長走査干渉計は、前記光源から射出される光束の波長が互いに等しい時刻である第１時刻およびその後の第２時刻と、前記第１時刻、前記第２時刻のそれぞれにおける前記干渉光の信号の周波数である第１周波数、第２周波数とに基づいて、前記被検体の移動による誤差成分が低減された絶対距離を算出する処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物までの絶対距離を良好に算出できる絶対距離測定方法を提供する。
【解決手段】絶対距離測定方法は、被測定物が静止した状態で、共振器長を変化させて、レーザ光の波長を変更する波長変更工程Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｄ，Ｓ１Ｇと、レーザ光の発振周波数が複数の飽和吸収線の各周波数にそれぞれ合致した各時点での各干渉信号の位相を検出する位相検出工程Ｓ１Ｂ，Ｓ１Ｅ，Ｓ１Ｈと、複数の飽和吸収線の各周波数と各干渉信号の位相とに基づいて、被測定物までの第１の絶対距離を算出する第１絶対距離算出工程Ｓ１Ｊとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で高速に絶対距離計測が可能な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、第１基準波長λ_１と第２基準波長λ_２との間で周期的に波長走査をして光束を射出する波長可変レーザと、第３基準波長λ_３の光束を射出する波長固定レーザと、前記波長可変レーザおよび前記波長固定レーザから射出した光束を参照光束および被検光束に分割する光束分割素子と、前記参照光束を反射する参照面と、前記被検光束を反射する被検面と、前記参照光束と前記被検光束との干渉信号から位相を検出する位相検出部と、第３基準波長λ_３、第１合成波長Λ_１２、第２合成波長Λ_１３、波長走査の際の位相変化量の整数成分、および、第１合成波長と第２合成波長の干渉次数から逐次的に第３基準波長λ_３の干渉次数を決定し、被検面と参照面との間の絶対距離を算出する解析装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、参照面と被検面との間の絶対距離を高精度に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光源から射出される光の波長を、既知の真空波長である第１の基準波長又は第１の基準波長とは異なる既知の真空波長である第２の基準波長に設定するための波長基準素子と、参照面と被検面との間の空間の群屈折率を検出する屈折率検出部と、参照面で反射された光と被検面で反射された光との干渉信号を検出して、干渉信号から参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出する位相検出部と、波長基準素子を用いて第１の光源から射出される光の波長を第１の基準波長から第２の基準波長に連続的に変更させながら第１の基準波長及び第２の基準波長のそれぞれについて、参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出するように位相検出部を制御して、絶対距離を求める処理部とを有する計測装置。 （もっと読む）

【課題】少ない計算量で計数誤差を補正する。
【解決手段】振動周波数計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７と、計数装置７の計数結果から物体１０の物理量を求める演算装置８とを有する。計数装置７は、一定の計数期間における干渉波形の周期を測定し、この測定結果から干渉波形の周期の平均値を代表値として算出し、測定した１周期を１つの信号として計数すると共に、測定した周期が代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満の場合は、計数の結果にｎを加算することを、計数期間中の周期の全測定結果について行う。 （もっと読む）

