【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサでは、光干渉信号方式としてホモダイン干渉方式があり、センサの構成は簡単であるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度ずらせて、計測光パルスと干渉させることにより、２つの干渉出力ｉ、ｊを得て、その参照光と計測光とから２つの余弦信号ｃｏｓθｉ、ｃｏｓθｊを算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θｉ、θｊを求めることにより、干渉光のレベル、位相変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して出力することにより、センサ信号として変動できる位相範囲が±９０度を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】干渉縞の濃淡に基づき対象物の形状を測定する光学干渉測定装置において、干渉縞の観測対象領域を自動的に設定する。
【解決手段】ベースプレート３６と、これの上に置いたブロックゲージ３４の干渉縞画像を複数得る。取得した複数の画像において、ベースプレートとブロックゲージの境界であるエッジ抽出を行い、エッジ画像を得る。エッジ画像を加算して、さらに所定のしきい値により二値化し、ベースプレートとブロックゲージの境界を抽出する。得られた境界に基づきブロックゲージ上の干渉縞画像を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサでは、光干渉信号方式として、ホモダイン干渉方式があり、構成は簡単であるが、その入力となる参照光と計測光との位相関係が同位相または逆位相付近にある時にその干渉出力の歪が大きくなり、そこを避けるためには、干渉計の光路長に関係する部品には、参照光と計測光の位相関係を良好に保つために、高い工作精度と、熱膨張対策が必要であった。
【解決手段】干渉計の入力となる参照光の位相を９０度変化させて、２つの位相の参照光とすることにより、一方の位相の参照光と計測光との位相関係が同相または逆相付近にあった場合には、他方の参照光と計測光の位相関係は９０度近く異なることになり、必ずどちらかが歪の少ない干渉出力となることにより、前後の干渉出力から判別処理し、センサ出力とすることで、光部品の工作精度や熱膨張による位相変動を許容した光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】
ゴースト光の影響を抑制した高精度の干渉計を提供する。
【解決手段】
光源装置１からの光をリファレンス光及び測定光に分割するＰＢＳ２と、ＰＢＳ２で分割されて第１の方向から入射するリファレンス光を反射するリファレンスミラー４ａと、ＰＢＳ２で分割されて第２の方向から入射する測定光を反射する測定ミラー４ｂと、ＰＢＳ２を介して、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂからの反射光を入射するレンズ系６と、レンズ系６からの光を反射する反射素子５と、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂのそれぞれに二度照射して合波された光を受光する受光素子１６とを有し、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂは、反射素子５と共役関係にあり、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂの少なくとも一つは、その法線方向が第１の方向及び第２の方向とは異なるように傾いて配置されている。 （もっと読む）

合成波長を生成するための方法、特に、１次周波数と前記１次周波数の少なくとも第１の側波帯周波数とを規定する１次レーザー光源を用いる干渉式距離測定装置のための方法において、前記第１の側波帯周波数および対応する第１の波長を有するレーザー放射が供給され、前記第１の側波帯周波数が、特に１次レーザー光源を変調することにより、連続的にシフトされる。第１の波長と、１次レーザー光源により規定される第２の波長とを組み合わせること、特に、重ね合わせることにより、合成波長が生成される。
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【課題】真空チャンバーを減圧する際に生じる空気の断熱膨張による被測定物の温度低下を抑制し、測定タクトの向上を図る。
【解決手段】真空チャンバー１１３内で被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７を搭載しているステージ１０５、１０６に温調水を流動させる流路１１０、１１１を設ける。真空チャンバー１１３を真空ポンプ１１７によって減圧する工程で、流路１１０、１１１に温調水を供給し、ステージ１０５、１０６の温度を制御することで、被測定物Ｗ₁ およびＴＳレンズ１０７の温度低下を抑制する。これにより減圧状態での高精度な測定にもかかわらず高タクトで測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで測定安定性に優れた光学システム用偏菱形アセンブリをより容易に製造する手段を提供する。
【解決手段】ガラスプレートを切断することによって偏菱形アセンブリを製造する。ガラスプレートはそれらの間のコーティングによって互いに接着される。切断の角度は例えば４５°であり、切断によって生じた表面は光学的な許容誤差範囲内で仕上げられる。これらの光学表面により、偏菱形アセンブリを、多軸干渉計の偏光ビームスプリッタ（PBS）のような光学部品に直接取り付けることができる。さらに、測定ビームの分離間隔を広げる１／４波長板、キューブコーナー反射鏡、及び偏菱形部品などの部品をPBSに取り付けて、コンパクトで熱的に安定な一体型ビーム光学系を作製することができる。基準ビーム用の１／４波長板に反射性コーティングや他の基準反射鏡を配置することによって、基準ビームの全ビーム経路を一体型構造内に保持することができる。 （もっと読む）