【課題】 干渉計と波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの量子化誤差に起因する計測誤差を低減した位置計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 移動体の位置を計測する干渉計と、前記干渉計の計測光の光路における気体の状態に起因する前記計測光の波長変動を補償する波長補償器と、前記干渉計と前記波長補償器の出力に応じた位置計測値を出力する制御器と、を備える位置計測装置であって、前記制御器は前記干渉計および前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換器を含み、前記波長補償器の出力をデジタル信号に変換するときの分解能が、前記干渉計の出力をデジタル信号に変換するときの分解能よりも高い。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第１多波長光源２００ａと、第１多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第２多波長光源２００ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ６と、第２多波長光源２００ｂからの光束を反射する参照面７と、第１多波長光源２００ａからの光束を反射する被検面８と、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の干渉信号を分光する分波器９ａ、９ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置１０ａ、１０ｂと、検出装置１０ａ、１０ｂからの信号を処理して参照面７と被検面８との間の光路長差を算出する解析装置１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減させることができ、構成を簡素化することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、レーザ光を反射する参照鏡４、及び測定鏡５を備える。また、レーザ干渉計１は、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光を変調信号の周波数に対して２以上の整数倍となる周波数のサンプリング周波数でサンプリングしてサンプリング値を取得するサンプリング手段７１と、サンプリング手段７１にて取得される時系列のサンプリング値をサンプリング周波数に応じて平均して平均値を算出する平均値算出手段７２１とを備え、平均値算出手段７２１にて算出された平均値に基づいて、測定鏡５の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】二光束の光路長差が安定に一定となる構成を備えることにより光源波長の変動をｐｍ以下の精度、分解能で測定可能な波長ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の波長ずれ測定装置は、光源から射出される光束の波長の変動量を測定する波長ずれ検出センサＷＬＣＤ１であって、光源から射出された光束を複数の光束に分割し、複数の光束のうち二光束を合成して干渉光を生成するビームスプリッタＢＳ２と、ビームスプリッタＢＳ２により分割された二光束の光路長差が一定になるように設けられたスペーサ部材ＳＰと、ビームスプリッタＢＳ２により生成された干渉光を検出する複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋とを有し、複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋は、干渉光に基づいて互いに位相がずれた複数の干渉信号を出力し、複数の干渉信号を用いて波長ずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、レーザ光の干渉に基づき測長を行う。レーザ干渉測長装置は、変調信号Ｓｇ２にて変調されたレーザ光Ｌ１を生成するレーザ光生成部１０と、レーザ光生成部１０からのレーザ光Ｌ１を移動鏡３０に照射して測長情報を含んだ計測光Ｌ４を得ると共に計測光Ｌ４を参照光Ｌ２と干渉させて受光して測長情報を含んだ電気信号φＡ、φＢを生成する干渉計測部２０と、電気信号を所定周波数に同期するようにサンプリングしてサンプリング電気信号φＡ（ｎ）、φＢ（ｎ）を生成するサンプリング部４０と、信号φＡ（ｎ）、φＢ（ｎ）に基づき測長情報を算出する変位算出部５０と、変調信号Ｓｇ２に基づき、算出された測長情報に含まれる変調成分を除去する変調成分除去部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、レーザ光に基づき測長を行う。レーザ干渉測長装置は、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ４にて変調されたレーザ光Ｌ１を生成するレーザ光生成部１０と、レーザ光生成部１０からのレーザ光Ｌ１を移動鏡３０に照射して測長情報を含んだレーザ光Ｌ４を得ると共にレーザ光Ｌ４を受光部２０ｂで受光して測長情報を含んだ第１、第２電気信号φＡ、φＢを生成する干渉計測部２０と、変調周波数ｆｍの変調信号Ｓｇ２に基づいて生成されたサンプリング周波数ｆｓのタイミング信号Ｓｇ８に同期するように第１、第２電気信号φＡ，φＢをサンプリングするサンプリング部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザの波長変化の制御を容易にし、三角波頂点の過渡応答の影響を軽減する。
【解決手段】物理量センサは、半導体レーザ１と、少なくとも発振波長が連続的に単調増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第２の発振期間と第１の発振期間から第２の発振期間への間で発振波長が最大値で一定の第３の発振期間と第２の発振期間から第１の発振期間への間で発振波長が最小値で一定の第４の発振期間とが繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、フォトダイオード２の出力に含まれる、レーザ光と戻り光との自己結合効果によって生じる干渉の情報から、測定対象の物理量を計測する計測手段（電流−電圧変換増幅器５、フィルタ回路６、計数装置７、演算装置８）とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる波長間の波長差を、簡易な構成により測定して、複数の異なる波長によって定められる合成波長を正確に特定することで、高精度な測定を可能にした多波長干渉計を提供する。
【解決手段】異なる波長λ_１、λ_２（λ_１＞λ_２）の出射光を用いて多波長干渉計測を行う。波長観測用反射部材２０は、光路長ｌａだけ離間して配置された反射面２０Ａと２０Ｂとを備える。ビームスプリッタ１９で反射されて反射面２０Ａ及び２０Ｂでそれぞれ反射された光が撮像装置２１に達し、干渉縞を生じさせる。このような干渉縞画像を異なる波長λ_１、λ_２を用いてそれぞれ取得し、それぞれの干渉縞の位相を算出する。この算出された位相を用いて合成波長Λを算出する。 （もっと読む）

【課題】距離の測定精度を向上させる。
【解決手段】距離計は、半導体レーザ１に発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間とを交互に繰り返させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置８とを有する。計数装置８は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、度数分布から干渉波形の周期の中央値を算出し、度数分布から、中央値の０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、中央値の１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいて計数結果を補正する。 （もっと読む）

本発明は自己混合干渉計用のレーザーセンサに関する。当該レーザーセンサは、レーザー放射線を放出する少なくとも1つの半導体レーザー光源及び該レーザー光源のレーザー放射線を観測する少なくとも1つの光検出器(6)を有する。前記レーザー光源は、第1端部ミラー(4)の前面上の層構造(15)内に設けられた利得媒体(3)を有するVECSELである。前記第1端部ミラー(4)は外部の第2端部ミラー(5)を備えた外部共振器を形成する。提案された当該レーザーセンサは、検出範囲を広げ、かつ低コスト製造プロセスでの製造が可能である。
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