各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられるシステムを開示する。本システムは、また、複数のファイバ導波路及び電子制御装置を含む。各ファイバ導波路は、入力放射を対応する干渉計に送出するか、又は、出力放射を対応する干渉計から対応する検出器に送出する。電子制御装置は、干渉計の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。
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【課題】光ビームの波長の変化に対する環境パラメータの影響がさらに最小化される参照ビーム干渉計を提供する。
【解決手段】本発明は可動ステージの位置を決定するための参照ビーム干渉計に関し、真空にされた管が２つの干渉計レッグの長い方に挿入される。管はウィンドウで閉じられる。ウィンドウは負の熱膨張率を有し、熱放射を反射するコーティングを有する。さらに、熱補償プレートが２つのビーム経路の短い方に挿入される。 （もっと読む）

【課題】回転機構のランアウトに対してロバストで、且つ、基準球表面の疵や埃の影響を受け難くい追尾式レーザ干渉計。
【解決手段】追尾式レーザ干渉計において、固定配設された基準球２１２、基準球の中心を中心として回動するようにされたキャリッジ２１４、キャリッジ上に設けられたレトロリフレクタの変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計２１６、基準球と変位計との相対的な変位に応じた変位信号を出力する変位計２１８、２１９、変位計が出力する変位信号、レーザ干渉計が出力する変位信号とから基準球のレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置２５０、レトロリフレクタからレーザ干渉計に戻ってくるレーザビームが、その光軸と直交する方向にずれたとき、そのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段２３８と位置検出手段からの位置信号に基づいて、ずれ量がゼロになるようにキャリッジの回動を制御する制御手段２５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高感度、かつ高精度なマイケルソン光干渉計及びこのマイケルソン光干渉系を用いた熱膨張計を提供する。
【解決手段】 マイケルソン干渉計を、レーザー発振器２１と、このレーザー発振器２１から発せられ、試料面Ｓ１及び基準面４５１でそれぞれ反射したレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を相互に干渉させ、その干渉光Ｌ４を照射面２８に照射して複数の明暗パターンからなる干渉縞Ｉを生じさせる干渉縞発生手段とを有するマイケルソン光干渉計において、レーザー発振器４１と干渉縞発生手段との間に光路差発生手段２４を設け、この光路差発生手段２４に入射された各レーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を基準面２５１及び試料面Ｓ１との間で４往復させるように光路差発生手段２４を構成し、この光路差発生手段２４からレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を干渉させるように構成する。 （もっと読む）

概して第１の態様において、本発明は、共通の光源から導出された第１のビームおよび第２のビームを異なった経路に沿って差向け、該２つのビームを結合して異なった経路間の光路差に関する位相を有する出力ビームを形成するように構成された干渉計を含む干渉分光システムを特徴とする。第１のビームの経路は測定物体と接触している。干渉分光システムは、第１のビームの経路内に位置決めされた無限焦点系であって、第１のビームが干渉計から測定物体に向かって伝播する際に第１のビームの寸法を増大させるとともに、第１のビームが測定物体から戻り干渉計に向かって伝播する際に第１のビームの寸法を低減させるように構成された無限焦点系も含む。
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干渉計測装置であって、測定光ビーム（２ａ、２ｂ）と参照光ビーム（２ｃ、２ｄ）とを備え、それらは、互いに相互作用して空間縞パターン（２４）を発生させる。空間縞パターン（２４）と相互作用して、光を異なる方向（３０、３２、３４、３６）に空間的に分離する光学装置（１２）が設けられる。空間的に分離した光の２つ以上の方向の強度変調（intensity modulation）は、位相シフトされる。この光学装置は、例えば、回折型装置、屈折型装置、または回折型光学素子を含み得る。
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一態様において、本発明は方法に特徴があり、その方法は、干渉分光法システムにおける干渉計を用いて、第１ビーム経路と第２ビーム経路との間の光路差に関係づけられる位相を含む出力ビームを生成することであって、第１ビームは第１の箇所における測定物体に接触し、第１ビームまたは第２ビームは第２の箇所における測定物体に接触し、第１の箇所および第２の箇所は異なる、出力ビームを生成すること、第１の箇所における測定物体の不完全性に起因し、かつ第２の箇所における測定物体の不完全性に起因するずれであって、第１ビーム経路または第２ビーム経路の公称ビーム経路からのずれによって生じる光路差への影響に対処する事前校正済み情報を提供すること、出力ビームから得られる情報および事前校正済み情報に基づいて、少なくとも１つの自由度について測定物体の位置を決定すること、を含む。
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